一种基板支撑装置及系统的制作方法

本申请涉及面板制作领域，尤其涉及一种基板支撑装置及系统。

背景技术：

在有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体面板(Active-matrix organic light emitting diode，AMOLED)低温多晶硅技术(Low Temperature Poly-silicon，LTPS)生产过程中，存在多道工艺需要对基板进行烘烤。在基板的烘烤工艺中，通常将基板放置在与基板的烘烤腔体固定连接的基板支撑装置上进行烘烤。但是，当需要对基板的烘烤腔体进行清扫时，基板支撑装置的存在为基板的烘烤腔体的清扫带来不便。

技术实现要素：

本申请实施例提供一种基板支撑装置，用于解决现有技术中基板支撑装置为基板的烘烤腔体的清扫带来不便的问题。

本申请实施例还提供一种基板支撑系统，用于解决现有技术中基板支撑装置为基板的烘烤腔体的清扫带来不便的问题。

本申请实施例采用下述技术方案：

第一方面，本申请提供了一种基板支撑装置，所述装置包括：

可伸缩支撑结构，所述可伸缩支撑结构在外力作用下处于收缩状态或展开状态，所述可伸缩支撑结构的与所述基板接触的接触面上设有用于支撑基板的支撑件；

可拆卸连接结构，所述可拆卸连接结构设置在所述可伸缩支撑结构的至少一端部上，构造成拆卸或连接所述可伸缩支撑结构和所述基板的烘烤腔体。

进一步的，所述可伸缩支撑结构包括空心囊体，所述空心囊体在气压的作用下处于收缩状态或展开状态。

进一步的，所述可伸缩支撑结构还包括：可伸缩杆；

所述可伸缩杆沿着所述空心囊体的伸缩方向设置在所述空心囊体内，且所述可伸缩杆的两端分别于所述空心囊体连接。

进一步的，所述可伸缩杆由弹性材质制成。

进一步的，所述可伸缩杆包括：第一子杆和第二子杆；

所述第一子杆为空心杆，所述第一子杆套在所述第二子杆上，且与所述第二子杆滑动连接；

所述第一子杆的第一端和所述第二子杆的第二端分别与所述空心囊体连接，所述第一端与所述第二端相对。

进一步的，所述可伸缩支撑结构包括：

N个弹性连接件，N为大于等于1的正整数；

N+1个空心支撑杆，N+1个所述空心支撑杆首尾相接，每相邻两个所述空心支撑杆之间通过所述弹性连接件连接。

进一步的，每相邻两个所述空心支撑杆之间通过所述弹性连接件密封连接，形成柱状空腔结构，所述柱状空腔结构在气压作用下处于收缩状态或展开状态。

进一步的，所述可拆卸连接结构包括：

第一磁性件，所述第一磁性件设置在所述可伸缩支撑结构的端部；

第二磁性件，所述第二磁性件与所述第一磁性件相吸，所述第二磁性件用于设置在所述基板的烘烤腔体上。

进一步的，所述可拆卸连接结构包括：

吸附件，所述吸附件设置在所述可伸缩支撑结构的端部；

电磁吸盘，所述电磁吸盘设置在所述基板的烘烤腔体上，所述电磁吸盘在通电的情况下能够吸附所述吸附件；

控制器，所述控制器与所述电磁吸盘电连接，用于控制所述电磁吸盘的通电和断电。

第二方面，提供了一种基板支撑系统，所述系统包括：

上述所述的基板支撑装置；

充气源，所述充气源配置成为所述基板支撑装置的可伸缩支撑结构提供气体的装置。

本申请实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：

本申请实施例通过采用可伸缩支撑结构，使得可伸缩支撑结构的尺寸变小，便于将可伸缩支撑结构从基板的烘烤腔体内取出。同时，通过在该可伸缩支撑结构的端部设置有可拆卸连接结构，以拆卸或连接可伸缩支撑结构和基板的烘烤腔体，实现了将可伸缩支撑结构从基板的烘烤腔体上拆卸，以便于基板的烘烤腔体的清扫。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本申请实施例提供的一种基板支撑装置的展开状态示意图；

图2为图1中A-A向的剖视图；

图3为本申请实施例提供的一种基板支撑装置的收缩状态示意图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

结合图1至3所示，本申请实施例提供的基板支撑装置放置在基板的烘烤腔体内，用于支撑基板。该装置包括可伸缩支撑结构1和可拆卸连接结构2。以下分别对可伸缩支撑结构1和可拆卸连接结构2之间的连接关系、位置关系及工作过程进行详细叙述：

该可伸缩支撑结构1在外力作用下处于收缩状态或展开状态，这里所说的外力作用可以指气体压力或拉力。该可伸缩支撑结构1的与基板接触的接触面上设有用于支撑基板的支撑件3，该支撑件3的数量可以为多个，多个支撑件3可以等间距设置在可伸缩支撑结构1的外表面上。该支撑件3可以为现有技术中能够实现支撑的任一结构，具体实施时，该支撑件3可以为凸起。

本申请实施例中，可伸缩支撑结构1可以采用以下几种结构实现：

第一种，可伸缩支撑结构1可以包括空心囊体，空心囊体在气压的作用下处于收缩状态或展开状态。该空心囊体的材质可以采用弹性材质制成，例如，橡胶、塑料、皮革等。本申请实施例不做具体限定，具体实施时需要根据实际情况选取。

当向空心囊体内充入气体使空心囊体内气压增大时，空心囊体由收缩状态向展开状态变化，此时，空心囊体贯穿基板的烘烤腔体；当将充满气体的空心囊体内的气体排出，使空心囊体内气压减小时，空心囊体由展开状态向收缩状态变化，此时，空心囊体的一端向空心囊体的另一端靠拢。

本申请实施例通过采用空心囊体，使得基板支撑装置结构简单，便于收纳，易于实现，为基板的烘烤腔体的清扫提供了便利。

第二种，如图1和图3所示，可伸缩支撑结构1可以包括：空心囊体11和可伸缩杆12。空心囊体11在气压的作用下处于收缩状态(如图3所示)或展开状态(如图1所示)，该空心囊体11的具体参数可参见上述所述，在此不再赘述。该可伸缩杆12沿着空心囊体11的伸缩方向设置在空心囊体11内，且可伸缩杆12的两端分别与空心囊体11连接。

当向空心囊体11内充入气体使空心囊体11内气压增大时，空心囊体11由收缩状态向展开状态变化，并带动空心囊体11内的可伸缩杆12也随着空心囊体11的展开逐渐伸长；当将充满气体的空心囊体11内的气体排出，使空心囊体11内气压减小时，空心囊体11由展开状态向收缩状态变化，并带动空心囊体11内的可伸缩杆12随着空心囊体11的收缩逐渐缩短。

在本实施例中，该可伸缩杆12可以为由弹性材质制成的杆，也可以为多个子杆组合而成的结构。具体实施时，如下所述：

第一，该可伸缩杆12由弹性材质制成。其中，弹性材质可以采用现有技术中任意能够实现伸缩且能够支撑空心囊体11的材质，例如橡胶或弹簧。

第二，该可伸缩杆12可以包括：第一子杆和第二子杆。第一子杆为空心杆，第一子杆套在第二子杆上，且与第二子杆滑动连接。其中，第一子杆的端部与第二子杆的外表面滑动连接，或者，第一子杆的表面与第二子杆的外表面滑动连接。

而第一子杆与第二子杆滑动连接的实现方式可以为：第一子杆上设有滑块，第二子杆的外表面上设有与该滑块匹配的滑槽，通过滑块插入滑槽内以实现第一子杆与第二子杆的滑动连接。也可以是，第一子杆上设有滑槽，第二子杆的外表面上设有与该滑槽匹配的滑块，通过滑块插入滑槽内以实现第一子杆与第二子杆的滑动连接。其中，第一子杆的第一端和第二子杆的第二端分别与空心囊体11连接，第一端与第二端相对。

本申请实施例通过采用包裹可伸缩杆的空心囊体，提高了空心囊体的刚性，使得基板支撑装置在满足便于拆卸、便于基板的烘烤腔体的清扫的同时，能够实现稳固的支撑基板。

第三种，可伸缩支撑结构1可以包括：N个弹性连接件和N+1个空心支撑杆，N为大于等于1的正整数。N+1个空心支撑杆首尾相接，每相邻两个空心支撑杆之间通过弹性连接件连接。其中，弹性连接件可以为波浪形结构或折叠结构。在实际应用中，在空心支撑杆的轴线上，空心支撑杆的尺寸与弹性连接件展开的尺寸的配比需要根据实际需求设置，本申请实施例不做具体限定。

在拉力的作用下，弹性连接件发生弹性形变对空心支撑杆施加拉力，此时，可伸缩支撑结构1处于展开状态；当拉力消失时，弹性连接件恢复弹性形变，弹性连接件对空心支撑杆的拉力消失，此时，可伸缩支撑结构1处于收缩状态。

本申请实施例通过在每两个空心支撑杆之间通过弹性连接件连接，实现了可伸缩支撑结构1的展开和收缩，在收缩状态时，便于将可伸缩支撑结构1从基板的烘烤腔体内取出。

第四种，可伸缩支撑结构1可以包括：N个弹性连接件和N+1个空心支撑杆，N为大于等于2的正整数。N+1个空心支撑杆首尾相接，每相邻两个空心支撑杆之间通过弹性连接件密封连接，形成柱状空腔结构，柱状空腔结构在气压作用下处于收缩状态或展开状态。其中，弹性连接件可以为波浪形结构或折叠结构。在实际应用中，在空心支撑杆的轴线上，空心支撑杆的尺寸与弹性连接件展开的尺寸的配比需要根据实际需求设置，本申请实施例不做具体限定。

当柱状空腔结构内充入气体时，柱状空腔结构在气压的作用下由收缩状态向展开状态变化；当将充满气体的柱状空腔结构内的气体排出时，柱状空腔结构内气压减小，使柱状空腔结构由展开状态向收缩状态变化。

本申请实施例通过采用在每两个空心支撑杆之间通过弹性连接件密封连接，使得空心支撑杆与弹性连接件形成柱状空腔结构，从而在气压的作用下柱状空腔结构可处于展开状态或收缩状态，在收缩状态时，便于将可伸缩支撑结构1从基板的烘烤腔体内取出。

该可拆卸连接结构2设置在可伸缩支撑结构1的至少一端部上，构造成拆卸或连接可伸缩支撑结构1和基板的烘烤腔体。其中，可伸缩支撑结构1端部是指位于可伸缩支撑结构1的伸缩方向上的端部。

本申请实施例中，可拆卸连接结构2可以采用手动拆卸或自动拆卸，具体实现可以采用以下结构：

第一种，手动拆卸方式：可拆卸连接结构2可以包括第一磁性件和第二磁性件。第一磁性件设置在可伸缩支撑结构1的端部。第二磁性件与第一磁性件相吸，第二磁性件用于设置在基板的烘烤腔体上。

当可伸缩支撑结构1由收缩状态向展开状态变化时，可伸缩支撑结构1的一端部逐渐展开，当可伸缩支撑结构1完全展开时，可伸缩支撑结构1端部的第一磁性件靠近基板的烘烤腔体上的第二磁性件，此时，第一磁性件与第二磁性件相吸以将可伸缩支撑结构1固定在基板的烘烤腔体上。操作人员将第一磁性件与第二磁性件分离，并对可伸缩支撑结构1作用力(如排出可伸缩支撑结构1的气体)时可伸缩支撑结构1由展开状态向收缩状态变化，直至可伸缩支撑结构1完全收缩。若可伸缩支撑结构1的两端上均设置有可拆卸连接结构2，在可伸缩支撑结构1处于收缩状态时，可将可伸缩支撑结构1上的另一端的第一磁性件与其相吸的第二磁性件分离，即可将可伸缩支撑结构1完全与基板的烘烤腔体分离。

第二种，自动拆卸方式：可拆卸连接结构2可以包括吸附件、电磁吸盘和控制器。吸附件设置在可伸缩支撑结构1的端部。电磁吸盘设置在基板的烘烤腔体上，电磁吸盘在通电的情况下能够吸附吸附件。控制器与电磁吸盘电连接，用于控制电磁吸盘的通电和断电。其中，控制器可以为红外线遥控器。

当可伸缩支撑结构1由收缩状态向展开状态变化时，可伸缩支撑结构1的一端部逐渐展开，当可伸缩支撑结构1完全展开时，可伸缩支撑结构1端部的吸附件靠近基板的烘烤腔体上的电磁吸盘，此时，控制器控制电磁吸盘通电，电磁吸盘产生电磁力以吸附靠近的吸附件，从而将可伸缩支撑结构1固定在基板的烘烤腔体上。操作人员控制电磁吸盘断电，电磁吸盘产生的电磁力消失以将吸附件与电磁吸盘分离，并对可伸缩支撑结构1作用力(如排出可伸缩支撑结构1的气体)时可伸缩支撑结构1由展开状态向收缩状态变化，直至可伸缩支撑结构1完全收缩。若可伸缩支撑结构1的两端上均设置有可拆卸连接结构2，在可伸缩支撑结构1处于收缩状态时，可将可伸缩支撑结构1上的另一端的吸附件与其相吸的电磁吸盘分离，即可将可伸缩支撑结构1完全与基板的烘烤腔体分离。

本申请实施例通过采用可伸缩支撑结构1，使得可伸缩支撑结构1的尺寸变小，便于将可伸缩支撑结构1从基板的烘烤腔体内取出。同时，通过在该可伸缩支撑结构1的端部设置有可拆卸连接结构2，以拆卸或连接可伸缩支撑结构1和基板的烘烤腔体，实现了将可伸缩支撑结构1从基板的烘烤腔体上拆卸，以便于基板的烘烤腔体的清扫。

本申请提供的一种基板支撑系统，该系统可以包括：基板支撑装置和充气源。该充气源配置成为基板支撑装置的可伸缩支撑结构1提供气体的装置。如图1至图3所示，该基板支撑装置包括可伸缩支撑结构1和可拆卸连接结构2。可伸缩支撑结构1在外力作用下处于收缩状态或展开状态，可伸缩支撑结构1的外表面上设有用于支撑基板的支撑件3。可拆卸连接结构2设置在可伸缩支撑结构1的至少一个端部上，构造成拆卸或连接可伸缩支撑结构1和基板的烘烤腔体。

该可伸缩支撑结构1在外力作用下处于收缩状态或展开状态，这里所说的外力作用可以指气体压力或拉力。该可伸缩支撑结构1的外表面上设有用于支撑基板的支撑件3，该支撑件3的数量可以为多个，多个支撑件3可以等间距设置在可伸缩支撑结构1的外表面上。该支撑件3可以为现有技术中能够实现支撑的任一结构，具体实施时，该支撑件3可以为凸起。

本申请实施例中，可伸缩支撑结构1可以采用以下几种结构实现：

第一种，可伸缩支撑结构1可以包括空心囊体，空心囊体在气压的作用下处于收缩状态或展开状态。该空心囊体的材质可以采用弹性材质制成，例如，橡胶、塑料、皮革等。本申请实施例不做具体限定，具体实施时需要根据实际情况选取。

当向空心囊体内充入气体使空心囊体内气压增大时，空心囊体由收缩状态向展开状态变化，此时，空心囊体贯穿基板的烘烤腔体；当将充满气体的空心囊体内的气体排出，使空心囊体内气压减小时，空心囊体由展开状态向收缩状态变化，此时，空心囊体的一端向空心囊体的另一端靠拢。

本申请实施例通过采用空心囊体，使得基板支撑装置结构简单，便于收纳，易于实现，为基板的烘烤腔体的清扫提供了便利。

第二种，可伸缩支撑结构1可以包括：空心囊体和可伸缩杆。空心囊体在气压的作用下处于收缩状态或展开状态，该空心囊体的具体参数可参见上述所述，在此不再赘述。该可伸缩杆沿着空心囊体的伸缩方向设置在空心囊体内，且可伸缩杆的两端分别与空心囊体连接。

当向空心囊体内充入气体使空心囊体内气压增大时，空心囊体由收缩状态向展开状态变化，并带动空心囊体内的可伸缩杆也随着空心囊体的展开逐渐伸长；当将充满气体的空心囊体内的气体排出，使空心囊体内气压减小时，空心囊体由展开状态向收缩状态变化，并带动空心囊体内的可伸缩杆随着空心囊体的收缩逐渐缩短。

在本实施例中，该可伸缩杆可以为由弹性材质制成的杆，也可以为多个子杆组合而成的结构。具体实施时，如下所述：

第一，该可伸缩杆由弹性材质制成。其中，弹性材质可以采用现有技术中任意能够实现伸缩且能够支撑空心囊体的材质，例如橡胶或弹簧。

第二，该可伸缩杆可以包括：第一子杆和第二子杆。第一子杆为空心杆，第一子杆套在第二子杆上，且与第二子杆滑动连接。其中，第一子杆的端部与第二子杆的外表面滑动连接，或者，第一子杆的表面与第二子杆的外表面滑动连接。

而第一子杆与第二子杆滑动连接的实现方式可以为：第一子杆上设有滑块，第二子杆的外表面上设有与该滑块匹配的滑槽，通过滑块插入滑槽内以实现第一子杆与第二子杆的滑动连接。也可以是，第一子杆上设有滑槽，第二子杆的外表面上设有与该滑槽匹配的滑块，通过滑块插入滑槽内以实现第一子杆与第二子杆的滑动连接。其中，第一子杆的第一端和第二子杆的第二端分别与空心囊体连接，第一端与第二端相对。

本申请实施例通过采用包裹可伸缩杆的空心囊体，提高了空心囊体的刚性，使得基板支撑装置在满足便于拆卸、便于基板的烘烤腔体的清扫的同时，能够实现稳固的支撑基板。

第三种，可伸缩支撑结构1可以包括：N个弹性连接件和N+1个空心支撑杆，N为大于等于1的正整数。N+1个空心支撑杆首尾相接，每相邻两个空心支撑杆之间通过弹性连接件连接。其中，弹性连接件可以为波浪形结构或折叠结构。在实际应用中，在空心支撑杆的轴线上，空心支撑杆的尺寸与弹性连接件展开的尺寸的配比需要根据实际需求设置，本申请实施例不做具体限定。

在拉力的作用下，弹性连接件发生弹性形变对空心支撑杆施加拉力，此时，可伸缩支撑结构1处于展开状态；当拉力消失时，弹性连接件恢复弹性形变，弹性连接件对空心支撑杆的拉力消失，此时，可伸缩支撑结构1处于收缩状态。

本申请实施例通过在每两个空心支撑杆之间通过弹性连接件连接，实现了可伸缩支撑结构1的展开和收缩，在收缩状态时，便于将可伸缩支撑结构1从基板的烘烤腔体内取出。

第四种，可伸缩支撑结构1可以包括：N个弹性连接件和N+1个空心支撑杆，N为大于等于2的正整数。N+1个空心支撑杆首尾相接，每相邻两个空心支撑杆之间通过弹性连接件密封连接，形成柱状空腔结构，柱状空腔结构在气压作用下处于收缩状态或展开状态。其中，弹性连接件可以为波浪形结构或折叠结构。在实际应用中，在空心支撑杆的轴线上，空心支撑杆的尺寸与弹性连接件展开的尺寸的配比需要根据实际需求设置，本申请实施例不做具体限定。

当柱状空腔结构内充入气体时，柱状空腔结构在气压的作用下由收缩状态向展开状态变化；当将充满气体的柱状空腔结构内的气体排出时，柱状空腔结构内气压减小，使柱状空腔结构由展开状态向收缩状态变化。

本申请实施例通过采用在每两个空心支撑杆之间通过弹性连接件密封连接，使得空心支撑杆与弹性连接件形成柱状空腔结构，从而在气压的作用下柱状空腔结构可处于展开状态或收缩状态，在收缩状态时，便于将可伸缩支撑结构1从基板的烘烤腔体内取出。

本申请中基板支撑装置中可拆卸连接结构2的具体实现结构可以采用上述实施例中所述的结构，以及所达到的技术效果也同上述实施例中记载，本申请实施例不再赘述。

本申请实施例通过采用可伸缩支撑结构，使得可伸缩支撑结构的尺寸变小，便于将可伸缩支撑结构从基板的烘烤腔体内取出。同时，通过在该可伸缩支撑结构的端部设置有可拆卸连接结构，以拆卸或连接可伸缩支撑结构和基板的烘烤腔体，实现了将可伸缩支撑结构从基板的烘烤腔体上拆卸，以便于基板的烘烤腔体的清扫。

以上仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。