密封用片、以及使用了该密封用片的半导体装置的制造方法_2

文档序号:9673161阅读:来源:国知局
更优选 为3.0重量%^上。如果为2.5重量%^上,则可W良好地获得与半导体忍片23、半导体晶片 22等的粘接力。密封用片10中的环氧树脂及酪醒树脂的合计含量优选为20重量%^下,更 优选为10重量%^下。如果为20重量%^下,则可W降低吸湿性。
[0061] 密封用片10优选含有热塑性树脂。由此,就可W获得未固化时的处置性、固化物的 低应力性。
[0062]作为所述热塑性树脂,可W举出天然橡胶、下基橡胶、异戊二締橡胶、氯下橡胶、乙 締-乙酸乙締醋共聚物、乙締-丙締酸共聚物、乙締-丙締酸醋共聚物、聚下二締树脂、聚碳酸 醋树脂、热塑性聚酷亚胺树脂、6-尼龙或6,6-尼龙等聚酷胺树脂、苯氧基树脂、丙締酸类树 脂、PET或PBT等饱和聚醋树脂、聚酷胺酷亚胺树脂、氣树脂、苯乙締-异下締-苯乙締嵌段共 聚物等。运些热塑性树脂可W单独使用,或者并用巧巾W上地使用。其中,从低应力性、低吸 水性的观点考虑,优选苯乙締-异下締-苯乙締嵌段共聚物。
[0063] 密封用片10中的热塑性树脂的含量优选为1.5重量%^上,更优选为2.0重量%W 上。如果为1.5重量%^上,则可W获得柔软性、晓曲性。密封用片10中的热塑性树脂的含量 优选为6重量%W下,更优选为4重量%W下。如果为4重量%W下,则与半导体忍片23或半 导体晶片22的粘接性良好。
[0064]密封用片10优选含有无机填充剂。
[0065]所述无机填充剂没有特别限定,可W使用W往公知的各种填充剂,例如可W举出 石英玻璃、滑石、二氧化娃(烙融二氧化娃或结晶性二氧化娃等)、氧化侣、氮化侣、氮化娃、 氮化棚的粉末。它们既可W单独使用,也可W并用巧中W上。其中,从可W良好地降低线膨胀 系数的理由考虑,优选二氧化娃、氧化侣,更优选二氧化娃。
[0066]作为二氧化娃,优选二氧化娃粉末,更优选烙融二氧化娃粉末。作为烙融二氧化娃 粉末,可W举出球状烙融二氧化娃粉末、破碎烙融二氧化娃粉末,然而从流动性的观点考 虑,优选球状烙融二氧化娃粉末。
[0067]如上所述,密封用片10的一个面的表面粗糖度(Ra)为3wiiW下。密封用片10的表面 粗糖度(Ra)可W利用所述无机填充剂的粒子直径(平均粒子直径、最大粒子直径等)、配合 量来调整。作为此种无机填充剂的粒子直径,优选选择平均粒子直径或最大粒子直径为 50nm~3WI1的填充剂,即使大于3WI1,也可W利用密封用片10的厚度或无机填充剂的配合量, 将密封用片10的表面粗糖度(Ra)设为3皿W下。具体而言,作为无机填充剂的平均粒子直 径,优选为IOOnm~化m,更优选为300nm~Iiim。另外作为无机填充剂的最大粒子直径,优选 为扣mW下,更优选为化mW下(特别优选为3wiiW下)。利用W上操作,就可W得到密封用片 10。另外,密封用片10中的所述无机填充剂的含量相对于密封用片10整体优选为75~95重 量%,更优选为78~91重量%。
[0068] 而且,在使密封用片10的表面粗糖度(Ra)在固化前为3皿W下的情况下,只要W在 固化前为3皿W下的方式调整无机填充剂即可。另外,在使密封用片10的表面粗糖度(Ra)在 固化后为3wiiW下的情况下,只要W在固化后为3wiiW下的方式调整无机填充剂即可。另外, 在使密封用片10的表面粗糖度(Ra)在固化前及固化后为3wiiW下的情况下,只要W在固化 前及固化后为3wiiW下的方式调整无机填充剂即可。
[0069]密封用片10优选含有固化促进剂。
[0070]作为固化促进剂,只要是可W使环氧树脂与酪醒树脂的固化进行的物质,就没有 特别限定,例如可W举出S苯基麟、四苯基鱗四苯基棚酸盐等有机憐系化合物;2-苯基-4, 5-二径基甲基咪挫、2-苯基-4-甲基-5-径基甲基咪挫等咪挫系化合物等。其中,从即使混炼 时的溫度升高也不会使固化反应急剧地推进、可W良好地制作密封用片10的理由考虑,优 选2-苯基-4,5-二径基甲基咪挫。
[0071]对于固化促进剂的含量,相对于环氧树脂及酪醒树脂的合计100重量份优选为0.1 ~5重量份。
[0072] 密封用片10优选含有阻燃剂成分。由此,就可W减少因部件短路或放热等而着火 时的燃烧扩大。作为阻燃剂组成成分,例如可W使用氨氧化侣、氨氧化儀、氨氧化铁、氨氧化 巧、氨氧化锡、复合化金属氨氧化物等各种金属氨氧化物;憐腊系阻燃剂等。
[0073]从即使是少量也会发挥阻燃效果的观点考虑,憐腊系阻燃剂中所含的憐元素的含 有率优选为12重量%W上。
[0074]对于密封用片10中的阻燃剂成分的含量,在全部有机成分(除去无机填料)中,优 选为10重量%^上,更优选为15重量%^上。如果为10重量% ^上,则可W良好地获得阻燃 性。密封用片10中的热塑性树脂的含量优选为30重量%^下,更优选为25重量%^下。如果 为30重量%^下,则会有固化物的物性降低(具体而言,是玻璃化转变溫度或高溫树脂强度 等物性的降低)小的趋势。
[0075]密封用片10优选含有硅烷偶联剂。作为硅烷偶联剂没有特别限定,可W举出3-环 氧丙氧基丙基=甲氧基硅烷等。
[0076] 密封用片10中的硅烷偶联剂的含量优选为0.1~3重量%。如果为0.1重量%W上, 则可W充分地获得固化物的强度,可W降低吸水率。如果为3重量% ^下,则可W降低排出 气体量。
[0077]密封用片10优选被着色。由此,就可W发挥优异的标记性及外观性,能够形成具有 附加价值的外观的半导体装置。被着色了的密封用片10具有优异的标记性,因此可W实施 标记,赋予文字信息或图形信息等各种信息。特别是,通过控制着色的颜色,能够W优异的 观察性观察利用标记赋予的信息(文字信息、图形信息等)。此外,密封用片10也可W按照产 品来分色。在使密封用片10有色的情况下(并非无色、透明的情况),作为利用着色呈现出的 颜色没有特别限制,然而例如优选为黑色、蓝色、红色等浓色,特别适合为黑色。
[0078] 本实施方式中,所谓浓色,基本上是指1/3^3^表色系统中规定的1/为60^下(0~ 60)[优选为50W下(0~50),更优选为40W下(0~40)]的浓的颜色。
[0079]另外,所谓黑色,基本上是指LW表色系统中规定的L^335W下(0~35)[优选为 30^下(0~30),更优选为25^下(0~25)]的黑色系色。而且,在黑色中,1^、^表色系统中 规定的a^b呵W分别与机勺值对应地适当选择。作为a^bM列如,优选双方都为-10~10,更 优选为-5~5,特别优选为-3~3的范围(其中优选为0或近乎0)。
[0080]而且,本实施方式中,1^^%^表色系统中规定的1^^3^13^是通过使用色彩色差计(商 品名"CR-200"美能达公司制;色彩色差计)测定而求出。而且,L*a*b*表色系统是国际照明委 员会(CIE)在1976年推荐的颜色空间,是指被称作CIE1976(LW)表色系统的颜色空间。另 夕F,L*a*b*表色系统在日本工业标准中,由JISZ8729规定。
[0081]在将密封用片10着色时,可W与所需的颜色对应地使用色材(着色剂)。本发明的 密封用片既可W是一层构成,也可W由多个层构成,然而优选至少在与半导体晶片相面对 的面的相反一面侧添加有着色剂。具体而言,在密封用片为1层构成的情况下,既可W在整 个密封用片中均匀地含有着色剂,也可WW在与半导体晶片相面对的面的相反一面侧偏在 存在着色剂的方式含有着色剂。另外,在由多个层构成的情况下,也可W在与半导体晶片22 相面对的面的相反一面侧的层中添加着色剂,同时在其W外的层中不添加着色剂。本实施 方式中,对本发明的密封用片为1层构成的密封用片为10的情况进行说明。运是因为,如果 在密封用片的与半导体晶片相面对的面的相反一面侧添加着色剂,则可W提高被激光标记 了的部分的观察性。作为此种色材,可W合适地使用黑系色材、蓝系色材、红系色材等各种 浓色系色材,特别适合使用黑系色材。作为色材,可W是颜料、染料等中的任意一种。色材可 W单独使用,或者组合使用巧巾W上。而且,作为染料,无论是酸性染料、反应染料、直接染 料、分散染料、阳离子染料等哪种形态的染料都可W使用。另外,颜料的形态也没有特别限 审IJ,可W从公知的颜料中适当地选择使用。
[0082]特别是,如果作为色材使用染料,则会形成通过溶解而使染料均匀或大致均匀地 分散在密封用片10中的状态,因此可W容易地制造着色浓度均匀或大致均匀的密封用片 10,从而可W提高标记性、外观性。
[0083]作为黑系色材,没有特别限制,然而例如可W从无机的黑系颜料、黑系染料中适当 地选择。另外,作为黑系色材,可W是混合青色(cyan)系色材(蓝绿系色材)、洋红系色材(红 紫系色材)及黄系色材(黄色系色材)而得的色材混合物。黑系色材可W单独使用,或者组合 使用巧巾W上。当然也可W将黑系色材与黑色W外的颜色的色材并用。
[0084]具体而言,作为黑系色材,例如可W举出炭黑(炉法炭黑、槽法炭黑、乙烘黑、热解 法炭黑、灯黑等)、石墨(gra地ite)、氧化铜、二氧化儘、偶氮系颜料(偶氮甲碱直接黑等)、苯 胺黑、巧黑、铁黑、花青黑、活性炭、铁氧体(非磁性铁氧体、磁性铁氧体等)、磁铁矿、氧化铭、 氧化铁、二硫化钢、铭络合物、复合氧化物系黑色色素、蔥酿系有机黑色色素等。
[00化]本发明中,作为黑系色材,也可W利用C.I.溶剂黑3、C.I.溶剂黑7、C.I.溶剂黑22、C.I.溶剂黑27、C.I.溶剂黑29、C.I.溶剂黑34、C.I.溶剂黑43、C.I.溶剂黑70、C.I.直接黑 17、(:.1.直接黑19、(:.1.直接黑22、(:.1.直接黑32、(:.1.直接黑38、(:.1.直接黑51、(:.1.直接 黑71、C.I.酸性黑I、C.I.酸性黑2、C.I.酸性黑24、C.I.酸性黑26、C.I.酸性黑31、C.I.酸性 黑48、C.I.酸性黑52、C.I.酸性黑107、C.I.酸性黑109、C.I.酸性黑110、C.I.酸性黑119、 C.I.酸性黑154;C.I.分散黑1、C.I.分散黑3、C.I.分散黑10、C.I.分散黑24等黑系染料; C.I.颜料黑1、C.I.颜料黑7等黑系颜料等。
[0086] 作为此种黑系色材,例如在市场上可W买到商品名"OilBlackBY"、商品名 哨iIBlackBS"、商品名%iIBlack皿护、商品名%iIBlack803"、商品名%iIBlack 860"、商品名%ilBlack5970"、商品名%ilBlack590护、商品名%ilBlack5905" (化ient化学工业株式会社制)等。
[0087] 作为黑系色材W外的色材,例如可
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