接，且所述可配置的输出导管经由可配置的导管210提供单一工艺气体混合物且到达输出导管129。图2B中图示两棒/三棒组合配置，在该两棒/三棒组合配置中来自气体棒106a-106c的工艺气体在可配置的导管210中结合，且经由输出导管129a输出。此外，来自气体棒106d-106e的工艺气体在可配置的导管210中结合，且经由输出导管12%输出。可配置的导管210包括“T”型导管、倾斜导管、直导管和类似导管，以形成所要的组合。在一些实施方式中，可配置的导管210可为表面安装区块，所述表面安装区块包括设置于每一区块内部的气体通道。此外，尽管图2A和图2B为达描述的目的描绘两种配置，但可配置的导管210可以任何方式配置，以形成所要的输出配置。可配置的导管210的末端经配置以连接至彼此，同时形成实质上限制气体泄漏的密封件。
[0031]图3是根据本发明的一些实施方式的基板处理系统的图解描述。在图3中，多个气体供应器导管334将气体提供至独立气体输送单元(即，三个模块化气体箱单元102和一个模块化安瓿单元104)的每一者。独立气体输送单元102、104经由输出导管332将工艺气体提供至一或更多处理腔室330中的一或更多气体输送区。在图3中，每一供应器导管334和每一输出导管332可不意性地表不一或更多导管。由独立气体输送单兀102、104每一者供应的工艺气体量可由工艺工具控制器336控制，该工艺工具控制器336经由接口110及122将控制信号提供至独立气体输送单元102、104。在一些实施方式中，控制器336将包括用于每一独立气体输送单元102、104的独立专用电控制器。更特定而言，在一些实施方式中，控制器336将包括控制每一独立气体输送单元102、104的气体棒和谷的独立专用电控制器。在其他实施方式中，每一独立气体输送单元102、104可含有控制每一独立气体输送单元102、104的气体棒和谷的电控制器。
[0032]尽管前述内容涉及本发明的实施方式，但在不脱离本发明的基本范围的情况下，可设计本发明的其他及另外的实施方式。
【主权项】
1.一种模块化化学输送系统，所述模块化化学输送系统将化学品输送至处理腔室，所述处理腔室用于半导体基板处理，所述模块化化学输送系统包括: 多个气体输送单元，所述多个气体输送单元直接地且可移除地耦接至彼此，其中每一气体输送单元包括: 主体，所述主体封装第一空间； 多个气体棒，所述多个气体棒设置于所述第一空间中，其中所述多个气体棒的每一者经配置以经由所述主体中的一或更多入口耦接至至少一个气体供应器； 多个阀门，所述多个阀门设置于所述第一空间中，每一阀门分别对齐所述至少一个气体供应器的相应一者而设置； 至少一个出口导管，所述出口导管输送至少一种工艺气体至处理腔室中的一或更多气体输送区；和 气体输送单元控制器，所述气体输送单元控制器设置于所述第一空间中，且经配置以控制所述多个气体棒和所述多个阀门。
2.如权利要求1所述的模块化化学输送系统，其中所述多个气体输送单元的每一者的大小实质上相似。
3.如权利要求1所述的模块化化学输送系统，其中使用一或更多紧固件可移除地耦接所述多个气体输送单元。
4.如权利要求1所述的模块化化学输送系统，其中使用设置于所述多个气体输送单元的每一者的所述主体的外部上的联锁特征可移除地耦接所述多个气体输送单元。
5.如权利要求1所述的模块化化学输送系统，其中多个气体输送单元的每一者进一步包括通信接口，所述通信接口经配置以接收控制信号，以控制所述多个气体棒和所述多个阀门。
6.如权利要求1所述的模块化化学输送系统，其中所述多个气体输送单元设置于封闭容器中。
7.如权利要求1至6中任一项所述的模块化化学输送系统，其中所述多个气体输送单元的至少一者为模块化安瓿单元。
8.如权利要求7所述的模块化化学输送系统，其中所述模块化安瓿单元包括保存前驱物的安瓿和加热所述前驱物的阀门模块。
9.如权利要求8所述的模块化化学输送系统，其中所述模块化安瓿单元进一步包括:接收由所述安瓿所保存的所述前驱物的入口 ；接收供应至所述多个气体棒的第一气体棒的载气的入口 ；接收供应至所述多个气体棒的第二气体棒的稀薄气体的入口 ；和使来自所述安瓿的所述前驱物、所述载气和所述稀薄气体的气体混合物流动的出口。
10.如权利要求1至6中任一项所述的模块化化学输送系统，其中所述多个气体输送单元的至少一者为模块化气体箱单元。
11.如权利要求10所述的模块化化学输送系统，其中所述模块化气体箱单元包括使惰性气体流动的一个气体棒和使活性气体流动的四个气体棒。
12.如权利要求10所述的模块化化学输送系统，其中所述模块化气体箱单元包括可配置的歧管。
13.如权利要求1至6中任一项所述的模块化化学输送系统，其中所述多个气体输送单元的至少一者为模块化气体箱单元，且其中所述多个气体输送单元的至少一者为模块化安瓿单元。
14.一种模块化化学输送系统，所述模块化化学输送系统将化学品输送至处理腔室，所述处理腔室用于半导体基板处理，所述模块化化学输送系统包括: 至少一个模块化气体箱单元，所述模块化气体箱单元具有:主体，所述主体具有第一空间；设置于所述第一空间内的第一多个气体棒和第一多个阀门；至少一个模块化安瓿单元，所述模块化安瓿单元具有:主体，所述主体具有第二空间；第二多个气体棒；第二多个阀门；和安瓿，所述安瓿保存设置于所述第二空间内的前驱物；控制器，所述控制器通信地耦接至所述至少一个模块化气体箱单元和所述至少一个模块化安瓿单元，以将控制信号提供至所述至少一个模块化气体箱单元和所述至少一个模块化安瓿单元，以产生工艺气体至所述处理腔室；和 处理腔室，所述处理腔室经配置以接收来自所述至少一个气体箱单元和所述至少一个安瓿单元的工艺气体，以处理基板。
15.如权利要求14所述的模块化化学输送系统，其中所述至少一个模块化气体箱单元进一步包括第一电控制器，所述第一电控制器经配置以控制所述第一多个气体棒和所述第一多个阀门，其中所述至少一个模块化安瓿单元进一步包括第二电控制器，所述第二电控制器经配置以控制所述第二多个气体棒和所述第二多个阀门，且其中所述控制器通信地耦接至所述第一电控制器和所述第二电控制器。
【专利摘要】在一些实施方式中，一种模块化化学输送系统可包括多个气体输送单元，所述多个气体输送单元直接地且可移除地耦接至彼此，其中每一气体输送单元包括：主体，该主体具有第一空间；设置于该第一空间中的多个气体棒，其中所述多个气体棒的每一者经配置以经由主体中的一或更多入口耦接至至少一个气体供应器；设置于该第一空间中的多个阀门，每一阀门分别对齐该至少一个气体供应器的相应的一者设置；至少一个出口导管，该出口导管将至少一种工艺气体输送至处理腔室中的一或更多气体输送区；和电控制器，设置于该第一空间且经配置以控制所述多个气体棒和所述多个阀门。
【IPC分类】H01L21-02
【公开号】CN104769702
【申请号】CN201380055126
【发明人】高建德, 张镁, 海曼·W·H·拉姆, 张铀, 乔尔·M·休斯顿, 阿伦·库瓦尔齐
【申请人】应用材料公司
【公开日】2015年7月8日
【申请日】2013年10月23日
【公告号】US20140137961, WO2014078033A1