一种轻减装置的制作方法

本实用新型涉及机械制造技术领域，特别涉及一种轻减装置。

背景技术：

生产中常需要传输上料装置进行上料，不同的上料需求对上料装置的精确度要求不同，现有的一些上料装置虽然能够满足上料要求，但是由于精确度地，影响生产加工产品的生产质量和效率，可能由于上料不当影响后续的生产过程。比如在半导体行业，半导体制造已经成为重要产业，在半导体加工过程中晶圆是重要的半导体材料，在半导体的加工生产过程中，需要将晶圆放置于晶圆料盒或晶圆料箱中，由于晶圆料盒或晶圆料箱的尺寸大小不同，现有的晶圆料盒的限位装置尺寸固定，难以同时适用于不同尺寸的晶圆料盒，在晶圆料盒向前移动的过程中，易导致料盒的位置出现偏差，使得晶圆位置出现偏差，影响晶圆的上料，晶圆的精确度要求高，如果出现位置偏差易影响后续生产工序，降低生产效率，给生产带来不便。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型提供一种轻减装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

根据本实用新型实施例的轻减装置，包括：

底座，所述底座上形成有水平面；

左立柱，所述左立柱可移动地设在所述底座上且垂直于所述水平面；

右立柱，所述右立柱可移动地设在所述底座上且垂直于所述水平面，所述左立柱与所述右立柱之间的间距可调节；

左轴承，所述左轴承的内圈套设在所述左立柱上；

右轴承，所述右轴承的内圈套设在所述右立柱上，所述左轴承与所述右轴承的形状尺寸相同且位于相同的高度；

中间轴承，所述中间轴承设在所述底座上且位于所述左立柱与所述右立柱之间，所述中间轴承的轴线与所述水平面平行，所述左立柱的轴线与所述右立柱的轴线同在第一平面上，所述中间轴承的轴线与所述第一平面平行；所述中间轴承在竖直方向上的高度小于所述左轴承与所述右轴承在竖直方向上的高度；

第一压力传感器，所述第一压力传感器用于感测所述左轴承所受的压力并发出相应的第一压力信号；

报警器，所述报警器能够接收到所述第一压力信号，所述报警器接收到所述第一压力信号后开始报警或停止报警。

进一步地，所述轻减装置还包括：

第二压力传感器，所述第二压力传感器用于感测所述右轴承所受的压力并发出相应的第二压力信号；

所述报警器能够接收到所述第二压力信号，所述报警器接收到所述第二压力信号后开始报警或停止报警。

进一步地，所述轻减装置还包括：

左驱动装置，所述左驱动装置与所述左立柱相连，用于驱动所述左立柱在左右方向上移动；

右驱动装置，所述右驱动装置与所述右立柱相连，用于驱动所述右立柱在左右方向上移动；

控制器，所述控制器分别和所述左驱动装置与所述右驱动装置相连，所述控制器能够接收到所述第一压力信号，所述控制器接收到所述第一压力信号后控制所述左驱动装置驱动所述左立柱在左右方向上移动；

所述控制器能够接收到所述第二压力信号，所述控制器接收到所述第二压力信号后控制所述右驱动装置驱动所述右立柱在左右方向上移动。

进一步地，所述轻减装置还包括：

比较器，所述比较器能够接收到所述第一压力信号与所述第二压力信号，所述比较器接收到所述第一压力信号与所述第二压力信号后进行比较并发出相应的压力比较信号；

所述控制器能够接收到所述压力比较信号，所述控制器接收到所述压力比较信号后控制所述左驱动装置驱动所述左立柱在左右方向上移动和/或控制所述右驱动装置驱动所述右立柱在左右方向上移动。

进一步地，所述轻减装置还包括：

距离传感器，所述距离传感器用于检测所述左轴承与所述右轴承之间的距离并生成发出相应的距离信号；

所述报警器能够接收到所述距离信号，所述报警器接收到所述距离信号后开始报警或停止报警。

进一步地，所述距离传感器构成为当所述左轴承与所述右轴承之间的距离大于距离阈值时所述距离传感器生成发出能够报警的距离信号，所述报警器接收到所述能够报警的距离信号后开始报警。

进一步地，所述轻减装置还包括：

第一角速度传感器，所述第一角速度传感器用于检测所述左轴承的外圈的角速度并生成发出相应的第一角速度信号；

第二角速度传感器，所述第二角速度传感器用于检测所述右轴承的外圈的角速度并生成发出相应的第二角速度信号；

所述比较器能够接收到所述第一角速度信号与所述第二角速度信号，所述比较器接收到所述第一角速度信号与所述第二角速度信号后将所述第一角速度信号与所述第二角速度信号进行比较并发出相应的比较信号；

所述报警器接收到所述比较信号后开始报警或停止报警。

进一步地，所述左立柱与所述右立柱分别为多个，所述左立柱沿所述水平面的前后方向间隔开设置，所述左轴承与所述左立柱数量相等且每个所述左轴承的内圈套设在相应的所述左立柱上，所述右立柱沿所述水平面的前后方向间隔开设置，所述右轴承与所述右立柱数量相等且每个所述右轴承的内圈套设在相应的所述右立柱上，多个所述左立柱的轴线共同所在的平面与多个所述右立柱的轴线共同所在的平面平行。

进一步地，所述中间轴承为多个，多个所述中间轴承间隔开设置，多个所述中间轴承分别位于所述水平面上的多个所述左立柱的轴线共同所在的平面与多个所述右立柱的轴线共同所在的平面之间的位置。

进一步地，所述左轴承在所述左立柱上的高度可调节，所述右轴承在所述右立柱上的高度可调节。

本实用新型的上述技术方案至少具有如下有益效果之一：

根据本实用新型的轻减装置，能够精确地进行传输上料，能够精确地对晶圆料盒进行限位，通过调节左立柱与右立柱之间的间距能够对不同尺寸的料盒进行限位，使得晶圆料盒能够稳定移动，减小偏差，保证晶圆上料的精确度，减少因料盒位置偏差给后续生产带来的不便，提高生产效率，压力传感器能够感测左右轴承所受的压力，压力异常时报警器能够报警，控制器能够控制驱动装置驱动左右立柱在左右方向上移动，距离传感器能够检测左轴承与右轴承之间的距离，左轴承与右轴承之间的距离出现异常时报警器能够报警，角速度传感器用于监测左右轴承的外圈的角速度。

附图说明

图1为本实用新型实施例的轻减装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例的轻减装置的报警器的连接示意图。

附图标记：

轻减装置100；

底座10；

左立柱20；

右立柱30；

左轴承40；

右轴承50；

中间轴承60；

第一压力传感器70；报警器71；第二压力传感器72；

左驱动装置73；右驱动装置74；控制器75；比较器76；

距离传感器77；第一角速度传感器78；第二角速度传感器79。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

除非另作定义，本实用新型中使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。

下面结合附图具体描述根据本实用新型实施例的轻减装置100。

如图1和图2所示，根据本实用新型实施例的轻减装置100包括底座10、左立柱20、右立柱30、左轴承40、右轴承50、中间轴承60、第一压力传感器70和报警器71。

具体而言，底座10上形成有水平面；左立柱20可移动地设在底座10上且垂直于水平面；右立柱30可移动地设在底座10上且垂直于水平面，左立柱20与右立柱30之间的间距可调节；左轴承40的内圈套设在左立柱20上；右轴承50的内圈套设在右立柱30上，左轴承40与右轴承50的形状尺寸相同且位于相同的高度，左轴承40与右轴承50一样；中间轴承60设在底座10上且位于左立柱20与右立柱30之间，中间轴承60的轴线与水平面平行，左立柱20的轴线与右立柱30的轴线同在第一平面上，中间轴承60的轴线与第一平面平行；中间轴承60在竖直方向上的高度小于左轴承40与右轴承50在竖直方向上的高度；第一压力传感器70用于感测左轴承40所受的压力并发出相应的第一压力信号；报警器71能够接收到第一压力信号，报警器71接收到第一压力信号后开始报警或停止报警，传输料箱时料箱左侧与左轴承40之间会有一定的压力，压力太大不易于料箱移动，压力太小不利于料箱的稳定，左轴承40所受的压力过大或过小时报警器71可以及时提醒。在使用过程中，将料箱置于左轴承40的外圈与右轴承50的外圈之间，料箱的左侧止抵左轴承40的外圈，料箱的右侧止抵右轴承50的外圈，料箱的底侧止抵中间轴承60的外圈，能够对料箱进行准确地限位，使得料箱能够稳定移动。

在本实用新型的一些实施例中，轻减装置100还包括：

第二压力传感器72，第二压力传感器72用于感测右轴承50所受的压力并发出相应的第二压力信号；报警器71能够接收到第二压力信号，报警器71接收到第二压力信号后开始报警或停止报警。传输料箱时料箱右侧与右轴承50之间会有一定的压力，压力太大不易于料箱移动，压力太小不利于料箱的稳定，右轴承50所受的压力过大或过小时报警器71可以及时提醒。

在本实用新型的另一些实施例中，轻减装置100还包括：

左驱动装置73，左驱动装置73与左立柱20相连，用于驱动左立柱20在左右方向上移动；右驱动装置74，右驱动装置74与右立柱30相连，用于驱动右立柱30在左右方向上移动；控制器75，控制器75分别和左驱动装置73与右驱动装置74相连，控制器75可以分别和第一压力传感器70与第二压力传感器72相连，控制器75能够接收到第一压力信号，控制器75接收到第一压力信号后控制左驱动装置73驱动左立柱20在左右方向上移动；控制器75能够接收到第二压力信号，控制器75接收到第二压力信号后控制右驱动装置74驱动右立柱30在左右方向上移动。

根据本实用新型的一些实施例，轻减装置100还包括：

比较器76，比较器76可以分别和第一压力传感器70与第二压力传感器72相连，比较器76能够接收到第一压力信号与第二压力信号，比较器76接收到第一压力信号与第二压力信号后进行比较并发出相应的压力比较信号，比较信号可以为电信号，比如，电压信号、电流信号；控制器75能够接收到压力比较信号，控制器75接收到压力比较信号后控制左驱动装置73驱动左立柱20在左右方向上移动和/或控制右驱动装置74驱动右立柱30在左右方向上移动。

根据本实用新型的另一些实施例，轻减装置100还包括：

距离传感器77，距离传感器77可以与左轴承40或右轴承50相连，距离传感器77用于检测左轴承40与右轴承50之间的距离并生成发出相应的距离信号；距离传感器77与报警器71相连，报警器71能够接收到距离信号，报警器71接收到距离信号后开始报警或停止报警。

优选地，距离传感器77构成为当左轴承40与右轴承50之间的距离大于距离阈值时距离传感器77生成发出能够报警的距离信号，报警器71接收到能够报警的距离信号后开始报警。

在一些具体实施例中，轻减装置100还包括：

第一角速度传感器78，第一角速度传感器78可以与左轴承40的外圈相连，第一角速度传感器78用于检测左轴承40的外圈的角速度并生成发出相应的第一角速度信号；第二角速度传感器79，第二角速度传感器79可以与右轴承50的外圈相连，第二角速度传感器79用于检测右轴承50的外圈的角速度并生成发出相应的第二角速度信号。

比较器76可以分别和第一角速度传感器78与第二角速度传感器79相连，比较器76能够接收到第一角速度信号与第二角速度信号，比较器76接收到第一角速度信号与第二角速度信号后将第一角速度信号与第二角速度信号进行比较并发出相应的比较信号；比较器76可以与报警器71相连，报警器71接收到比较信号后开始报警或停止报警。

在另一些具体实施例中，左立柱20与右立柱30分别为多个，左立柱20沿水平面的前后方向间隔开设置，左轴承40与左立柱20数量相等且每个左轴承40的内圈套设在相应的左立柱20上，右立柱30沿水平面的前后方向间隔开设置，右轴承50与右立柱30数量相等且每个右轴承50的内圈套设在相应的右立柱30上，多个左立柱20的轴线共同所在的平面与多个右立柱30的轴线共同所在的平面平行。

在一些优选实施例中，中间轴承60为多个，多个中间轴承60间隔开设置，多个中间轴承60分别位于水平面上的多个左立柱20的轴线共同所在的平面与多个右立柱30的轴线共同所在的平面之间的位置。

在另一些具体实施例中，左轴承40在左立柱20上的高度可调节，右轴承50在右立柱30上的高度可调节。本实用新型中的各种传感器以及比较器76都属于现有硬件器件，只需要将其进行与相应的传感器连接即可，不需要作出进一步改进处理，易于实现。

根据本实用新型的轻减装置100，能够精确地进行传输上料，能够精确地对晶圆料盒进行限位，通过调节左立柱20与右立柱30之间的间距能够对不同尺寸的料盒进行限位，使得晶圆料盒能够稳定移动，减小偏差，保证晶圆上料的精确度，减少因料盒位置偏差给后续生产带来的不便，提高生产效率，压力传感器能够感测左右轴承所受的压力，压力异常时报警器能够报警，控制器能够控制驱动装置驱动左右立柱在左右方向上移动，距离传感器能够检测左轴承40与右轴承50之间的距离，左轴承40与右轴承50之间的距离出现异常时报警器能够报警，角速度传感器用于监测左右轴承的外圈的角速度。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。