过程。又例如，在清洗本实施例的清洗装置时，将供液槽1中的药液放掉，启动第二栗体60，为位置最高的第三供液槽I Oc注入清水，利用第三供液槽1c与第二供液槽1b之间的液体差，使清水流入第二供液槽1b，利用第二供液槽1b与第一供液槽1a之间的液位差，使清水流入第一供液槽10a，打开第一供液槽1a的出液口，通过第一供液槽1a上的出液口，将清水放掉，清水不停地流动，达到清洗本实施例的清洗装置的目的。在本实用新型的其他实施例中，还可以将第一供液槽1a流出的清水通过管路连接至位置最高的第三供液槽，使清水循环流动，达到节约水资源的目的。
[0032]本实施例的技术方案，多个供液槽10的设置位置依次升高，剥离槽20与供液槽10的数量相等，所述供液槽1由低到高与沿工序方向排布的多个剥离槽20—一对应；只需要使位置最高的供液槽10设置连接一个栗体，利用位置最高的供液槽10与其他的供液槽10之间的液位差所产生液压即可为其他供液槽10灌液，从而简化了整个装置，节约了生产成本。
[0033]如图3所示为本实施例的清洗装置所涉及的供液槽10的放大图，供液槽10设置有进液口 201、第一出液口 202和第二出液口 203，第一管路30通过供液槽1上所设置的第一出液口 202与供液槽10连通，第二管路40通过供液槽10所设置的第二出液口 203与供液槽10连通。其中，相邻两个供液槽10中高度较低的一个供液槽10的进液口201与高度较高的供液槽10的第二出液口 203通过第二管路40连接，当为供液槽10换药液，或者清洗供液槽10时，将相邻两供液槽10的阀门打开，启动第二栗体60，利用相邻两供液槽10之间的液位差，使相邻两个供液槽1中位置较高的供液槽1中的液体通过第二出液口 203流出，并通过第二管路40和位置较低的供液槽10所设置的进液口 201，流入位置较低的供液槽10，从而为位置较低的供液槽1注入液体。
[0034]可选地，第一出液口 202的高度不高于第二出液口 203的高度。
[0035]由于当为供液槽10换液时，药液通过供液槽10的第二出液口203流向高度较低的供液槽10，例如，当第一供液槽1a灌满之后，将第一供液槽1a和第二供液槽1b之间的阀门关闭，也同时将第二供液槽1b和第三供液槽1c之间的阀门关闭，此时第二供液槽1b的液位第第二供液槽1b的第二出液口 203持平，但是第二供液槽1b的第二剥离槽20b之间的第一管路30设置有第一栗体50，第二栗体60将第二供液槽1b中的药液输送给第二剥离槽20b，如果连接第一栗体50的管路无法输送液体，第一栗体50将会空转，导致第一栗体50烧坏，也就是说如果第一出液口 202设置位置高于第二出液口 203，则第一栗体50无法为剥离槽20输送液体，导致第一栗体50空转，从而烧坏第一栗体50。如果第一出液口 202的位置不高于第二出液口 203，则在换液的情况下，第二供液槽1b中的液体不会低于第二出液口 203的高度，从而使第一栗体50能源源不断地为第二剥离槽20b输送液体。
[0036]可选地，供液槽1的底部设置有能够开闭的第三出液口204 ο供液槽1上还设置有与第三出液口 204相匹配的阀门。
[0037]由于第一出液口202和第二出液口 203设置于供液槽10的侧壁上，当清洗供液槽10时，供液槽10里的药液不能够完全流出，因此在供液槽10的底部设置第三出液口 204，使供液槽10中的液药能够流净。同时为第三出液口 204设置相匹配的阀门。
[0038]本实用新型的清洗装置中，供液槽10上的进液口201设置于供液槽10的上部。本领域技术人员应当可以理解，当通过进液口 201为供液槽1注入液体时，液体是向下流动的，当供液槽10中的液体的液位达到进液口 201的高度时，液体将不再流淌，也就是说供液槽10中的液位最高只能达到进液口 201的高度，因此需要将进液口 201设置在较高的位置，也就是设置在供液槽10的上部。
[0039]在本实用新型的其他实施例中，为简化供液槽10结构，在供液槽10上可以仅设置一个出液口，第一管路30与第二管路40共同连接位置较高的供液槽10上的出液口，如图4所示，具体连接方式为:将第一管路30与第二管路40连接，且第一管路30与第二管路40的连接处位于相邻两个供液槽10中位置较高的供液槽10与阀门401之间。
[0040]可选地，在第一管路30上还设置有过滤器301。
[0041 ]在具体实施时，供液槽10中的药液可能会混有杂质，如果直接将药液输送至剥离槽20，清洗待清洗设备，可能会将待清洗设备表面刮花，因此可以第一管路30上设置过滤器301，以滤除药液中的杂质。过滤器301可以设置于第一栗体50和剥离槽20之间，将第一栗体50所输送的液体进行过滤后再到达剥离槽20，从而避够清待清洗设备表面刮花;在本实用新型的其他实施例中，还可将过滤器301设置于第一栗体50和供液槽10之间，将第一管路30中的液体过滤后再由第一栗体50输送至剥离槽20，以避免液体中的杂质堵塞或损坏第一栗体50。
[0042]可选地，在第二管路40上设置的阀门是自动阀门，自动阀门可以在相邻两供液槽10中位置较低的供液槽10的液位达到预设阈值时，自动关闭阀门，停止为位置较低的供液槽10注入液体，从而减少人工操作的步骤。
[0043]可选地，供液槽10上还设置有液位传感器，可用于检测供液槽10中的液位;例如，在实施使用时，当液位传感器检测到供液槽10中的液位高度达到预设阈值时，向自动阀门传送液位信号，自动阀门接收到液位信号后，可以自动关闭，作为并列的技术方案，又例如，当液位传感器检测到供液槽10中的液位高度达到预设阈值时，向工控机传送液位信号，工控机根据液位信号向自动阀门发送开关指令。
[0044]最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
【主权项】
1.一种清洗装置，其特征在于，包括多个供液槽、多个剥离槽、第一管路、第二管路、第一栗体和第二栗体， 多个所述供液槽的设置位置依次升高，所述剥离槽与所述供液槽的数量相等，所述供液槽由低到高与沿工序方向排布的多个所述剥离槽一一对应； 所述第一管路的一端与所述供液槽连通，另一端与所述剥离槽连通，所述第一栗体设置在所述第一管路上； 所述第二管路设置于相邻两供液槽之间，且所述第二管路的一端与所述位置较高的供液槽连通，另一端与位置较低的供液槽连通； 所述第二管路上设置有阀门，位置最高的所述供液槽的进液口与所述第二栗体连接。2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述供液槽设置有进液口、第一出液口和第二出液口，所述第一出液口与所述第一管路连接，相邻两个所述供液槽中高度较低的一个所述供液槽的进液口与高度较高的所述供液槽的第二出液口通过第二管路连接。3.根据权利要求2所述的清洗装置，其特征在于， 所述第一出液口的高度不高于所述第二出液口的高度。4.根据权利要求3所述的清洗装置，其特征在于，所述进液口设置于所述供液槽的上部。5.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述第一管路与所述第二管路连接，且所述第一管路与所述第二管路的连接处，位于相邻两个所述供液槽中位置较高的所述供液槽与阀门之间。6.根据权利要求1-5任一所述的清洗装置，其特征在于，所述供液槽的底部设置有能够开闭的第三出液口。7.根据权利要求6所述的清洗装置，其特征在于，所述供液槽上还设置有与所述第三出液口相匹配的阀门。8.根据权利要求7所述的清洗装置，其特征在于，在所述第一管路上还设置有过滤器。9.根据权利要求8所述的清洗装置，其特征在于，所述阀门为自动阀门。10.根据权利要求9所述的清洗装置，其特征在于，所述供液槽上还设置有液位传感器。
【专利摘要】本实用新型提供了一种清洗装置，通过将多个供液槽的设置位置依次升高，所述剥离槽与所述供液槽的数量相等，所述供液槽由低到高与沿工序方向排布的多个所述剥离槽一一对应；只需要为位置最高的供液槽设置连接一个泵体，利用位置最高的供液槽与其他的供液槽之间的液位差所产生液压即可为其他供液槽灌液，从而简化整个装置，节约生产成本。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN205248245
【申请号】CN201521137524
【发明人】陈亮, 王晃, 钟立华, 王冰, 朱琨
【申请人】昆山国显光电有限公司
【公开日】2016年5月18日
【申请日】2015年12月31日