1.一种压电驱动装置,其特征在于,
具备驱动被驱动部件的多个压电振动部,
上述多个压电振动部各自的共振频率中最大的共振频率与最小的共振频率之差在上述多个压电振动部的平均共振频率的0.001%以上5%以下的范围内。
2.根据权利要求1所述的压电驱动装置,其特征在于,
上述最大的共振频率与上述最小的共振频率之差在上述平均共振频率的0.003%以上5%以下的范围内。
3.根据权利要求2所述的压电驱动装置,其特征在于,
上述最大的共振频率与上述最小的共振频率之差在上述平均共振频率的0.1%以上5%以下的范围内。
4.根据权利要求3所述的压电驱动装置,其特征在于,
上述最大的共振频率与上述最小的共振频率之差在大于上述平均共振频率的1%且在5%以下的范围内。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的压电驱动装置,其特征在于,
上述多个压电振动部作为一个压电振动单元而为一体。
6.根据权利要求1所述的压电驱动装置,其特征在于,
具备驱动上述被驱动部件的多个压电振动单元,
对上述多个压电振动单元的各个而言,上述多个压电振动部中的至少两个以上的压电振动部为一体。
7.根据权利要求1所述的压电驱动装置,其特征在于,
上述压电振动部具备:
振动板;
压电元件,其具有第一电极、第二电极、以及位于上述第一电极与上述第二电极之间的压电体,上述压电元件设置在上述振动板;以及
接触部,其设置在上述振动板与上述压电元件的至少一方,上述接触部能够与上述被驱动部件接触。
8.根据权利要求7所述的压电驱动装置,其特征在于,
上述压电体的厚度在50nm以上20μm以下。
9.一种机器人,其特征在于,具备:
多个连杆部;
关节部,其连接上述多个连杆部;以及
权利要求1所述的压电驱动装置,其使用上述压电振动部使上述多个连杆部在上述关节部转动。