密封用片、以及使用了该密封用片的半导体装置的制造方法_3

文档序号:9673161阅读:来源:国知局
W举出青色系色材、洋红系色材、黄系色材等。 作为青色系色材,例如可W举出C.I.溶剂蓝25、C.I.溶剂蓝36、C.I.溶剂蓝60、C.I.溶剂蓝 70、C.I.溶剂蓝93、C.I.溶剂蓝95;C.I.酸性蓝6、C.I.酸性蓝45等青色系染料;C.I.颜料蓝 1、(:.1.颜料蓝2、(:.1.颜料蓝3、(:.1.颜料蓝15、(:.1.颜料蓝15:1、(:.1.颜料蓝15:2、(:.1.颜料 蓝15:3、C.I.颜料蓝15:4、C.I.颜料蓝15:5、C.I.颜料蓝15:6、C.I.颜料蓝16、C.I.颜料蓝 17、 (:.1.颜料蓝17:1、(:.1.颜料蓝18、(:.1.颜料蓝22、(:.1.颜料蓝25、(:.1.颜料蓝56、(:.1.颜 料蓝60、C.I.颜料蓝63、C.I.颜料蓝65、C.I.颜料蓝66;C.I.还原蓝4;C.I.还原蓝60、C.I.颜 料绿7等青色系颜料等。
[008引另外,在洋红系色材中,作为洋红系染料,例如可W举出C.I.溶剂红1、C.I.溶剂红 3、C.I.溶剂红8、C.I.溶剂红23、C.I.溶剂红24、C.I.溶剂红25、C.I.溶剂红27、C.I.溶剂红 30、C.I.溶剂红49、C.I.溶剂红52、C.I.溶剂红58、C.I.溶剂红63、C.I.溶剂红81、C.I.溶剂 红82、C.I.溶剂红83、C.I.溶剂红84、C.I.溶剂红100、C.I.溶剂红109、C.I.溶剂红111、C.I. 溶剂红121、C.I.溶剂红122 ;C.I.分散红9;C.I.溶剂紫8、C.I.溶剂紫13、C.I.溶剂紫14、 C.I.溶剂紫21、C.I.溶剂紫27;C.I.分散紫1;C.I.碱性红1、C.I.碱性红2、C.I.碱性红9、 C.I.碱性红12、C.I.碱性红13、C.I.碱性红14、C.I.碱性红15、C.I.碱性红17、C.I.碱性红 18、C.I.碱性红22、C.I.碱性红23、C.I.碱性红24、C.I.碱性红27、C.I.碱性红29、C.I.碱性 红32、C.I.碱性红34、C.I.碱性红35、C.I.碱性红36、C.I.碱性红37、C.I.碱性红38、C.I.碱 性红39、C.I.碱性红40;C.I.碱性紫1、C.I.碱性紫3、C.I.碱性紫7、C.I.碱性紫10、C.I.碱性 紫14、C.I.碱性紫15、C.I.碱性紫2UC.I.碱性紫25、C.I.碱性紫26、C.I.碱性紫27、28等。 [0089]在洋红系色材中,作为洋红系颜料,例如可W举出C.I.颜料红1、C.I.颜料红2、 C.I.颜料红3、C.I.颜料红4、C.I.颜料红5、C.I.颜料红6、C.I.颜料红7、C.I.颜料红8、C.I. 颜料红9、C.I.颜料红10、C.I.颜料红11、C.I.颜料红12、C.I.颜料红13、C.I.颜料红14、C.I. 颜料红15、C.I.颜料红16、C.I.颜料红17、C.I.颜料红18、C.I.颜料红19、C.I.颜料红21、 C.I.颜料红22、C.I.颜料红23、C.I.颜料红30、C.I.颜料红31、C.I.颜料红32、C.I.颜料红 37、C.I.颜料红38、C.I.颜料红39、C.I.颜料红40、C.I.颜料红41、C.I.颜料红42、C.I.颜料 红48:1、C.I.颜料红48:2、C.I.颜料红48:3、C.I.颜料红48:4、C.I.颜料红49、C.I.颜料红 49 :1、C.I.颜料红50、C.I.颜料红51、C.I.颜料红52、C.I.颜料红52 :2、C.I.颜料红53 :1、 C.I.颜料红54、C.I.颜料红55、C.I.颜料红56、C.I.颜料红57:1、C.I.颜料红58、C.I.颜料红 60、C.I.颜料红60 :1、C.I.颜料红63、C.I.颜料红63 :1、C.I.颜料红63 :2、C.I.颜料红64、 C.I.颜料红64:1、C.I.颜料红67、C.I.颜料红68、C.I.颜料红81、C.I.颜料红83、C.I.颜料红 87、C.I.颜料红88、C.I.颜料红89、C.I.颜料红90、C.I.颜料红92、C.I.颜料红101、C.I.颜料 红104、C.I.颜料红105、C.I.颜料红106、C.I.颜料红108、C.I.颜料红112、C.I.颜料红114、 C.I.颜料红122、C.I.颜料红123、C.I.颜料红139、C.I.颜料红144、C.I.颜料红146、C.I.颜 料红147、C.I.颜料红149、C.I.颜料红150、C.I.颜料红151、C.I.颜料红163、C.I.颜料红 166、(:.1.颜料红168、(:.1.颜料红170、(:.1.颜料红171、(:.1.颜料红172、(:.1.颜料红175、 C.I.颜料红176、C.I.颜料红177、C.I.颜料红178、C.I.颜料红179、C.I.颜料红184、C.I.颜 料红185、C.I.颜料红187、C.I.颜料红190、C.I.颜料红193、C.I.颜料红202、C.I.颜料红 206、(:.1.颜料红207、(:.1.颜料红209、(:.1.颜料红219、(:.1.颜料红222、(:.1.颜料红224、 C.I.颜料红238、C.I.颜料红245;C.I.颜料紫3、C.I.颜料紫9、C.I.颜料紫19、C.I.颜料紫 23、(:.1.颜料紫31、(:.1.颜料紫32、(:.1.颜料紫33、(:.1.颜料紫36、(:.1.颜料紫38、(:.1.颜料 紫43、C.I.颜料紫50;C.I.还原红1、C.I.还原红2、C.I.还原红10、C.I.还原红13、C.I.还原 红15、C.I.还原红23、C.I.还原红29、C.I.还原红35等。
[0090] 另外,作为黄系色材,例如可W举出C.I.溶剂黄19、C.I.溶剂黄44、C.I.溶剂黄77、 (:.1.溶剂黄79、(:.1.溶剂黄81、(:.1.溶剂黄82、(:.1.溶剂黄93、(:.1.溶剂黄98、(:.1.溶剂黄 103、C.I.溶剂黄104、C.I.溶剂黄112、C.I.溶剂黄162等黄系染料;C.I.颜料澄31、C.I.颜料 澄43;C.I.颜料黄1、C.I.颜料黄2、C.I.颜料黄3、C.I.颜料黄4、C.I.颜料黄5、C.I.颜料黄6、 (:.1.颜料黄7、(:.1.颜料黄10、(:.1.颜料黄11、(:.1.颜料黄12、(:.1.颜料黄13、(:.1.颜料黄14、 C.I.颜料黄15、C.I.颜料黄16、C.I.颜料黄17、C.I.颜料黄23、C.I.颜料黄24、C.I.颜料黄 34、C.I.颜料黄35、C.I.颜料黄37、C.I.颜料黄42、C.I.颜料黄53、C.I.颜料黄55、C.I.颜料 黄65、C.I.颜料黄73、C.I.颜料黄74、C.I.颜料黄75、C.I.颜料黄81、C.I.颜料黄83、C.I.颜 料黄93、C.I.颜料黄94、C.I.颜料黄95、C.I.颜料黄97、C.I.颜料黄98、C.I.颜料黄100、C.I. 颜料黄101、C.I.颜料黄104、C.I.颜料黄108、C.I.颜料黄109、C.I.颜料黄110、C.I.颜料黄 113、(:.1.颜料黄114、(:.1.颜料黄116、(:.1.颜料黄117、(:.1.颜料黄120、(:.1.颜料黄128、 (:.1.颜料黄129、(:.1.颜料黄133、(:.1.颜料黄138、(:.1.颜料黄139、(:.1.颜料黄147、(:.1.颜 料黄150、C.I.颜料黄151、C.I.颜料黄153、C.I.颜料黄154、C.I.颜料黄155、C.I.颜料黄 156、(:.1.颜料黄167、(:.1.颜料黄172、(:.1.颜料黄173、(:.1.颜料黄180、(:.1.颜料黄185、 C.I.颜料黄195;C.I.还原黄1、C.I.还原黄3、C.I.还原黄20等黄系颜料等。
[0091] 青色系色材、洋红系色材、黄系色材等各种色材可W分别单独地使用,或者组合使 用巧巾W上。而且,在使用巧巾W上的青色系色材、洋红系色材、黄系色材等各种色材的情况 下,作为运些色材的混合比例(或配合比例),没有特别限制,可W与各色材的种类或所需的 颜色等对应地适当地选择。
[0092] 作为密封用片10的基于可见光(波长:380nm~SOOnm)的光线透射率(可见光透射 率),没有特别限制,然而例如优选为20 %~0 %的范围,更优选为10 %~0 %,特别优选为 5%~0%。通过将密封用片10的可见光透射率设为20%W下,可W使打印观察性良好。另外 还可W防止由光线通过造成的对半导体元件的不良影响。
[0093] 密封用片10的可见光线透射率(% )可W如下算出,即,制作厚度(平均厚度)为IOii m的密封用片10,对该密封用片10(厚度:10皿)使用商品名"UV-2550"(岛津制作所制)W给 定的强度照射波长为380nm~SOOnm的可见光线。测定因该照射而透过密封用片10的可见光 线的光强度,利用下式算出。
[0094]可见光线透射率(% )=((透过密封用片10后的可见光线的光强度)/(可见光线的 初期的光强度))X100
[00M]而且,光线透射率(%)的所述算出方法也可W适用于厚度并非IOwii的密封用片10 的光线透射率(%)的算出。具体而言,可W利用郎伯比尔定律,如下所示地算出IOwii时的吸 光度Aio。
[0096] Aio=QXLioXC(I)
[0097] 式中,Lio表示光路长,a表示吸光系数,C表示试样浓度。
[0098]另外,厚度X(WH)时的吸光度Ax可W利用下述式(2)表示。
[0099] Ax=aXLxXC(2)
[0100] 此外,厚度20皿时的吸光度A20可W利用下述式(3)表示。
[0101] Aio= -logioTio(3)
[0102] 式中,Tio表示厚度10皿时的光线透射率。
[0103] 根据所述式(1)~(3 ),吸光度Ax可W表示为:
[0104] Ax=AioX(LxZLio)
[010 引=-[logi日化日)]X(Lx/Lio)
[0106]由此,厚度X(皿)时的光线透射率Tx(%)可W利用下述算出。
[0107] Tx=IQ-M
[010引其中,Ax= -Uogio(Tio)]X(Lx/lio)
[0109] 本实施方式中,求密封用片的光线透射率(% )时的密封用片的厚度(平均厚度)为 lOwn,然而该密封用片的厚度终究是求密封用片的光线透射率(%)时的厚度,而并不意味 着本发明的密封用片为10WI1。
[0110] 密封用片10的光线透射率(% )可W利用树脂成分的种类或其含量、着色剂(颜料、 染料等)的种类或其含量、填充材
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