导电膜和具有导电膜的电子设备的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及导电膜和具有导电膜的电子设备，特别是涉及湿热特性优异且具有优 异的弯曲性能的导电膜和具有这样的导电膜的电子设备。 现有技术
[0002] 以往，在具备液晶设备、有机电致发光设备（有机EL元件）的图像显示装置的透 明电极中，为了实现轻薄化、轻量化、柔性化等，提出了在透明塑料膜上从下方起依次层叠 阻气层和透明电极而成的透明导电膜。
[0003] 因此，例如公开了一种透明导电性膜，其是在规定厚度的基板上形成规定的无机 系阻隔性薄膜和作为以铟氧化物为主体的金属氧化物的透明导电性薄膜而成（例如，参照 专利文献1)。
[0004] 即，专利文献1中公开了一种透明导电性膜，其是在基板上形成无机系阻隔性薄 膜和作为以铟氧化物为主体的金属氧化物的透明导电性薄膜而成的透明导电性膜，在弯曲 试验后具有规定的透氧度，所述无机系阻隔性薄膜由以硅氧化物为主体的金属氧化物和/ 或以硅氮化物为主体的金属氮化物构成。
[0005] 另一方面，作为透明导电膜中的透明导电层的形成材料，主要使用掺锡氧化铟 (ITO)，但由于作为形成材料之一的铟是稀有金属，比较昂贵，所以研究使用铟以外的透明 导电材料。
[0006] 因此，例如公开了一种透明导电层压体，其在规定厚度的基材的至少单面设置规 定厚度的含硅无机层、规定厚度的碳纳米管层、规定厚度的透明保护层（例如，参照专利文 献2)。
[0007] 即，专利文献2中公开了一种透明导电层压体，其特征在于，具备碳纳米管层作为 具有导电性的层，含硅无机层包含规定的硫化锌-二氧化硅共生相。
[0008] 另外，提出了一种透明导电膜及其制造方法，该透明导电膜即使在ZnO系透明导 电薄膜的膜厚薄的情况下也显示低电阻值，且即使在湿热环境下电阻值的变化率也小（例 如，参照专利文献3)。
[0009] 更具体而言，专利文献3中提出了一种透明导电膜，其是如下形成的，即在有机高 分子膜基材上形成氧量为化学计量值的60~90%的氧化铝薄膜、氧化硅薄膜作为可见光透 射率高的第1氧化物薄膜，在该第1氧化物薄膜上形成ZnO系透明导电薄膜，再形成可见光 透射率高且水蒸气透过率为规定值以下的第2氧化物薄膜。
[0010] 现有技术文献 专利文献 专利文献1 :日本特开第3501820号公报（权利要求书，说明书） 专利文献2 :日本特开2012-69515号公报（权利要求书，说明书） 专利文献3 :日本特开2009-302032号公报（权利要求书，说明书）。
【发明内容】
[0011] 发明要解决的课题 然而，对于专利文献1中公开的透明导电性膜，虽然对将导电性膜以规定圈数卷绕于 20mm 0的不锈钢圆棒时的水蒸气透过度等进行了描述，但是出现尚不能满足防止显示元件 劣化的问题。
[0012] 另外，虽然公开了引用文献2中记载的导电性层压体的弯曲性能优异，但是从有 机EU太阳能电池之类的设备的性能提高、耗电的观点考虑，出现片电阻尚不充分的问题。
[0013] 另外，根据专利文献3中公开的透明导电膜及其制造方法，由于存在规定的第1氧 化物薄膜，所以相对于ZnO系透明导电薄膜的电阻率的膜厚依赖性得到一定程度的改善， 但是发现对于氧化锌系材料与掺锡氧化铟相比片电阻值相对于水分、热而上升的课题，对 于弯曲特性没有进行任何描述的问题。
[0014] 因此，本发明人对这样的问题进行了深入研究，结果发现，通过构成在基材的单面 或两面从基材侧起依次形成锌锡氧化物层和锌锡氧化物以外的氧化锌系透明导电膜而成 的导电膜，湿热特性优异，并且弯曲特性也优异，从而完成了本发明。
[0015] 即，本发明的目的在于，提供湿热特性优异且弯曲特性也优异的导电膜和具有这 样的导电膜的电子设备。
[0016] 解决课题的手段 根据本发明，提供在基材的单面或两面从基材侧起依次形成锌锡氧化物（ZTO)层和锌 锡氧化物以外的氧化锌系透明导电膜而成的导电膜，能够解决上述问题。
[0017] 即，通过在基材上夹着锌锡氧化物层形成氧化锌系透明导电膜，锌锡氧化物层与 氧化锌系透明导电膜的密合性提高，即使在弯曲导电膜的情况下氧化锌系透明导电膜也不 易剥洛，能够提尚弯曲性。
[0018] 另外，由于锌锡氧化物层能够隔绝来自基材的水分，所以能够防止由水分引起的 氧化锌系透明导电膜的导电性劣化，即使导电膜被放置在湿热环境下，也能够防止表面电 阻率上升。
[0019] 另外，在构成本发明的导电膜时，优选锌锡氧化物（ZTO)层的厚度为5~500nm。
[0020] 通过这样构成，能够适当地隔绝来自基材的水分，能够防止由水分引起的氧化锌 系透明导电膜的导电性劣化。
[0021] 另外，在构成本发明的导电膜时，优选氧化锌系透明导电膜的厚度为5~1000nm。
[0022] 通过这样构成，能够得到表面电阻率低且透光率高的透明导电膜。
[0023] 另外，在构成本发明的导电膜时，优选锌锡氧化物（ZTO)层的水蒸气透过率为 0· lg/(m2 ·天）以下。
[0024] 通过这样构成，能够隔绝来自基材的水分，因此能够防止由水分引起的氧化锌系 透明导电膜的导电性劣化，即使导电膜被放置在湿热环境下，也能够防止表面电阻率上升。
[0025] 另外，在构成本发明的导电膜时，将弯曲前的导电膜的表面电阻率记为R1，将使用 直径6_的丙烯酸圆棒以导电膜的氧化锌系透明导电膜为内侧弯曲30秒钟后的表面电阻 率记为R2,将使用直径8mm的丙烯酸圆棒以导电膜的氧化锌系透明导电膜为外侧弯曲30秒 钟后的表面电阻率记为R2'时，优选R2/R1和R2' /Rl均为1. 5以下的值。
[0026] 通过这样构成，能够得到弯曲特性优异的导电膜。
[0027] 另外，在构成本发明的导电膜时，优选基材是选自聚酯、聚酰亚胺、聚酰胺或环烯 烃系聚合物的至少1种。
[0028] 通过这样构成，能够得到柔软性和透明性优异的导电膜。
[0029] 另外，在构成本发明的导电膜时，根据XPS的元素分析测定，锌锡氧化物（ZTO)层 相对于锌、锡和氧的总和（1〇〇原子％)含有1~49原子％范围内的值的锌、1~30原子％范围 内的值的锡。
[0030] 通过这样构成，能够提高锌锡氧化物层与氧化锌系透明导电膜的密合性。
[0031 ] 另外，本发明的另一方式是具有上述导电膜的电子设备。
[0032] 这样，通过具备湿热特性优异且具有优异的弯曲性能的导电膜，即使在贴附于曲 面形状等时而弯曲时而拉伸的情况下也能够制成电气特性变化少的电子设备。
【附图说明】
[0033] 图1是用于说明本发明的导电膜的方式的图。
[0034] 图2是用于说明导电膜中的锌锡氧化物层的膜厚与水蒸气透过率的关系的图。
【具体实施方式】
[0035] [第1实施方式] 第1实施方式如图1所例示，是在基材12的单面或两面从基材12侧起依次形成锌锡 氧化物（ZTO)层14和锌锡氧化物以外的氧化锌系透明导电膜16而成的导电膜10。
[0036] 以下，适当参照附图对第1实施方式的导电膜进行具体说明。
[0037] 1.基材 (1)种类 作为图1中例示的基材12中使用的材料，可举出树脂膜、玻璃、陶瓷等。作为树脂膜， 只要是柔软性和透明性优异的树脂膜就没有特别限定，可举出聚酰亚胺、聚酰胺、聚酰胺酰 亚胺、聚苯醚、聚醚酮、聚醚醚酮、聚烯烃、聚酯、聚碳酸酯、聚砜、聚醚砜、聚苯硫醚、聚芳酯、 丙烯酸系树脂、环烯烃系聚合物、芳香族系聚合物、聚氨酯系聚合物等树脂膜。
[0038] 其中，从透明性优异且有通用性的角度考虑，优选是选自聚酯、聚酰亚胺、聚酰胺 或环烯烃系聚合物的至少1种，更优选聚酯或环烯烃系聚合物。
[0039] 更具体而言，作为聚酯，可举出聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、 聚萘二甲酸乙二醇酯、聚芳酯等。
[0040] 另外，作为聚酰胺，可举出全芳香族聚酰胺、尼龙6、尼龙66、尼龙共聚物等。
[0041] 另外，作为环烯烃