一款加热盘检验及拆装时存放专用车的制作方法
【专利说明】
[0001]技术领域:本发明涉及一种小车，尤其是一款加热盘检验及拆装时存放专用车，属于半导体薄膜沉积应用及制造技术领域。。
[0002]【背景技术】:在现有的半导体镀膜设备中，加热盘属于关键零部件，其材质通常为铝或陶瓷。铝自身质地较软，对于硬度较高或强度较大的磕碰、摩擦，均会产生痕迹。陶瓷因加工的特点限制，在外力作用下，很容易掉渣或是出现裂纹。所以无论哪种材质的加热盘，其在运输、检验或使用等过程中，都很容易受到损伤。另外，加热盘由盘面及安装固定基座组成，二者直径相差很大，但二者作为一体，不可分离。另外，加热盘的加热线缆及热偶安装管均是从安装固定基座处伸出盘体，实现与外部的连接。该部分与盘体也为硬连接，不可拆卸。线缆表面虽有自己特有的保护层，但在长期的使用过程中，该保护层容易破损，导致内部线缆裸露。另外，线缆经过外力多次不经意的弯曲、拉扯，也容易折断。另一方面，加热盘的表面上，镶嵌有多个高出盘面的用于支撑晶圆的球或柱。出于安全考虑，目前加热盘在放置时，我们只能用加热盘的上盘面作为基底进行放置。所以，拆装时，这些用于支撑晶圆的球或柱以及定位用销等容易脱落的小部件必须先拆下来，单独放置。另外，因为高温变形及工艺过程中副产物的存在，导致部分用于支撑晶圆的球或柱在使用后不能正常取出。所以，用加热盘的上盘面作为基底存放时，盘面存留的球或柱就会在加热盘的底面形成一个支点，导致盘面不能很好的与存储面接触，使加热盘自身会产生一定的变形，以至于加热盘盘面的平面度不合格，其使用性能失效。有时，因为临时存储空间的限制，会导致线缆的硬性折弯损伤。无论怎样，都会对加热盘产生伤害。
[0003]
【发明内容】
:针对上述现有技术的不足，本发明结合加热盘自身的结构特点，即盘面大，安装基座细长，加热电缆易损伤等方面，设计了一款加热盘检验及拆装时存放专用车。
[0004]为实现上述目的，本发明采用的技术方案是:一款加热盘检验及拆装时存放专用车，包括车体、水晶软垫和万向轮，万向轮固定在车体的下面，车体是由横梁、端横梁和立柱组成的四方体，在上端和中间的横梁上设有支臂，水晶软垫放置在支臂上，水晶软垫上设有开口，开口的宽度小于两个支臂的间距。
[0005]在加热盘存放后，加热盘检验及拆装时存放专用车整体重心仍位于货架中心偏下处，无偏移存在。从而保证在使用过程中，不会有因重心偏移导致小车翻倒的现象出现。货架底部装有辅助移动的脚轮组件，可以实现小车在使用过程中来回移动或停靠，便于实际操作。因为水晶软垫自身富有弹性，无论任何材质，其都不会对加热盘造成任何损伤。同时，从加热盘的电缆部位考虑，该货架留有足够的存放空间，在整个存取过程中，不会再有硬性弯曲等损伤出现。拆装过程中，加热盘上盘面用于支撑晶圆的球或柱以及其他定位用的小部件，可以根据实际情况决定是否拆下。不需拆下时，可以连同加热盘一起直接放置在小车上。这样，对原有的结构没有任何影响，也便于下次直接使用，节省了小部件的拆装过程，缩短了更换周期。在加热盘检验过程中，对于加热盘上盘面相关尺寸的检测及盘面平面度的检测等，都是很便利的。
【附图说明】
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[0006]图1是本发明的结构示意图。
[0007]图2是本发明的使用状态图。
[0008]图3是车体的结构示意图。
【具体实施方式】
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[0009]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0010]如图1-图3所示:一款加热盘检验及拆装时存放专用车，包括车体2、水晶软垫I和万向轮13，万向轮13固定在车体2的下面，车体是由横梁5、端横梁3和立柱10组成的四方体，在上端和中间的横梁5上设有支臂6，水晶软垫I放置在支臂6上，水晶软垫上设有开口，开口的宽度小于两个支臂的间距。加热盘14放置在水晶软垫I上。
[0011]车体2由不同长度的铝制型材，通过不同型号的型材连接件组合而成。车体2主要由两根端横梁3、三根横梁5、四根支臂6、四根立柱10、四个脚轮组件13、四根下边横梁11通过多个相对应的型材连接件(包括直角连接件8、T型连接件12)以及T型内置螺母7和相对应的标准件9连接而成。每根支臂6及端横梁3的端部均用专门的堵板4封堵，从而保证整体外观的完美性，见图3。我们将该小车分为上、下两层，每层可以放置一个加热盘。上层的水晶软垫I直接放置在端横梁3、支臂6和横梁5所构成的平面上。下层的水晶软垫I直接放置在下边横梁11、支臂6和横梁5所构成的平面上。每层加热盘的重量主要由两根支臂6和横梁5来承担。
[0012]在使用过程中，加热盘14是上盘面冲上，水平放置，通过其下盘面与水晶软垫I直接接触。水晶软垫I自身富有弹性，无论任何材质其都不会对加热盘造成任何损伤。
【主权项】
1.一款加热盘检验及拆装时存放专用车，其特征在于:包括车体、水晶软垫和万向轮，万向轮固定在车体的下面，车体是由横梁、端横梁和立柱组成的四方体，在上端和中间的横梁上设有支臂，水晶软垫放置在支臂上，水晶软垫上设有开口，开口的宽度小于两个支臂的间距。
【专利摘要】一款加热盘检验及拆装时存放专用车，包括车体、水晶软垫和万向轮，万向轮固定在车体的下面，车体是由横梁、端横梁和立柱组成的四方体，在上端和中间的横梁上设有支臂，水晶软垫放置在支臂上，水晶软垫上设有开口，开口的宽度小于两个支臂的间距。在加热盘存放后，加热盘检验及拆装时存放专用车整体重心仍位于货架中心偏下处，无偏移存在。货架底部装有辅助移动的脚轮组件，可以实现小车在使用过程中来回移动或停靠，便于实际操作。因为水晶软垫自身富有弹性，无论任何材质，其都不会对加热盘造成任何损伤。
【IPC分类】H01L21/677
【公开号】CN104952776
【申请号】CN201510202923
【发明人】吕光泉, 吴彪, 吴凤丽, 国建花
【申请人】沈阳拓荆科技有限公司
【公开日】2015年9月30日
【申请日】2015年4月24日