一种圆形硅片装卸装置的制作方法

本实用新型涉及硅片加工工装领域，特别是涉及圆形硅片装卸装置。

背景技术：

硅片酸腐蚀是半导体硅片生产中的一个重要过程，在这个过程中要求去除磨片后硅片表面的损伤层，且要求表面色泽一致，达到一定的光泽度，粗糙度，以及厚度和ttv(硅片厚度变化量)的几何参数要求。它对硅片后道加工质量有极大的影响。在硅片酸腐蚀中，将可使硅片旋转腐蚀的清洗篮放入清洗机的清洗槽中进行清洗，现有技术中，将圆形的硅片从硅片放置盒装载到可使硅片旋转腐蚀的清洗篮中需要人工操作。这种操作方法存在以下一些缺点：人工作业失误率高，易碎片；需配备专人进行操作，只有经历时间的积累工作效率才能够提升；硅片装载装置在清洗槽之间周转，都是人为的，一方面人员易受伤，另一方面把控时间有出入。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于，针对现有技术的不足，提供一种圆形硅片装卸装置。

本实用新型采用的技术方案如下。

一种圆形硅片装卸装置，包括底板，底板的底面的中部安装在一横向设置的底板旋转轴上；底板的顶面的中部通过支撑架安装有纵向方筒组，纵向方筒组由横向排列的若干纵向方筒组成。

各纵向方筒的正前方设有一硅片放置盒支架，各硅片放置盒支架上安装一敞开端与所述纵向方筒的前端对接的硅片放置盒。

硅片放置盒上纵向设有若干硅片槽；各纵向方筒的底面上纵向设有与其正前方的硅片放置盒的各硅片槽位置相对应的滚动槽；纵向方筒组的后端设有清洗篮固定架，清洗篮固定架上设有可使硅片旋转腐蚀的清洗篮，可使硅片旋转腐蚀的清洗篮的硅片出入口与纵向方筒组的后端相接触。

作为优选技术方案，可使硅片旋转腐蚀的清洗篮包括左右对称设置的左纵板、右纵板，若干与左纵板、右纵板大小相同的分隔纵板、至少两个横向设置的定位夹持旋转轴、一横向设置的动位夹持旋转轴、若干横向设置的连接轴；左纵板、右纵板与各分隔纵板通过连接轴固定连接。

定位夹持旋转轴分别位于左纵板的中心与右纵板的中心的连线的下方；动位夹持旋转轴位于左纵板的中心与右纵板的中心的连线的上方。

定位夹持旋转轴、动位夹持旋转轴的径向外周表面上均同轴设有与纵向方筒组上的滚动槽位置相适应的环形槽，各定位夹持旋转轴的环形槽的径向外周表面、动位夹持旋转轴的环形槽的径向外周表面到左纵板的中心与右纵板的中心的连线的距离等于待清洗硅片的半径。

左纵板、右纵板及各分隔纵板上方相同位置上设有一底面呈弧形的弧形通孔，各弧形通孔的底面到左纵板的中心与右纵板的中心的连线的距离相等；动位夹持旋转轴穿过左纵板、右纵板及各分隔纵板的弧形通孔且可在所述弧形通孔内运动；当动位夹持旋转轴在所述弧形通孔内运动时，可使动位夹持旋转轴与其两侧的一定位夹持旋转轴之间的距离大于待腐蚀硅片的直径从而形成硅片出入口；连接轴位于所述硅片出入口以外；连接轴的径向外周表面与到左纵板的中心与右纵板的中心的连线的距离大于待清洗硅片的半径；左纵板、右纵板上设有动位夹持旋转轴锁定装置。

左纵板上同轴套装有主动旋转轴，主动旋转轴的左纵板的左侧同轴设有主齿轮，动位夹持旋转轴、各定位夹持旋转轴的位于左纵板的左侧均同轴设有可与主齿轮相啮合的副齿轮；右纵板的设有横向连接杆，或者，

右纵板上套装有主动旋转轴，主动旋转轴的右纵板的右侧同轴设有主齿轮，动位夹持旋转轴、各定位夹持旋转轴的位于右纵板的右侧均同轴设有可与主齿轮相啮合的副齿轮；左纵板的上设有横向连接杆。

采用本技术方案，装载时，动位夹持旋转轴在所述弧形通孔内运动，使动位夹持旋转轴与其两侧的一定位夹持旋转轴之间的距离大于待腐蚀硅片的直径从而形成硅片出入口，硅片从硅片出入口进入可使硅片旋转腐蚀的清洗篮且硅片硅片能够顺利的插入定位夹持旋转轴、动位夹持旋转轴对应的环形槽。动位夹持旋转轴在复位从而关闭硅片出入口。硅片不会左右摇摆，避免硅片损伤及无法插片的问题，同时减少碎片率。在清洗时，可使硅片旋转腐蚀的清洗篮被放入清洗机的清洗槽内，保持可使硅片旋转腐蚀的清洗篮不转动，通过驱动装置驱动主动旋转轴，主动旋转轴带动动位夹持旋转轴、定位夹持旋转轴转动，实现硅片在清洗槽内转动。本实用新型装载、卸载圆形硅片时，具有装片快速，不易碎片，不容易划伤操作者的手的特点，尤其适合6寸及6寸以上圆形硅片的装载。

作为优选技术方案，横向连接杆上设有插接孔；清洗篮固定架包括两左、右对称设置的立板，各立板的顶端设有开口向上的弧形凹槽；清洗篮的主动旋转轴、横向连接杆分别放置到两立板的弧形凹槽上，放置横向连接杆的立板上设有与横向连接杆的插接孔对应的插杆孔，横向连接杆与放置横向连接杆的立板通过一穿过横向连接杆的插接孔、放置横向连接杆的立板的插杆孔的插接杆相连；底板上各立板的远离另一立板侧设有纵挡板。采用这一技术方案，可以将可使硅片旋转腐蚀的清洗篮插接连接到清洗篮固定架上。本实用新型圆形硅片装卸装置所有构件采用塑料材质制成。

作为优选技术方案，所述清洗篮包括若干横向设置的旋转柱。

各旋转柱分别位于左纵板的中心与右纵板的中心的连线的下方；各定位夹持旋转轴的环形槽的径向外周表面、动位夹持旋转轴的环形槽的径向外周表面、各旋转柱的径向外周表面到左纵板的中心与右纵板的中心的连线的距离等于待清洗硅片的半径。

当左纵板上同轴套装有主动旋转轴时，各旋转柱左侧均同轴设有可与主齿轮相啮合的副齿轮。

当右纵板上套装有主动旋转轴时，各旋转柱的位于右纵板的右侧均同轴设有可与主齿轮相啮合的副齿轮。

作为优选技术方案，定位夹持旋转轴、动位夹持旋转轴的径向外周表面上各环形槽之间设有若干翅片。

作为优选技术方案，定位夹持旋转轴、动位夹持旋转轴的径向外周表面上各环形槽之间部分上的翅片环状阵列设置；各翅片的远离左纵板的中心与右纵板的中心的连线端的厚度小于其靠近左纵板的中心与右纵板的中心的连线端的厚度。

作为优选技术方案，所述左纵板、右纵板上的动位夹持旋转轴锁定装置包括设置在左纵板、右纵板的弧形通孔上的若干插杆通孔，插杆通孔上设有可将弧形通孔分隔的插杆；各分隔纵板上设有横向通孔。

作为优选技术方案，当左纵板上套装有主动旋转轴时，各定位夹持旋转轴、动位夹持旋转轴的径向外周表面上左纵板与距其最近的分隔纵板之间均不设有环形槽，主动旋转轴的右侧面与距其最近的分隔纵板之间不接触；左纵板与距其最近的分隔纵板之间的间距小于各分隔纵板之间的间距且小于右纵板与距其最近的分隔纵板之间的间距；

当右纵板上套装有主动旋转轴时，各定位夹持旋转轴、动位夹持旋转轴的径向外周表面上右纵板与距其最近的分隔纵板之间均不设有环形槽，主动旋转轴的左侧面与距其最近的分隔纵板之间不接触；右纵板与距其最近的分隔纵板之间的间距小于各分隔纵板之间的间距且小于左纵板与距其最近的分隔纵板之间的间距。

作为优选技术方案，当左纵板上套装有主动旋转轴时，主动旋转轴的右侧面与左纵板的右侧面在同一平面上；当右纵板上套装有主动旋转轴时，主动旋转轴的左侧面与右纵板的左侧面在同一平面上。

作为优选技术方案，纵向方筒上设有硅片放置盒锁定装置；硅片放置盒锁定装置包括设置在纵向方筒顶端的横向转轴，横向转轴上设有开口向下的钩板，钩板的前端设有硅片放置盒扣板。

附图说明

图1是可使硅片旋转腐蚀的清洗篮一较佳实施例的立体结构示意图。

图2是图1的a部分的局部放大图。

图3是图1的b部分的局部放大图。

图4是图1的c部分的局部放大图。

图5是图1所示可使硅片旋转腐蚀的清洗篮的正视图。

图6是图5的d部分的局部放大图。

图7是图5的e部分的局部放大图。

图8是图1所示可使硅片旋转腐蚀的清洗篮的一个状态图。

图9是图8的f部分的局部放大图。

图10是图9所示可使硅片旋转腐蚀的清洗篮的左视图。

图11是本实用新型可使硅片旋转腐蚀的清洗篮一较佳实施例的立体结构示意图。

图12是图11的g部分的局部放大图。

图13是图11的h部分的局部放大图。

图14是图11所示可使硅片旋转腐蚀的清洗篮的正视图。

图15是图14的i部分的局部放大图。

图16是图11所示可使硅片旋转腐蚀的清洗篮的左视图。

图17是图11所示可使硅片旋转腐蚀的清洗篮的一个状态图。

图18是图17的j部分的局部放大图。

图19是可使硅片旋转腐蚀的清洗篮一较佳实施例的立体结构示意图。

图20是图19的k部分的局部放大图。

图21是图19的l部分的局部放大图。

图22是可使硅片旋转腐蚀的清洗篮一较佳实施例的立体结构示意图。

图23是图22的m部分的局部放大图。

图24是可使硅片旋转腐蚀的清洗篮一较佳实施例的立体结构示意图。

图25是图24的n部分的局部放大图。

图26是硅片放置盒的立体结构示意图。

图27是图26所示硅片放置盒的俯视图。

图28是本实用新型圆形硅片装卸装置一较佳实施例的结构示意图。

图29是图28的o部分的局部放大图。

图30是图28的p部分的局部放大图。

图31是图28所示圆形硅片装卸装置的一个状态图。

图32是图31的q部分的局部放大图。

图33是图28所示圆形硅片装卸装置的一个状态图。

图34是图34的r部分的局部放大图。

其中：左纵板-1；右纵板-2；分隔纵板-3；定位夹持旋转轴-4；动位夹持旋转轴-5；旋转柱-6；连接轴-7；环形槽-8；弧形通孔-9；主动旋转轴-10；主齿轮-11；副齿轮-12；横向连接杆-13；插接孔-14；插杆通孔-15；插杆-16；翅片-17；横向通孔-18。底板-19；底板旋转轴-20；纵向方筒-21；支撑架-22；硅片放置盒-23；硅片槽-24；滚动槽-25；可使硅片旋转腐蚀的清洗篮-26；清洗篮固定架-27；硅片放置盒支架-28；立板-29；弧形凹槽-30；插接杆-31；横向转轴-32；钩板-33；硅片放置盒扣板-34；纵挡板-35；圆形的硅片-36。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

实施例1。如图26-34所示一种圆形硅片装卸装置，包括底板19，底板19的底面的中部安装在一横向设置的底板旋转轴20上；底板19的顶面的中部通过支撑架22安装有纵向方筒组，纵向方筒组由横向排列的三个纵向方筒21组成。

各纵向方筒21的正前方设有一硅片放置盒支架28，各硅片放置盒支架28上安装一敞开端与所述纵向方筒21的前端对接的硅片放置盒23。

硅片放置盒23上纵向设有若干硅片槽24；各纵向方筒21的前端与距其最近的硅片放置盒23的敞开端对接。各纵向方筒21的底面上纵向设有与其正前方的硅片放置盒23的各硅片槽24位置相对应的滚动槽25；纵向方筒21组的后端设有清洗篮固定架27，清洗篮固定架27上设有可使硅片旋转腐蚀的清洗篮26，可使硅片旋转腐蚀的清洗篮26的硅片出入口与纵向方筒21组的后端相接触。

如图1-10，可使硅片旋转腐蚀的清洗篮包括左右对称设置的左纵板1、右纵板2，若干与左纵板1、右纵板2大小相同的分隔纵板3、至少两个横向设置的定位夹持旋转轴4、一横向设置的动位夹持旋转轴5、三根横向设置的连接轴7；左纵板1、右纵板2与各分隔纵板3通过连接轴7固定连接。

定位夹持旋转轴4分别位于左纵板1的中心与右纵板2的中心的连线的下方；动位夹持旋转轴5位于左纵板1的中心与右纵板2的中心的连线的上方。

定位夹持旋转轴4、动位夹持旋转轴5的径向外周表面上均同轴设有与纵向方筒21组上的滚动槽25位置相适应的环形槽8，各定位夹持旋转轴4的环形槽8的径向外周表面、动位夹持旋转轴5的环形槽8的径向外周表面到左纵板1的中心与右纵板2的中心的连线的距离等于待清洗硅片的半径。

左纵板1、右纵板2及各分隔纵板3上方相同位置上设有一底面呈弧形的弧形通孔9，各弧形通孔9的底面到左纵板1的中心与右纵板2的中心的连线的距离相等；动位夹持旋转轴5穿过左纵板1、右纵板2及各分隔纵板3的弧形通孔9且可在所述弧形通孔9内运动；当动位夹持旋转轴5在所述弧形通孔9内运动时，可使动位夹持旋转轴5与其两侧的一定位夹持旋转轴4之间的距离大于待腐蚀硅片的直径从而形成硅片出入口；连接轴7位于所述硅片出入口以外；连接轴7的径向外周表面与到左纵板1的中心与右纵板2的中心的连线的距离大于待清洗硅片的半径；左纵板1、右纵板2上设有动位夹持旋转轴锁定装置。

左纵板1上同轴套装有主动旋转轴10，主动旋转轴10的左纵板1的左侧同轴设有主齿轮11，动位夹持旋转轴5、各定位夹持旋转轴4的位于左纵板1的左侧均同轴设有可与主齿轮11相啮合的副齿轮12；右纵板2的设有横向连接杆13。

定位夹持旋转轴4、动位夹持旋转轴5的径向外周表面上各环形槽8之间设有若干翅片17。

定位夹持旋转轴4、动位夹持旋转轴5的径向外周表面上各环形槽8之间部分上的翅片17环状阵列设置；各翅片17的远离左纵板1的中心与右纵板2的中心的连线端的厚度小于其靠近左纵板1的中心与右纵板2的中心的连线端的厚度。采用这一技术方案，可进一步加大对硅片边缘部分液体的扰动，在清洗时增加清洗效果。

所述左纵板1、右纵板2上的动位夹持旋转轴锁定装置包括设置在左纵板1、右纵板2的弧形通孔9上的若干插杆通孔15，插杆通孔15上设有可将弧形通孔9分隔的插杆16；各分隔纵板3上设有横向通孔18。

纵向方筒21上设有硅片放置盒锁定装置；硅片放置盒锁定装置包括设置在纵向方筒21顶端的横向转轴32，横向转轴32上设有开口向下的钩板33，钩板33的前端设有硅片放置盒扣板34。

横向连接杆13上设有插接孔14；清洗篮固定架27包括两左、右对称设置的立板29，各立板的顶端设有开口向上的弧形凹槽30；清洗篮的主动旋转轴10、横向连接杆13分别放置到两立板29的弧形凹槽30上，放置横向连接杆13的立板上设有与横向连接杆13的插接孔14对应的插杆孔，横向连接杆13与放置横向连接杆13的立板通过一穿过横向连接杆13的插接孔14、放置横向连接杆13的立板的插杆孔的插接杆31相连；底板19上各立板29的远离另一立板29侧设有纵挡板35。采用这一技术方案，可以将可使硅片旋转腐蚀的清洗篮26插接连接到清洗篮固定架27上。圆形硅片装卸装置所有构件采用塑料材质制成。

采用本技术方案，装载时，动位夹持旋转轴5在所述弧形通孔9内运动，使动位夹持旋转轴5与其两侧的一定位夹持旋转轴4之间的距离大于待腐蚀硅片的直径从而形成硅片出入口，硅片从硅片出入口进入可使硅片旋转腐蚀的清洗篮26且硅片硅片能够顺利的插入定位夹持旋转轴4、动位夹持旋转轴5对应的环形槽8。动位夹持旋转轴5在复位从而关闭硅片出入口。硅片不会左右摇摆，避免硅片损伤及无法插片的问题，同时减少碎片率。在清洗时，可使硅片旋转腐蚀的清洗篮26被放入清洗机的清洗槽内，保持可使硅片旋转腐蚀的清洗篮26不转动，通过驱动装置驱动主动旋转轴10，主动旋转轴10带动动位夹持旋转轴5、定位夹持旋转轴4转动，实现硅片在清洗槽内转动。

实施例2。如图11-18所示，本实施例与实施例1的不同在于：所述清洗篮包括两横向设置的旋转柱6。所述旋转柱6有两个，分别位于左纵板1的中心与右纵板2的中心的连线正下方的前、后两侧。各定位夹持旋转轴4的环形槽8的径向外周表面、动位夹持旋转轴5的环形槽8的径向外周表面、各旋转柱6的径向外周表面到左纵板1的中心与右纵板2的中心的连线的距离等于待清洗硅片的半径。当左纵板1上同轴套装有主动旋转轴10时，各旋转柱6左侧均同轴设有可与主齿轮11相啮合的副齿轮12，当右纵板2上套装有主动旋转轴10时，各旋转柱6的位于右纵板2的右侧均同轴设有可与主齿轮11相啮合的副齿轮12。采用这一技术方案，旋转柱6转动时，依靠硅片自身重力产生的摩擦力使硅片旋转，起到辅助硅片转动的作用。

分隔纵板3有三个。各定位夹持旋转轴4、动位夹持旋转轴5的径向外周表面上左纵板1与距其最近的分隔纵板3之间均不设有环形槽8，其余部分同轴设有若干环形槽且所述各环形槽之间设有若干翅片；主动旋转轴10的右侧面与距其最近的分隔纵板3之间不接触；左纵板1与距其最近的分隔纵板3之间的间距小于各分隔纵板3之间的间距且小于右纵板2与距其最近的分隔纵板3之间的间距。

实施例3。如图19-21所示，本实施例与实施例2的不同在于：右纵板2上套装有主动旋转轴10，主动旋转轴10的右纵板2的右侧同轴设有主齿轮11，动位夹持旋转轴5、各定位夹持旋转轴4的位于右纵板2的右侧均同轴设有可与主齿轮11相啮合的副齿轮；左纵板1的上设有横向连接杆13。主动旋转轴10的左侧面与距其最近的分隔纵板3之间不接触；右纵板2与距其最近的分隔纵板3之间的间距小于各分隔纵板3之间的间距且小于左纵板1与距其最近的分隔纵板3之间的间距。各定位夹持旋转轴4、动位夹持旋转轴5的径向外周表面上右纵板2与距其最近的分隔纵板3之间均不设有环形槽8，其余部分同轴设有若干环形槽8且所述各环形槽之间设有若干翅片17。定位夹持旋转轴4、动位夹持旋转轴5的环形槽8与圆形的硅片36接触。

实施例4。如图22-23所示，本实施例与实施例1的不同在于：所述清洗篮包括若干横向设置的旋转柱6。各旋转柱6分别位于左纵板1的中心与右纵板2的中心的连线的下方；各定位夹持旋转轴4的环形槽8的径向外周表面、动位夹持旋转轴5的环形槽8的径向外周表面、各旋转柱6的径向外周表面到左纵板1的中心与右纵板2的中心的连线的距离等于待清洗硅片的半径。左纵板1上同轴套装有主动旋转轴10，各旋转柱6左侧均同轴设有可与主齿轮11相啮合的副齿轮。主动旋转轴10的右侧面与左纵板1的右侧面在同一平面上。采用这一技术方案，旋转柱6转动时，依靠硅片自身重力产生的摩擦力使硅片旋转，起到辅助硅片转动的作用。

实施例5。如图24-25所示，本实施例与实施例4的不同在于：右纵板2上套装有主动旋转轴10，主动旋转轴10的左侧面与右纵板2的左侧面在同一平面上。