电容器的制作方法

文档序号:18718045发布日期:2019-09-20 21:34阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电容器,其特征在于,具备:

下部电极;

第一上部电极,其与所述下部电极对置配置;

第二上部电极,其与所述下部电极对置配置;

电介质层,其配置于所述下部电极与所述第一上部电极之间;

第一连接电极,其与外部的电路连接,并相对于所述第一上部电极而位于与所述下部电极相反一侧的位置;

第二连接电极,其与外部的电路连接,并相对于所述第一上部电极而位于与所述下部电极相反一侧的位置;

辅助电极,其相对于所述第一上部电极和所述第二上部电极而位于与所述下部电极相反一侧的位置;

配置于所述第一上部电极与所述第一连接电极之间、和所述第二上部电极与所述第二连接电极之间的绝缘体层;

配置于所述第一上部电极与所述辅助电极之间、和所述第二上部电极与所述辅助电极之间的绝缘体层;

第一上部电极用层间连接导体,其将所述第一上部电极与所述第一连接电极连接;

第二上部电极用层间连接导体,其将所述第二上部电极与所述第二连接电极连接;以及

下部电极用层间连接导体,其将所述下部电极与所述辅助电极连接,

所述辅助电极由侧方辅助电极部和内侧辅助电极部构成,

在俯视时,在与所述第一连接电极和所述第二连接电极排列配置的方向正交的方向上,所述侧方辅助电极部配置为与所述第一连接电极和所述第二连接电极分离,

在俯视时,所述内侧辅助电极部位于所述第一连接电极与所述第二连接电极之间,

所述下部电极用层间连接导体具有:在多个位置将所述侧方辅助电极部与所述下部电极连接的层间连接导体;和在多个位置将所述内侧辅助电极部与所述下部电极连接的层间连接导体部。

2.根据权利要求1所述的电容器,其特征在于,

所述侧方辅助电极部包括第一侧方辅助电极部和第二侧方辅助电极部,

所述电容器还具备:将所述第一侧方辅助电极部、所述第二侧方辅助电极部和所述内侧辅助电极部连接的辅助电极部连接电极。

3.根据权利要求1所述的电容器,其特征在于,

所述侧方辅助电极部由第一侧方辅助电极部、第二侧方辅助电极部、将所述第一侧方辅助电极部的一端与所述第二侧方辅助电极部的一端连接的第三侧方辅助电极部、以及将所述第一侧方辅助电极部的另一端与所述第二侧方辅助电极部的另一端连接的第四侧方辅助电极部构成。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的电容器,其特征在于,

所述第一上部电极用层间连接导体和所述第二上部电极用层间连接导体中的至少一者的数量为多个。

5.根据权利要求1~3中任一项所述的电容器,其特征在于,

所述下部电极用层间连接导体的数量为多个。

6.根据权利要求1~3中任一项所述的电容器,其特征在于,

所述下部电极用层间连接导体的数量为多个,所述第一上部电极用层间连接导体和所述第二上部电极用层间连接导体中的至少一者的数量为多个,对于所述下部电极用层间连接导体与所述第一上部电极用层间连接导体间的配置关系、或者所述下部电极用层间连接导体与所述第二上部电极用层间连接导体间的配置关系而言,成为在俯视时相互接近的部件彼此交替配置的关系。

7.根据权利要求6所述的电容器,其特征在于,

对于所述下部电极用层间连接导体与所述第一上部电极用层间连接导体间的配置关系、或者所述下部电极用层间连接导体与所述第二上部电极用层间连接导体间的配置关系而言,成为配置为在俯视时一者内插另一者间的关系。

8.根据权利要求4所述的电容器,其特征在于,

在俯视时,所述第一连接电极和所述第二连接电极中的至少一者具有凹陷部,

所述内侧辅助电极部的一端与所述凹陷部对置。

9.根据权利要求1~3中任一项所述的电容器,其特征在于,

电介质层由多个电介质层构成,在所述多个电介质层之间配置有电容器电极。

10.根据权利要求1~3中任一项所述的电容器,其特征在于,

所述辅助电极的主要部分设置于与设置有所述第一连接电极和所述第二连接电极的层相同的层。

11.根据权利要求1~3中任一项所述的电容器,其特征在于,

所述辅助电极的薄膜电阻比所述下部电极的薄膜电阻低。

12.根据权利要求1~3中任一项所述的电容器,其特征在于,

具备基板,所述基板对所述下部电极、所述第一上部电极、所述第二上部电极、所述第一连接电极、所述第二连接电极、所述辅助电极、所述电介质层进行支承,

所述下部电极、所述第一上部电极、所述第二上部电极、所述第一连接电极、所述第二连接电极和所述辅助电极是金属薄膜,所述电介质层是电介质薄膜。

13.根据权利要求12所述的电容器,其特征在于,

所述电介质层是烧结体。

14.根据权利要求11所述的电容器,其特征在于,

所述下部电极是以Pt作为主成分的金属,所述第一连接电极、所述第二连接电极和所述辅助电极是以Cu或者Al作为主成分的金属。

15.根据权利要求1~3中任一项所述的电容器,其特征在于,

所述电介质层是铁电层,根据施加于所述下部电极与所述第一上部电极之间的电压,使所述下部电极与所述第一上部电极之间的电容变化,根据施加于所述下部电极与所述第二上部电极之间的电压,使所述下部电极与所述第二上部电极之间的电容变化。

16.根据权利要求15所述的电容器,其特征在于,

具备控制电压施加电路,所述控制电压施加电路包含具有不同电阻值的多个电阻元件,并施加使对所述下部电极与所述第一上部电极之间施加的电压和对所述下部电极与所述第二上部电极之间施加的电压以多种方式不同的控制电压。

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