一种基于双铌源的铌酸钾钠同质多层薄膜的制备方法与流程

文档序号:22246557发布日期:2020-09-15 20:29阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种基于双铌源的铌酸钾钠同质多层薄膜的制备方法,步骤为:(1)将五氧化二铌溶解于氢氟酸中,再添加草酸铵,滴加氨水生成白色沉淀,加入柠檬酸得到铌‑柠溶液,继续过滤得到澄清溶液,加入钾盐和钠盐,加入乙二醇,静置得到澄清的铌酸钾钠前驱体溶胶;(2)滴加乙二醇甲醚于反应釜中,吸取乙醇铌置于乙二醇甲醚中,混合溶液水浴加热,滴加冰醋酸,乙酰丙酮和甲酰胺,加入钠盐和钠盐搅拌,得到明黄色铌酸钾钠前驱体溶胶;(3)在(100)硅片上交替旋涂步骤(1)制备的铌酸钾钠前驱体溶胶和步骤(2)制备的铌酸钾钠前驱体溶胶,得到铌酸钾钠同质多层薄膜。本发明得到的KNN多层薄膜在(100)取向高度择优。

技术研发人员:张伟;鲍建秋;朱海勇;姜智艺;张雪花;胡芳仁
受保护的技术使用者:南京邮电大学
技术研发日:2020.06.10
技术公布日:2020.09.15

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