一种压电元件及其制备方法和超声传感器与流程

文档序号:18905700发布日期:2019-10-18 22:38阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及传感器技术领域,尤其涉及一种压电元件及其制备方法和超声传感器。能够减小应力阻尼对器件性能的影响。一种压电元件,包括支撑板,以及沿远离支撑板的方向依次层叠设置的第一电极层、第二电极层和第三电极层;第一电极层和第二电极层通过第一压电层隔离,第二电极层和第三电极层通过第二压电层隔离;沿支撑板的厚度方向,第一电极层与第二电极层中的电极的正投影无重叠,而均与第三电极层中的电极的正投影重叠;或者,第二电极层与第三电极层中的电极的正投影无重叠,而均与第一电极层中的电极的正投影重叠;或者,第三电极层与第一电极层中的电极的正投影无重叠,而均与第二电极层中的电极的正投影重叠。

技术研发人员:王美丽;徐婉娴;王飞;梁轩;王慧娟
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司
技术研发日:2019.07.15
技术公布日:2019.10.18
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