基于电热驱动的V+U型复合梁微致动器及其制备方法与流程

技术特征：
1.一种基于电热驱动的V+U型复合梁微致动器，包括：一个V型微致动器（1）和一个U型冷热臂微致动器（2）、一个V型微致动器的电极甲（3）、一个U型冷热臂微致动器的电极乙（4）和一个公共电极（5），其特征在于：所述U型冷热臂微致动器（2）的一个热臂（6）与V型微致动器（1）的输出端相连，而其一个柔性臂（7）通过一个斜梁与电极乙（4）相连，V型微致动器（1）的左端梁与电极甲（3）相连，而其右端梁与公共电极（5）相连；所述U型冷热臂微致动器（2）采用双热臂U型微致动器。2.根据权利要求1所述的基于电热驱动的V+U型复合梁微致动器，其特征在于：所述V型微致动器（1）的数目为阵列2~5个。3.一种根据权利要求1~2所述的基于电热驱动的V+U型复合梁微致动器的制备方法，其特征在于：采用MEMS表面工艺或体硅工艺制备，表面工艺制备时，在硅衬底平面上，有氮化硅绝缘层，氮化硅层上有固定的用作导线的多晶硅层Poly0，在Poly0上有由多晶硅层Poly1构成的电极座（9、10）和V+U复合梁微致动器（8），电极座（9、10）、多晶硅层Poly2和金属层共同组成致动器的电极（3、4和5）。