板条激光器和放大器以及其使用方法_5

文档序号:8288134阅读:来源:国知局
或多个所述组件的热膨 胀。
8. 如上述权利要求中任一权利要求所述的装置,其中所述腔滤光片材料包含掺杂有钐 的氟化铽。
9. 如上述权利要求中任一权利要求所述的装置,其中所述板条晶体包含掺杂有铬的变 O
10. 如上述权利要求中任一权利要求所述的装置,其进一步包括冷却剂循环子系统,所 述冷却剂循环子系统适合在所述装置中循环冷却剂,用于通过在所述板条晶体与所述腔填 充物材料之间循环所述冷却剂来冷却所述板条晶体和/或所述腔滤光片材料。
11. 如上述权利要求中任一权利要求所述的装置,其中相对于所述板条晶体的一个邻 接侧以锐角提供所述一个端,且相对于所述板条晶体的相对邻接侧以斜角提供所述一个 端。
12. -种用于放大光的系统,其包括串行布置的如上述权利要求中任一权利要求的多 个所述激光装置。
13. -种激光装置,其包括: 板条晶体; 光源,其提供包含紫外线频带的光能;以及 腔滤光片材料,其包含掺杂有钐的氟化铽,所述填充物材料提供于所述板条晶体的至 少一侧上,且适合接收来自所述光源的所述光能,且适合将处于所述第一紫外线频带的所 述光能转换成处于可见光的第二频带的光能,以供所述板条晶体吸收,用于放大激光束,其 中 所述板条晶体适合于从一端发射所述经放大激光束。
14. 如权利要求13所述的装置,其进一步包括多个弹性固持件,所述弹性固持件适合 固持所述装置的组件,同时允许所述装置的一个或多个所述组件的热膨胀。
15. 如权利要求13到14中任一权利要求所述的装置,其进一步包括冷却剂循环系统, 所述冷却剂循环系统适合在所述装置中循环冷却剂,以通过在所述板条晶体与所述腔填充 物材料之间循环所述冷却剂来冷却所述板条晶体和/或所述腔滤光片材料。
16. 如权利要求13到15中任一权利要求所述的装置,其中所述板条晶体包含掺杂有铬 的变石。
17. 如权利要求13到16中任一权利要求所述的装置,其中所述经放大激光束是从所述 板条晶体的源束从中进入所述板条晶体以供放大的端相同的端发射,使得所述所发射的激 光束是以与所述源激光束进入所述板条晶体的角度不同的角度从所述板条晶体发射,或从 与所述源束进入所述板条晶体的位置不同的位置发射。
18. 如权利要求17所述的激光装置,其中相对于所述板条晶体的一个邻接侧以锐角提 供不包含所述后反射表面的所述端,且相对于所述板条晶体的相对邻接侧以斜角提供所述 端,使得所述所发射的激光束是以与所述源激光束进入所述板条晶体的所述角度不同的角 度从所述板条晶体发射。
19. 如权利要求13到18中任一权利要求所述的激光装置,其中相对于所述板条晶体的 一个邻接侧以锐角提供不包含所述后反射表面的所述端,且相对于所述板条晶体的相对邻 接侧以斜角提供所述端。
20. -种激光装置,其包括: 板条晶体; 光源,其提供光能,所述光能包含处于紫外线频带中的一部分以及处于可见光频带中 的一部分;以及 腔滤光片材料,其对所述可见光频带大体上透明,所述腔滤光片材料提供于所述板条 晶体的至少一侧上,且适合从所述光源接收所述光能,且适合将处于所述第一紫外线频带 的所述光能转换成处于小于所述紫外线频带的经转换频带的光能,以供所述板条晶体吸 收,其中 所述光源和所述腔滤光片材料经布置使得所述光能的在所述可见光频带中的所述部 分的至少一部分穿过所述腔滤光片发射到所述板条晶体,且其中 所述板条晶体适合于吸收所述光能的处于所述可见频带中的发射穿过所述腔滤光片 的所述部分的一部分,且还吸收所述光能的处于所述经转换频带的一部分,用来放大从所 述板条激光器发射的激光束。
21. 如权利要求20所述的装置,其中所述板条晶体包含掺杂有铬的变石。
22. 如权利要求20到21中任一权利要求所述的装置,其中所述腔滤光片材料包含掺杂 有钐的氟化铽。
23. 如权利要求20到22中任一权利要求所述的装置,其中所述经放大的激光束是从所 述板条晶体的与源束从中进入所述板条晶体以供放大的端相同的端发射,使得所述所发射 的激光束是以与所述源激光束进入所述板条晶体的角度不同的角度从所述板条晶体发射。
24. -种激光装置,其包括: 板条晶体; 光源,其提供处于第一频带的光能; 腔滤光片材料,其提供于所述板条晶体的至少一侧上,且适合接收来自所述光源的所 述光能的一部分,且适合将所述光能的处于所述第一频带的所述部分的至少一些转换成处 于第二频带的光能,以供所述板条晶体至少部分地吸收; 多个弹性固持件,其适合固持所述激光装置的组件,同时允许所述装置的一个或多个 所述组件的热膨胀;以及 冷却剂循环系统,其适合在所述板条晶体与所述腔填充物材料之间循环冷却剂,用于 冷却所述装置,其中 所述板条晶体适合于从所述板条晶体的一端发射经放大的激光束。
25. 如权利要求到24所述的装置,其中所述经放大的激光束是从所述板条晶体的源束 从中进入所述板条晶体以供放大的端相同的端发射,使得所述经放大的激光束是以与所述 源激光束进入所述板条晶体的角度不同的角度从所述板条晶体发射。
26. 如权利要求24到25所述的激光装置,其中所述腔滤光片材料包含掺杂有钐的氟化 铽,且其中所述板条晶体包含掺杂有铬的变石。
27. 如权利要求24到26所述的激光装置,其中相对于所述板条晶体的一个邻接侧以锐 角提供所述端,且相对于所述板条晶体的相对邻接侧以斜角提供所述端。
28. 如权利要求25到27所述的激光装置,其中所述板条晶体具备后反射表面,其相对 于所述板条晶体的水平轴不成90度。
29. -种激光装置,其包括: 板条晶体,其具有前面,所述前面形成相对于所述板条晶体的底部以锐角提供的点,用 于接收相对于所述前面以第一角度提供的入射光束,所述板条晶体还具有后壁,其相对于 所述板条晶体的所述底部以不是90度的后角度提供; 光源,其提供光能,所述光能包含处于第一频带的一部分以及处于第二频带的一部分; 以及 腔滤光片材料,其对第一光频带透明,且提供于所述板条晶体的顶部和/或所述底部 上,且适合接收来自所述光源的所述光能,且适合将处于所述第一频带的所述光能转换成 处于经转换频带的光能,以供所述板条晶体至少部分地吸收,其中 所述光源和所述腔滤光片材料经布置使得所述光能的处于所述第二光频带的所述部 分的至少一部分穿过所述腔滤光片发射到所述板条晶体,且其中 所述板条晶体适合通过吸收所述光能的处于所述第二频带的穿过所述腔滤光片发射 的所述部分的一部分,且通过吸收所述光能的处于所述经转换频带的一部分来放大激光 束,以供从所述板条晶体发射,其中 选择所述锐角和所述后角度,使得所述经放大的激光束是以不同于所述第一角度的角 度从所述板条晶体的所述前面发射,使得进入所述板条晶体的所述入射光束不与从所述板 条晶体发射的所述经放大激光束重合。
30. 一种用于放大光的系统,其包括串行布置的多个如权利要求13到29中任一权利要 求所述的激光装置。
31. -种制造工件的方法,其包括以下步骤:使用根据上述权利要求中任一权利要求 所述的激光装置来发射激光以将一个或多个材料层添加到所述工件和/或从所述工件移 除一个或多个材料层。
32. 如权利要求31所述的方法,其中所述工件形成到半导体装置中。
33. 如权利要求31所述的方法,其中所述工件形成到光伏装置中。
34. 如权利要求31所述的方法,其中所述工件形成到集成电路中。
35. 如权利要求31所述的方法,其中所述工件形成到电容器中。
36. 如权利要求35所述的方法,其中所述工件为包含铜和/或铝的电导体。
37. 如权利要求31到36中任一权利要求所述的方法,其中使用所述激光装置将包含金 刚石或类金刚石碳的材料层添加到所述工件。
38. 如权利要求31到36中任一权利要求所述的方法,其中使用所述激光装置将包含铪 钽碳化物的材料层添加到所述半导体装置。
39. -种制造方法,其包括以下步骤: 提供板条激光器,所述板条激光器包括: 板条晶体,其适合于从一端发射经放大的高能脉冲激光束, 光源,其提供包含第一频带的光能, 腔滤光片材料,其提供于所述板条晶体的至少一侧上,适合接收来自所述光源的所述 光能的至少一部分,且适合将所述光能的处于所述第一频带的至少一部分转换成处于第二 频带的光能,以供所述板条晶体吸收,用来放大激光束,以及 冷却子系统,其适合冷却所述激光; 提供工件;以及 使用所述板条激光器来发射所述高能脉冲束,以将一个或多个材料层沉积在所述工件 上。
40. 如权利要求39所述的方法,其中所述材料为金刚石或类金刚石碳。
41. 如权利要求40所述的方法,其中所述材料为铪钽碳化物。
42. -种制造半导体装置的方法,其包括以下步骤: 提供板条激光器,所述板条激光器包括: 板条晶体,其适合于从一端发射经放大的高能脉冲激光束, 光源,其提供包含第一频带的光能, 腔滤光片材料,其提供于所述板条晶体的至少一侧上,且适合接收来自所述光源的所 述光能的至少一部分,且适合将所述光能的处于所述第一频带的至少一部分转换成处于第 二频带的光能,以供所述板条晶体吸收,用来放大激光束,以及 冷却子系统,其适合冷却所述激光; 提供半导体工件; 提供碳源;以及 使用所述板条激光器来发射非常短脉冲的所述高能束,以从所述碳源将一个或多个金 刚石或类金刚石碳层沉积在所述工件上。
43. -种制造能量储存装置的方法,其包括以下步骤: 提供板条激光器,所述板条激光器包括: 板条晶体,其适合于从一端发射经放大的高能激光束, 光源,其提供包含第一频带的光能, 腔滤光片材料,其提供于所述板条晶体的至少一侧上,且适合接收来自所述光源的所 述光能的至少一部分,且适合将所述光能的处于所述第一频带的至少一部分转换成处于第 二频带的光能,以供所述板条晶体吸收,用来放大激光束,以及 冷却子系统,其适合冷却所述激光; 提供工件; 提供碳源;以及 使用所述板条激光器发射所述高能束,以从所述碳源将一个或多个金刚石或类金刚石 碳层沉积在所述工件上;以及 将所述工件并入所述能量储存装置中。
44. 一种激光装置,其包括: 外壳; 板条晶体; 多个光源,其各自提供包含第一频带和第二频带的光能; 腔滤光片材料,其提供于所述板条晶体的至少一侧上,且适合接收来自光源的光能,使 得所述腔滤光片材料将以第一频带接收的光能转换成由所述板条晶体吸收的处于第二频 带的光能;以及 冷却子系统,其用于循环冷却剂,其中 所述腔填充物材料和所述板条激光器以如下方式布置在所述外壳中:所述循环冷却剂 在所述板条晶体与所述腔填充物材料之间流动以用于冷却,且其中 所述板条晶体适合于以一个角度将入射光束接收到所述板条晶体的一端中,且还以不 同于所述一个角度的角度从所述一端发射经放大激光束,或在吸收处于所述第二频率的所 述光能之后,发射从所述入射光束线性移位的所述经放大激光束。
45. -种激光放大装置,其包括: 串行布置的多个板条激光器,所述板条激光器中的每一者包括: 外壳, 板条晶体,以及 腔滤光片材料,其提供于所述板条晶体的至少一侧上,且适合接收来自光源的光能,使 得所述腔滤光片材料将以第一频带接收的光能转换成由所述板条晶体吸收的处于第二频 带的光能,其中 所述板条晶体适合于以一个角度将入射光束接收到所述板条晶体的一端中,且还以不 同于所述一个角度的角度从所述一端发射经放大激光束,或在吸收处于所述第二频率的所 述光能之后,发射从所述入射光束线性移位的所述经放大激光束; 其中将系列中的所述板条激光器中的前一者的输出用作所述系列中的所述板条激光 器中的后一者的输入,且其中 将所述系列中的所述板条激光器中的最后一者的输出用作所述放大装置的输出。
46. -种激光放大装置,其包括: 串行布置的多个板条激光器,所述板条激光器中的每一者包括: 外壳; 板条晶体; 多个光源,其各自提供包含第一频带和第二频带的光能; 腔滤光片材料,其提供于所述板条晶体的至少一侧上,且适合接收来自光源的光能,使 得所述腔滤光片材料将以第一频带接收的光能转换成由所述板条晶体吸收的处于第二频 带的光能;以及 冷却子系统,其适合循环冷却剂,其中 所述腔填充物材料和所述板条激光器以
当前第5页1 2 3 4 5 6 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1