中，多个独立的气体输送单元102、104的每一者的大小实质上类似，以促进所述单元堆叠且耦接至彼此，且以最小化该晶片厂中的空间使用。举例而言，在一些实施方式中，独立的气体输送单元102、104的每一者的宽度111可为约350毫米至约400毫米，高度113可为约600毫米至约650毫米，并且深度115可为约550毫米至约600毫米。在一些实施方式中，可将包含模块化化学输送系统100的所有独立气体输送单元102、104封装在单一壳中，以限制可能由多个独立的气体输送单元102、104的每一者排出的排放气体。
[0021]模块化气体箱单元102包括具有内部空间107的主体103。模块化气体箱单元102包括设置在第一空间107内的多个气体棒106a-106e，其中经由气体供应器接线130，多个气体棒106a_106e的每一者经配置以通过主体中一或更多个入口耦接至至少一个气体供应器126a_126e。在一些实施方式中，每一模块化气体箱单兀102可经标准化，以包括共五个气体棒106a_106e(四个用于反应气体，及一个用于惰性气体)。在一些实施方式中，模块化气体箱单元所包括的气体棒106a_106e的数目可为约两个气体棒(当该安瓿模块中没有安瓿时)至约十个气体棒。在一些实施方式中，尽管气体棒存在于模块化气体箱单元中，但并不是所有的气体棒可用于特定工艺(即，一些气体棒可用作不使用的备用气体棒)。多个气体棒106a_106e的每一者可供应相同或不同气体。此外，气体棒106a_106e (和/或它们的相关联的气动阀门)可经控制以连续地、同时或两种方式的组合提供它们的各别气体。
[0022]模块化气体箱单元102包括设置于第一空间中的多个气动阀门(将相对于图2A-图2B在下文详细论述)，每一阀门分别对齐至少一个气体供应器的相应的一者设置。模块化气体箱单元102包括来自可配置的歧管128的至少一个输出导管129，输出导管129耦接至气体棒106a-106b的出口，以将至少一种工艺气体输送至处理腔室中的一或更多气体输送区。在一些实施方式中，可配置的歧管128由多个气动阀门和配置导管(将相对于图2A-图2B在下文中详细论述)组成。
[0023]在一些实施方式中，模块化气体箱控制器108设置于该第一空间内，且经配置以控制多个气体棒106a-106e及多个阀门。模块化气体箱控制器108可包括对于控制气体棒和打开/关闭与每一气体棒相关联的气动阀门所必需的电气部件和电值区块(EV区块)。在一些实施方式中，模块化气体箱单元102可包括通信接口 110，该通信接口 110可与模块化气体箱控制器108通信，该通信接口 110经配置以接收控制信号(例如，从外部系统)，以控制多个气体棒和多个阀门。
[0024]模块化气体箱单元102的主体103可包括多个气流孔132，以促进模块化气体箱单元102的内部部件的冷却，且以促进模块化气体箱单元102内的气体的净化。排放气体可经净化进入公共排气导管138。
[0025]模块化安瓿单元104包括具有内部空间109的主体105。模块化安瓿单元104包括保存液体或固体前驱物的安瓿112及加热前驱物的阀门模块114(在本领域中称为“热罐”)。在一些实施方式中，模块化安瓿单元104可包括盛液盘116，若安瓿112泄漏，则盛液盘116可捕获该前驱物。在一些实施方式中，模块化安瓿单元104可包括加热/冷却封套(未图示)，该加热/冷却封套包覆在安瓿的周围以加热/冷却由安瓿112所保存的前驱物。
[0026]模块化安瓿单元104包括设置在空间109内的多个气体棒118a_118b，其中所述多个气体棒118a-118b的每一者经配置以经由该主体中的一或更多入口耦接至至少一个气体供应器127a-127b。在一些实施方式中，每一模块化安瓿单元104可经标准化以包括至少两个气体棒118a-118b。在一些实施方式中，气体棒118a可连接安瓿的入口 140(经由设置于阀门模块114中的阀门142)，以载运前驱物(即载气)。在一些实施方式中，可将该前驱物经由安瓿出口 144载运至安瓿112的外部。载运至安瓿112外部的前驱物的量可由设置于阀门模块114中的阀门146调节。在一些实施方式中，气体棒118b可经由阀门148连接至安瓿气体输出接线150以输送气体，以将前驱物稀释至所要的浓度(即稀薄气体)。在其他实施方式中，两个气体棒可用以提供双载气能力，且一个气体棒用于该稀薄气体。在一些实施方式中，包括在模块化安瓿单元104中的气体棒118a-118b的数目可为约两个气体棒至约六个气体棒。在一些实施方式中，尽管多个气体棒可能存在于模块化安瓿单元104中，但并不是所有的气体棒可用于特定工艺(即，一些气体棒可用作不使用的备用气体棒)。气体棒118a-l 18b (和/或它们的相关联的气动阀门)可经控制以连续地、同时或两种方式的组合提供它们的各别气体。
[0027]模块化安瓿单元104进一步包括接收安瓿112所保存的前驱物之入口(未图示)、接收供应至第一气体棒118a的载气的入口 127a、接收供应至第二气体棒118b的稀薄气体的入口 127b和使来自模块化安瓿单元104的前驱物、载气和稀薄气体的气体混合物流动的气体输出接线150。在一些实施方式中，模块化安瓿单元104可包括设置于第一空间中的多个气动阀门(未图示)，每一阀门分别对齐至少一个气体供应器的相应一者设置。
[0028]在一些实施方式中，模块化安瓿单元控制器120设置于空间109中，且经配置以控制多个气体棒118a-118b、多个阀门、安瓿112、阀门模块114和加热器/冷却器封套(未图示)中的一或更多。在一些实施方式中，阀门模块114可包括独立的温度控制器(未图示)。模块化安瓿单元控制器120可包括电气部件和电值区块(EV区块)，所述电气部件和电值区块(EV区块)除控制安瓿112、阀门模块114和安瓿加热器/冷却器封套(未图示)夕卜，还为控制气体棒和打开/关闭与每一气体棒相关联的气动阀门所必需。此外，在一些实施方式中，模块化安瓿单元104可包括通信接口 110，该通信接口 110可与模块化安瓿单元控制器120通信，该通信接口 110经配置以接收控制信号(例如，从外部系统)以控制多个气体棒和多个阀门。
[0029]模块化安瓿单元104的主体105可包括多个气流孔134，以促进模块化安瓿单元的内部部件的冷却，且以促进模块化安瓿单元104内的气体的净化。排放气体可经净化进入公共排气导管138。
[0030]图2A-图2B是根据本发明的一些实施方式的模块化气体箱单元102内的示例性气体托盘配置的图解描述。在与图2A和图2B—致的示例性实施方式中，第一多个气动阀门202a_202e耦接至气体棒106a_106e的输入端。在一些实施方式中，第一气体棒106a和阀门202a可用以使惰性气体(例如，氩气、氮气或类似气体)流动。在一些实施方式中，一或更多气体棒106b-106e和阀门202b-202e可用以使由气动阀门204提供的反应气体(例如SiH4、H2、NF3、WF6、NH3或类似气体)流动。此外，一或更多气体棒106b_106e和阀门202b-202e也可用以使由气动阀门206提供的净化气体(例如氩气、氮气或类似气体)流动。在一些实施方式中，第二多个气动阀门208a_208e耦接至气体棒106a_106e的输出端。在图2A中，图示包括可配置的歧管128的示例性输出端配置。在图2A中，所有可配置的输出导管在五个气体棒配置中彼此耦