定位装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及面板制造领域，尤其涉及一种用于承载并定位玻璃基板的定位装置。
【背景技术】
[0002]近年来，随着高分辨率智能手机的盛行以及智能手机屏幕平均尺寸的持续增大，基于低温多晶娃(Low Temperature Po Iy-Si I icon，LTPS)技术的面板需求将持续走高。在上述面板制造过程中，当需要在硬化退回炉设备内对玻璃基板进行快速热退火(RapidThermal Annealing，RTA)工艺时，该工艺的主要作用为使玻璃基本的内部组织达到或接近平衡状态，进而获得良好的工艺性能和使用性能。在进行RTA工艺过程中，现有技术的一种实现方式为将玻璃基板放置于由石英材料制成的基板载台上，基板载台则放置于一个传送装置上，玻璃基板在传送装置的带动下经过硬化退火炉内各个处理区来进行RTA工艺。
[0003]然而，在玻璃基板的传送过程中，承接玻璃基板的基板载台可能有加速和减速的过程，同时由于玻璃基板与基板载台之间的相对摩擦力小于玻璃基板自身惯性力的可能，这就导致玻璃基板会在基板载台上发生漂移，造成玻璃基板碎片等异常情况。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是为了解决上述问题，提供一种能够保证玻璃基板在传送过程中能够被良好定位的定位装置。
[0005]为实现上述目的，本实用新型提供了一种定位装置，用于承载并定位玻璃基板，所述定位装置包括用于承接玻璃基板的基板载台及安装于基板载台上的静电吸盘，所述静电吸盘被施加直流电压后，所述玻璃基板定位于基板载台。
[0006]进一步的，所述静电吸盘为双极型静电吸盘。
[0007]进一步的，所述静电吸盘为两个，每个所述静电吸盘内设有第一电极与第二电极。
[0008]进一步的，所述直流电压包括正直流电压和负直流电压，所述正直流电压施加于一个静电吸盘内的第一电极，所述负直流电压施加于另一静电吸盘的第二电极。
[0009]进一步的，所述两个静电吸盘分别连接供电部。
[0010]进一步的，所述基板载台的下表面设有两个收容槽，所述两个静电吸盘分别位于所述两个收容槽内。
[0011 ]进一步的，所述定位装置放置于硬化退火炉的传送装置上。
[0012]进一步的，所述传送装置的一部分收容于所述收容槽内。
[0013]与现有技术相比，本实用新型实施例提供的定位装置内具有安装于基板载台上的静电吸盘，通过静电吸盘使得玻璃基板与基板载台之间产生吸引力而将玻璃基板牢固定位于基板载台上，避免玻璃基板在基板载台的移动过程中发生偏移而造成玻璃基板碎片。
【附图说明】
[0014]此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
[0015]图1为本实用新型优选实施例提供的定位装置的截面视图；
[0016]图2为图1所示的定位装置与玻璃基板及传送装置配合示意图；
[0017]图3为图1内所示定位装置内的静电吸盘的示意图。
【具体实施方式】
[0018]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型具体实施例及相应的附图对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0019]如图1、图2所示，本实用新型较佳实施例提供了一种应用于硬化退火炉(未图示)内的定位装置100，该定位装置100用于定位需要进行快速热退火工艺的玻璃基板3。需要说明的，硬化退火炉内具有可以传送定位装置100的循环式传送装置200，传送装置200可以对定位装置100及玻璃基板3进行连续传送处理，即在线式(in-line)处理。具体的，该传送装置200可以为一导轨结构。
[0020]当玻璃基板3需要进行快速热退火工艺时，玻璃基板3可以放置于定位装置100的基板载台I上，在传送装置200的带动下，玻璃基板3随定位装置100—同进入硬化退火炉内进行传送且同时加热，当完成快速热退火后，玻璃基板3连同定位装置100被传送出硬化退火炉。
[0021]具体地，定位装置100包括:基板载台I及安装于基板载台I下方的两个静电吸盘(Electrostatic Chuck，ESC)2。以下针对本实用新型优选实施例提供的定位装置100内的元件作具体说明。
[0022]如图1及图2所示，基板载台I呈平板状，其由石英材料制成。基板载台I包括一个可以承载玻璃基板3的上表面11及可以安装静电吸盘2的下表面12。基板载台I可以放置于传送装置200上，在传送装置200的带动下，基板载台I进出硬化退火炉。基板载台I的下表面12设有可以收容两个静电吸盘2的两个收容槽13，传送装置200的一份部延伸入上述收容槽13内。具体的，两个静电吸盘2分别置于两个收容槽13的内侧壁面上。两个静电吸盘2与基板载台I在传送装置200的带动下一同移动。
[0023]如图3所示，优选地，两个静电吸盘2均可以为双极型静电吸盘。每个静电吸盘2内部设有第一电极21及第二电极22。第一电极21及第二电极22可以由薄的导体材料制成，如铜箔制成。第一电极21及第二电极22连通电源。具体的，第一电极21与供电部20a连接，第二电极22与供电部20b连接。通过供电部20a可以向第一电极21施加正直流电压，通过供电部20b可以向第二电极22施加负直流电压。两个静电吸盘2结构相同，其中的一个可以称为第一静电吸盘，另一个可以称为第二静电吸盘。
[0024]对位于基板载台I下方的第一静电吸盘2内的第一电极21施加正直流电压后，第一静电吸盘2内的第一电极21上会产生极化电荷，第一电极21上会产生正电荷。与此同时，基板载台I与该第一静电吸盘2相对应的位置上也同时产生正电荷。上述相对应的位置指基板载台I上与第一静电吸盘2在上下方向上相对应的位置，或者指基板载台I上与第一静电吸盘2位于同侧的位置。该相对应的位置可以根据需要进行设定。如图2所示，基板载台I与该第一静电吸盘2相对应的位置为基板载台I的左侧。由于上述正电荷会产生电场，使得置于基板载台I之上的玻璃基板3左侧下表面对应基板载台I上正电荷的位置的产生极化电荷，该极化电荷与分布在第一静电吸盘2上的电荷极性相反，即玻璃基板3左侧下面产生负电荷。由于电荷异性相吸的原理，玻璃基板3的左侧与基板载台I的左侧相互定位。
[0025]在对位于基板载台I下方的第一静电吸盘2内的第一电极21施加正直流电压的同时，对位于基板载台I下方的第二静电吸盘2内的第二电极22施加负直流电压后，第二静电吸盘2内的第二电极22上会产生极化电荷，第二电极22上会产生负电荷。与此同时，基板载台I与该第二静电吸盘2相对应的位置上也同时产生负电荷。如图2所示，基板载台I与该第二静电吸盘2相对应的位置为基板载台I的右侧。由于上述负电荷会产生电场，使得置于基板载台I之上的玻璃基板3右侧下表面对应基板载台I上负电荷的位置的产生极化电荷，该极化电荷与分布在第二静电吸盘2上的电荷极性相反，即玻璃基板3右侧下面产生正电荷。由于电荷异性相吸的原理，玻璃基板3的右侧与基板载台I的右侧相互定位。
[0026]由于两个静电吸盘2的存在，玻璃基板3的左右两侧均与基板载台I的两侧相互定位使得玻璃基板3牢固定位于基板载台I。另外，当玻璃基板3需要从基板载台I上取下时，可以分别在第一静电吸盘2的第二电极22及第二静电吸盘2的第一电极21上分别施加负直流电压及正直流电压，来消除产生于基板载台I左右两侧的正负电荷，从而消除吸引力。这样，玻璃基板3就可以从基板载台I上取下。
[0027]综上所述，本实用新型实施例提供的定位装置100内具有安装于基板载台I上的静电吸盘2，通过静电吸盘2使得玻璃基板3与基板载台I之间产生吸引力而将玻璃基板3牢固定位于基板载台I上，避免玻璃基板3在基板载台I的移动过程中发生偏移而造成玻璃基板碎片。
[0028]以上所述的具体实例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种定位装置，用于承载并定位玻璃基板，其特征在于:所述定位装置包括用于承接玻璃基板的基板载台及安装于基板载台上的静电吸盘，所述静电吸盘被施加直流电压后，所述玻璃基板定位于基板载台。2.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述静电吸盘为双极型静电吸盘。3.如权利要求2所述的定位装置，其特征在于，所述静电吸盘为两个，每个所述静电吸盘内设有第一电极与第二电极。4.如权利要求3所述的定位装置，其特征在于，所述直流电压包括正直流电压和负直流电压，所述正直流电压施加于一个静电吸盘内的第一电极，所述负直流电压施加于另一静电吸盘的第二电极。5.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述两个静电吸盘分别连接供电部。6.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述基板载台的下表面设有两个收容槽，所述两个静电吸盘分别位于所述两个收容槽内。7.如权利要求6所述的定位装置，其特征在于，所述定位装置放置于硬化退火炉的传送装置上。8.如权利要求7所述的定位装置，其特征在于，所述传送装置的一部分收容于所述收容槽内。
【专利摘要】本实用新型公开了一种定位装置，其用于承载并定位玻璃基板，其包括用于承接玻璃基板的基板载台及安装于基板载台上的两个静电吸盘，所述两个静电吸盘分别被施加正直流电压及负直流电压后，所述玻璃基板定位于基板载台。由于定位装置内具有安装于基板载台上的静电吸盘，通过静电吸盘使得玻璃基板与基板载台之间产生吸引力而将玻璃基板牢固定位于基板载台上，避免玻璃基板在基板载台的移动过程中发生偏移而造成玻璃基板碎片。
【IPC分类】H01L21/68
【公开号】CN205231032
【申请号】CN201521070919
【发明人】王涛
【申请人】昆山国显光电有限公司
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2015年12月21日