测批次晶圆)步骤；若否，则继续执行流程；(6)是否需要重测测试:若是，则继续执行流程，到设置重测条件(Setup Condit1n)步骤，否则跳出流程，到 Special Handling (Scrap/Split)步骤；(7)Setup Condit1n，即设置重测条件:选择需重测的晶圆及选择重测用的程式；(8)晶圆的所有者对异常品进行特殊处理，例如整批报废或者单独分出Fail的晶圆报废。
[0045]图4为本发明一种晶圆测试管理系统的系统架构图。如图4所示，本发明一种晶圆测试管理系统，包括:测试及测试数据收集模块401、测试数据判断模块402、出错停止模块403、重测判断模块404、重测设置模块405、异常处理模块406、输出模块407。
[0046]测试及测试数据收集模块401，对待测批次晶圆进行测试并收集待测批次晶圆测试后的测试数据；测试数据判断模块402，依据出货标准对测试数据进行结果判断，若符合出货标准(Pass)，则通过输出模块407输出待测批次晶圆，若出错(Fail)，则启动出错停止模块403 ;出错停止模块403，自动将测试数据判断模块判断出错(Fail)的晶圆停住；重测判断模块404，用于判断是否需要重测测试，若需重新测试，则启动重测设置模块405，若不需重新测试，则启动异常处理模块406 ;重测设置模块405用于提供用户设置重测条件，该重测条件包括需重测的晶圆以及重测用的程式；异常处理模块406用于对异常品进行特殊处理，例如整批报废或者单独分出Fail的晶圆报废；输出模块407，用于输出待测批次晶圆。
[0047]较佳的，本发明之晶圆测试管理系统还包括客户特采模组408，于出错停止模块403将出错晶圆停止后判断是否申请客户特采以提供客户对出错晶圆的选择处理，若接收到用户的选择为通过，则通过输出模块407输出该待测批次晶圆，若接收到用户的选择为不通过，则启动重测判断模块404。
[0048]综上所述，本发明一种晶圆测试管理系统及方法由计算机智能的对晶圆选择相应的流程进行处理，从而实现更高程度自动化的生产管理，提高晶圆的流动率以及经济效益。
[0049]采用本发明之晶圆测试管理系统后，由计算机智能的对晶圆选择相应的流程进行处理，晶圆测试完成后能即时的得到处理，实现了最高的执行效率:
[0050](I)晶圆处理的时间可以从人工处理的约5?30分钟缩短到计算机处理的I分钟内；
[0051](2)减少到O的错误流程判断概率。
[0052]从而避免了错误判断带来的损失，同时提高了晶圆的流动率和经济效益。
[0053]上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何本领域技术人员均可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰与改变。因此，本发明的权利保护范围，应如权利要求书所列。
【主权项】
1.一种晶圆测试管理方法，包括如下步骤: 步骤一，对待测批次晶圆进行测试； 步骤二，获取待测批次晶圆测试后的测试数据； 步骤三，依据出货标准对测试数据进行结果判断； 步骤四，若符合出货标准，则输出该待测批次晶圆，结束该批次晶圆测试流程；若出错，则进入步骤五； 步骤五，自动将出错的晶圆停住； 步骤六，判断是否需要重新测试； 步骤七，若接收到重新测试指令，则提供用户设置重测条件，并进入步骤一。2.如权利要求1所述的一种晶圆测试管理方法，其特征在于:于步骤七中，若若接收到不重新测试指令，则对异常品进行特殊处理。3.如权利要求2所述的一种晶圆测试管理方法，其特征在于:于步骤五之后，还包括如下步骤: 获取用户对该出错晶圆的选择处理； 若接收到用户的选择为通过，则输出待测批次晶圆，结束该批次晶圆测试流程，若接收到用户的选择为不通过，则进入步骤六。4.如权利要求2所述的一种晶圆测试管理方法，其特征在于:所述特殊处理包括对待测批次晶圆整批报废或者单独分出出错的晶圆报废。5.如权利要求4所述的一种晶圆测试管理方法，其特征在于:所述重测条件包括需重测的晶圆以及重测用的程式。6.一种晶圆测试管理系统，包括: 测试及测试数据收集模块，对待测批次晶圆进行测试并收集待测批次晶圆测试后的测试数据； 测试数据判断模块，依据出货标准对测试数据进行结果判断，若符合出货标准，则通过输出模块输出待测批次晶圆，若出错，则启动出错停止模块； 出错停止模块，自动将该测试数据判断模块判断出错的晶圆停住； 重测判断模块，用于判断是否需要重测测试，若需重新测试，则启动重测设置模块； 重测设置模块，用于提供用户设置重测条件； 输出模块，用于输出该待测批次晶圆。7.如权利要求6所述的一种晶圆测试管理系统，其特征在于:该系统还包括异常处理模块，于该重测判断模块判断不不需重新测试时，对异常品进行特殊处理。8.如权利要求7所述的一种晶圆测试管理系统，其特征在于:该系统还包括客户特采模组，于该出错停止模块将出错晶圆停止后判断是否申请客户特采以提供客户对出错晶圆的选择处理，若接收到用户的选择为通过，则通过输出模块输出该待测批次晶圆，若接收到用户的选择为不通过，则启动该重测判断模块。9.如权利要求7所述的一种晶圆测试管理系统，其特征在于:所述特殊处理包括对待测批次晶圆整批报废或者单独分出出错的晶圆报废。10.如权利要求9所述的一种晶圆测试管理系统，其特征在于:所述重测条件包括需重测的晶圆以及重测用的程式。
【专利摘要】本发明公开了一种晶圆测试管理系统及方法，该方法包括：步骤一，对待测批次晶圆进行测试；步骤二，获取待测批次晶圆测试后的测试数据；步骤三，依据出货标准对测试数据进行结果判断；步骤四，若符合出货标准，则输出该待测批次晶圆，结束该批次晶圆测试流程；若出错，则进入步骤五；步骤五，自动将出错的晶圆停住；步骤六，判断是否需要重新测试；步骤七，若接收到重新测试指令，则提供用户设置重测条件，并进入步骤一，本发明可以在晶圆测试完成后根据测试结果智能的选择流程处理晶圆后续作业的方案，避免了传统由人工进行判断带来的风险，同时极大的改善了执行效率。
【IPC分类】H01L21/66
【公开号】CN105161439
【申请号】CN201510435476
【发明人】莫保章, 席与凌, 娄晓祺
【申请人】上海华力微电子有限公司
【公开日】2015年12月16日
【申请日】2015年7月22日