1.一种晶圆预定位装置,其特征在于,包括:旋转机构、平移机构、升降机构、感应机构、伸缩件、控制器及用于定位晶圆的定位件,与晶圆摆放的平面相平行的面为水平面;
所述旋转机构的旋转轴与所述定位件传动连接,并带动所述定位件做水平面上的旋转;所述平移机构的行动部与所述定位件传动连接,并带动所述定位件在水平面上做平移运动;所述升降机构的行动部与所述伸缩件传动连接,并带动所述伸缩件在竖直方向做轨迹为直线的往复运动;所述伸缩件设置于晶圆的下方,且所述伸缩件上升时可将所述定位件上的晶圆抬起;所述感应机构包括机架及固定于机架上用于测量晶圆位置的激光传感器,所述激光传感器包括相对设置的发射端及接收端;所述激光传感器的输出端与所述控制器的输入端连接,所述旋转机构、平移机构、升降机构及感应机构的受控端分别与所述控制器的一控制端连接。
2.根据权利要求1所述的晶圆预定位装置,其特征在于,所述伸缩件包括多根顶针,所有顶针都立于一顶板上,所述顶针靠近晶圆的一端设有托片,所述顶板与所述升降机构的行动部传动连接,并通过所述升降机构带动所述顶针做上下运动。
3.根据权利要求2所述的晶圆预定位装置,其特征在于,所述升降机构包括第一电机及套设于电机转动轴上的凸轮;所述第一电机的受控端与所述控制器的一控制端连接,所述凸轮通过一传动块与所述顶板抵接,所述凸轮带动所述顶板上的顶针做上下往复运动。
4.根据权利要求1所述的晶圆预定位装置,其特征在于,所述平移机构的行动部与所述定位件传动连接,并带动所述定位件在水平面上做轨迹为直线的往复运动。
5.根据权利要求4所述的晶圆预定位装置,其特征在于,所述平移机构包括第二电机及水平设置的第一丝杆;所述第二电机的受控端与所述控制器的一控制端连接,所述平移机构的第二电机与所述第一丝杆传动连接;所述第一丝杆与所述旋转机构连接,并带动所述旋转机构做水平面上的直线往复运动。
6.根据权利要求5所述的晶圆预定位装置,其特征在于,所述平移机构还包括第一滑轨、第一滑块,所述第一滑块与所述旋转机构固定连接;所述第一丝杆也与所述第一滑块固定连接,并带动所述第一滑块在所述第一滑轨上滑动。
7.根据权利要求1所述的晶圆预定位装置,其特征在于,所述平移机构还包括输出端与控制器一输入端连接的到位开关,当所述平移机构的行动部到达预设位置时,所述到位开关触发。
8.根据权利要求7所述的晶圆预定位装置,其特征在于,所述到位开关包括定位挡片及定位激光传感器,所述定位激光传感器的输出端与所述控制器的一输入端连接,所述定位挡片与所述平移机构的行动部传动连接,当行动部移动至预定位置时,所述定位挡片将所述定位激光传感器的激光信号遮挡住。
9.根据权利要求1所述的晶圆预定位装置,其特征在于,还包括机架平移机构,所述机架平移机构的行动部与所述机架传动连接,所述机架平移机构带动所述机架上的所述激光传感器做相对于定位件的往复运动。
10.根据权利要求1所述的晶圆预定位装置,其特征在于,所述定位件为真空吸盘,所述真空吸盘上的气孔与一气管导通。