技术总结
本发明涉及一种基于电热驱动的V+U型复合梁微致动器，用于产生基于直线运动和弧状运动的复合致动方式。所述装置由V型电热微致动器、U型冷热臂电热微致动器、V型电热微致动器电极、U型冷热臂电热微致动器电极组成，整个装置为多晶硅材料，用MEMS工艺制作。该装置将V型微致动器的直线运动和U型冷热臂微致动器的弧状运动结合起来，产生了基于直线运动和弧状运动的复合致动方式，结构简单，效率高，可用于驱动微夹钳、微齿轮等MEMS器件。
技术研发人员：沈雪瑾;王振禄;陈晓阳;胡懿
受保护的技术使用者：上海大学
文档号码：201310237155
技术研发日：2013.06.17
技术公布日：2016.12.07