一种半导体制造用去离子水湿法氧化回流装置的制作方法

本发明属于半导体分立器件制造技术领域，尤其涉及一种半导体制造用去离子水湿法氧化回流装置。

背景技术：

半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料。从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要，像很多电子产品，如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息。

半导体分立器件制造属于半导体延伸制造使用的一种，湿法水汽氧化是半导体分立器件制造必不可少的工艺，现有的湿法水汽氧化设备使用的是电炉加热去离子水形成去离子水蒸汽，氧气输送进入电炉加热内与去离子水蒸汽混合，再输入进入扩散炉内，在半导体器件上进行氧化层的生长，但是输入的去离子蒸汽不能得到回收利用，从而导致去离子水的使用较多和浪费；另外现有的回收利用去离子水装置，应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。

于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供半导体制造用去离子水湿法氧化回流装置，以期达到更具有更加实用价值性的目的。

技术实现要素：

为了解决上述技术问题，本发明提供一种半导体制造用去离子水湿法氧化回流装置，由以下具体技术手段所达成：

一种半导体制造用去离子水湿法氧化回流装置，包括底座，所述支架的上部左侧固定连接有去离子水箱，支架的上部且在去离子水箱的右侧设置有流量阀，支架的上部且在流量阀的右侧设置有蒸发器，蒸发器的内部上侧转动连接有扇叶，扇叶的上部固定连接有转轴，转轴的外侧固定连接有转动轮，转动轮的外侧滚动连接有皮带，蒸发器的上部固定连接有管路，管路的上部设置有氧化箱，氧化箱的左侧设置有冷凝装置，冷凝装置的左侧设置有回收箱，冷凝装置的下侧设置有与皮带转动连接的l型转臂，l型转臂的内部设置有金属杆，l型转臂的下部固定连接有球体，球体的外部转动连接有抽吸装置，抽吸装置包括：隔板、磁块、导向板和进出口，抽吸装置的内部且在导向板上设置有圆板，抽吸装置的下部且在支架上固定连接有固定柱，回收箱的下侧且在支架上设置有分离筒，分离筒的下端固定连接有电板，电板的内侧设置有抽吸环管，抽吸环管和进出口之间固定连接有回流管。

进一步的，所述转动轮的内部开设有与管路相通的通气孔，从而保证蒸发器内的去离子水蒸汽流到氧化箱的内部。

进一步的，所述回流管与进出口的进口相连，且的的出口通过管路与回收箱固定连接。

进一步的，所述磁块相对金属杆的一侧磁极相同，且与相对面的金属杆相对应。

进一步的，所述抽吸装置、圆板的内部均开设有与球体对应的球形槽，且圆板固定连接在球体上。

进一步的，所述分离筒的内部且在回流管上部下侧设置有过滤板。

进一步的，所述圆板的开设有与导向板对应的滑槽。

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

1.通过蒸汽推动扇叶转动，扇叶通过转轴带动转动轮转动，转动轮通过皮带带动l型转臂转动，l型转臂带动圆板在抽吸装置内旋转摆动，l型转臂上的金属杆对磁块上的磁感线进行切割，金属杆切割磁感线产生电流正负极分别通向电板，通过电板对分离筒内的冷凝后的去离子水和可溶性的有机物进行吸附，从而保证分离筒的上部为去离子水，其次，l型转臂带动圆板在抽吸装置内旋转摆动，圆板挤压进出口进水口的一侧到其出水口的一侧，如此反复，抽吸装置通过抽吸环管对电板周围的离子和可溶性的有机物进行间歇抽取。这一结构解决了去离子水的使用较多和浪费，以及存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效的问题。

2.通过l型转臂上的金属杆对磁块上的磁感线进行切割，金属杆切割磁感线产生电流正负极分别通向电板，通过电板对分离筒内的冷凝后的去离子水和可溶性的有机物进行吸附，从而降低了额外驱动装置的设置。

附图说明

图1是本发明整体正面结构示意图；

图2是本发明转动轮相关结构正面剖视图；

图3是本发明电板相关结构正面剖视图；

图4是本发明抽吸装置相关结构正面剖视图；

图5是本发明抽吸装置转动90度结构示意图；

图6是本发明圆板俯视结构示意图。

图中：1支架、2去离子水箱、3流量阀、4蒸发器、5扇叶、501转轴、6转动轮、7皮带、8管路、9氧化箱、10冷凝装置、11回收箱、12l型转臂、1201金属杆、1202球体、13抽吸装置、1301隔板、13011磁块、1302导向板、1303进出口、14圆板、15固定柱、16分离筒、17电板、18抽吸环管、19回流管。

具体实施方式

以下结合附图对本发明做进一步描述：

实施例：

如附图1至附图6所示：本发明提供一种半导体制造用去离子水湿法氧化回流装置，本实施例的具体使用方式与作用：

本发明中，一种半导体制造用去离子水湿法氧化回流装置，包括底座1，支架1的上部左侧固定连接有去离子水箱2，支架1的上部且在去离子水箱2的右侧设置有流量阀3，支架1的上部且在流量阀3的右侧设置有蒸发器4，蒸发器4的内部上侧转动连接有扇叶5，扇叶5的上部固定连接有转轴501，转轴501的外侧固定连接有转动轮6，转动轮6的外侧滚动连接有皮带7，蒸发器4的上部固定连接有管路8，管路8的上部设置有氧化箱9，转动轮6的内部开设有与管路8相通的通气孔，从而保证蒸发器4内的去离子水蒸汽流到氧化箱9的内部。氧化箱9的左侧设置有冷凝装置10，冷凝装置10的左侧设置有回收箱11，冷凝装置10的下侧设置有与皮带7转动连接的l型转臂12，l型转臂12的内部设置有金属杆1201，l型转臂12的下部固定连接有球体1202，球体1202的外部转动连接有抽吸装置13，抽吸装置13包括：隔板1301、磁块13011、导向板1302和进出口1303，磁块13011相对金属杆1201的一侧磁极相同，且与相对面的金属杆1201相对应。

圆板14的开设有与导向板1302对应的滑槽，抽吸装置13的内部且在导向板1302上设置有圆板14，抽吸装置13、圆板14的内部均开设有与球体1202对应的球形槽，且圆板14固定连接在球体1202上。抽吸装置13的下部且在支架1上固定连接有固定柱15，回收箱11的下侧且在支架1上设置有分离筒16，分离筒16的下端固定连接有电板17，电板17的内侧设置有抽吸环管18，抽吸环管18和进出口1303之间固定连接有回流管19，回流管19与进出口1303的进口相连，且1303的的出口通过管路与回收箱11固定连接，分离筒16的内部且在回流管19上部下侧设置有过滤板。

工作原理：在使用时，通过去离子水箱2和流量阀2向蒸发器4内定量持续输入去离子水，去离子水通过蒸发器4蒸发通过管路8进入到氧化箱9内，蒸汽半导体器件上进行氧化层的生长，然后通过冷凝装置10回流到分离筒16中，同时，蒸汽推动扇叶5转动，扇叶5通过转轴501带动转动轮6转动，转动轮6通过皮带7带动l型转臂12转动，l型转臂12带动圆板14在抽吸装置13内旋转摆动，l型转臂12上的金属杆1201对磁块13011上的磁感线进行切割，金属杆1201切割磁感线产生电流正负极分别通向电板17，通过电板17对分离筒16内的冷凝后的去离子水和可溶性的有机物进行吸附，从而保证分离筒16的上部为去离子水，其次，l型转臂12带动圆板14在抽吸装置13内旋转摆动，圆板14挤压进出口1303进水口的一侧到其出水口的一侧，如此反复，抽吸装置13通过抽吸环管对电板17周围的离子和可溶性的有机物进行间歇抽取。这一结构解决了去离子水的使用较多和浪费，以及存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效的问题。

通过l型转臂12上的金属杆1201对磁块13011上的磁感线进行切割，金属杆1201切割磁感线产生电流正负极分别通向电板17，通过电板17对分离筒16内的冷凝后的去离子水和可溶性的有机物进行吸附，从而降低了额外驱动装置的设置。

利用本发明所述技术方案，或本领域的技术人员在本发明技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本发明的保护范围。