过其它第一测量构件220测量电流(S卩，正电流或负电流)。这样，在本发明的实施例中，由于被施加了电压的第一测量构件220与用于测量电流的第一测量构件220彼此间隔开，用于施加电压和测量电流的设备、配线等就变得简单化，这使得测量设备200的结构简单化，并且显著地缩短了第一测量构件220之间的距离。因此，测量设备200可以自由地用于测量其中电极42和44具有小宽度和节距的太阳能电池100的特性。此外，被施加了电源的第一测量构件220的数量与用于检测电流的第一测量构件220的数量可以自由改变，这能够在各种电压下对电流进行检测，并且使得电阻最小化。
[0098]类似地，对于第二测量构件240，电压(即，当第二电极44连接至η-型导电区域时产生的负电压，或当第二电极44连接至ρ-型导电区域时产生的正电压)施加至某些第二测量构件240上，通过其它第二测量构件240测量电流(即，负电流或正电流)。这样，在本发明的实施例中，由于施加了电压的第二测量构件240与用于测量电流的第二测量构件240彼此间隔开，使得测量设备200的结构简单化，并且显著地缩短了第二测量构件240之间的距离。因此，测量设备200可以自由地用于测量其中电极42和44具有小宽度和节距的太阳能电池100的特性。此外，施加了电压的第二测量构件240的数量与用于检测电流的第二测量构件240的数量可以自由改变，这使得能够在各种电压下对电流进行检测，并且使得电阻最小化。
[0099]另一方面，在相关现有技术中，用于施加电压的设备、用于测量电流的设备、配线等必须安装至单个杆，因为电压必须施加至与所述单个杆相连的多个针的一些针，并且在其它针处测量电流。因而会出现以下问题:增加构造的复杂度，限制针之间的距离的减小。
[0100]特别地，当第一电极420和第二电极440之间的距离减小时，因第一测量构件220和第二测量构件240之间的距离减小所造成的影响会进一步增强。也就是说，如在本发明的实施例中，当第一测量构件220和第二测量构件240横跨第一电极部分420和第二电极部分440时，第一测量构件220和第二测量构件240之间的距离和它们的宽度与第一电极部分420和第二电极部分440之间的距离和它们的宽度不相关。因而，可以自由设计第一测量部分222和第二测量部分242之间的距离和它们的宽度。这样，对于其中第一电极部分420和第二电极部分440具有小的节距和宽度的太阳能电池100而言，可以对电流和电压进行精确测量。特别地，根据本发明的实施例，即使太阳能电池100仅包括指状电极(诸如以上所述的具有小宽度和节距的第一电极部分420和第二电极部分440)而没有栅线电极(bus-bar electrode)，也可以精确测量电压和电流。
[0101]另一方面，当各个测量构件平行于电极部分布置时，如相关现有技术中所示的那样，测量构件之间的距离等于或近似于电极部分之间的距离。减小电极部分之间的距离就需要减小测量构件之间的距离，因此，鉴于上述的用于施加电压和测量电流的设备、配线等，减小测量构件之间的距离受到限制。此外，减小电极部分的宽度就会导致测量针的表面区域减小，或减小与针的接触表面区域，这易于导致电压和电流测量误差。另外，将测量构件与相应的电极部分对齐变得比较困难。
[0102]此外，在本发明的实施例中，第一测量部分222和第二测量部分242形成预定的图案以具有足够的表面区域。如此，第一测量部分222和第二测量部分242具有与第一电极部分420和第二电极部分440相接触的足够大的接触面积，这会最小化电阻，因此，实现更精确的测量。在这种情况下，由于第一测量部分222和第二测量部分242具有平坦的接触表面，可以最大化地避免第一测量部分222和第二测量部分242对太阳能电池100的电极42与44的特性造成损害或使上述特性劣化。此外，如此大的接触面积可以实现对电流和电压的精确测量，即使在具有多层的第一测量电极42和第二测量电极44中仅仅只有一些层形成时(比如，形成用于构造第一电极42和第二电极44的种子层)。
[0103]此外，由于测量设备200构造成使得测量构件220和240可以被图形化从而可以与板状的支撑构件210进行结合，所以通过与太阳能电池100的紧密接触，测量设备200能够方便地处理和稳定地执行测量。此外，测量设备200更容易执行第一测量部分222和第二测量部分242与第一电极420和第二电极440之间的对准。该测量设备200可以用作测量夹具。
[0104]此外，根据本发明的实施例，能够在太阳能电池100的一个表面(第一电极42和第二电极44 一起布置在该表面上)处可靠地测量太阳能电池100的电流。
[0105]尽管上面的描述限制了测量设备200包括第一测量构件220和第二测量构件240两者，然而，本发明实施例不限于此。因而，测量设备200可以仅包括第一测量构件220和第二测量构件240中的一个，并且可以被用于评价其中第一电极42和第二电极44位于太阳能电池100的不同表面的太阳能电池100的特性。各种其它替换也是可能的。
[0106]下文中，详细描述根据本发明另一实施例的测量设备。与上述描述相同或相似的部分有关的描述被省略，仅仅详细描述不同的部分。
[0107]图7示出了根据本发明另一实施例的测量设备的立体图。
[0108]参考图7，在根据本发明实施例的测量设备200中，由绝缘材料形成的支撑构件210包括对应于第一测量构件220和第二测量构件240的第一孔210a和第二孔210b。第一测量构件220呈块状，其中第一测量部分222比第一连接部分224从支撑构件210突出更远，第一测量构件220被装配在第一孔210a中的一个孔中，并且第二测量构件240呈块状，其中第二测量部分242比第二连接部分244从支撑构件210突出更远，第二测量构件240被装配在第二孔210b中的一个孔中。在这种情况下，第一连接部分224和第二连接部分244的厚度Tl可以等于或近似于支撑构件210的厚度T2，并且第一测量部分222和第二测量部分242可以从第一连接部分224和第二连接部分244突出。如此，第一连接部分224和第二连接部分244的前后表面和支撑构件210的前表面(面向太阳能电池100)和支撑构件210的后表面(与太阳能电池100相反)位于相同的平面上，并且第一测量部分222和第二测量部分242从支撑构件210的前表面突出。这样，只有第一测量部分222和第二测量部分242可以与太阳能电池(参见图4的参考标记100)的第一电极部分和第二电极部分(参见参考标记420和440)相接触。
[0109]在这种情况下，第一测量构件220和第二测量构件240可以通过各种构造和方法被固定到支撑构件210。例如，支撑构件210以及第一测量构件220和第二测量构件240在它们的边缘附近可以具有紧固孔214c和240c，并且紧固构件214，诸如螺钉，螺栓等，可以通过紧固孔214c和240c进行紧固以将第一测量构件220和第二测量构件240固定到支撑构件210。如此，第一测量构件220和第二测量构件240通过简单的构造被稳定地固定到支撑构件210。然而，本发明实施例不限于此，第一测量构件220和第二测量构件240可以通过任何不同的方法被固定到支撑构件210。
[0110]当呈块状的第一测量构件220和第二测量构件240如上所述分离地安装到支撑构件210上时，具有各种宽度和节距的太阳能电池100的特性能够被测量。也就是说，通过提供包括了各种尺寸和节距的第一测量部分222和第二测量部分242的第一测量构件220和第二测量构件240，在其中适合于待测量的太阳能电池100的第一测量构件220和第二测量构件240被固定到支撑构件210的状态下，可以测量太阳能电池100的特性。
[0111]本发明的实施例阐述了支撑构件210以及第一测量构件220和第二测量构件240均具有排气孔212。排气孔212可以形成在第一连接部分224和第二连接部分244中，由于第一测量构件220和第二测量构件240穿透支撑构件210，所以第一测量构件220和第二测量构件240不直接与特性测量有关。这使得测量设备200和太阳能电池100彼此更加紧密地接触，可以提高测量特性的精确性。然而，本发明实施例不限于此。也就是说，由于第一测量部分222和第二测量部分242从支撑构件210的前表面突出，在支撑构件210的前表面与第一测量部分222和第二测量部分242的接触面之间的空间可以作为排气空间。各种其它改变也是可能的。
[0112]图8示出了根据本发明另一实施例的测量设备的立体图，图9是沿图8的线IX-1X截取的截面图。
[0113]参考图8和9，在根据本发明实施例的测量设备200中，支撑构件210具有对应于第一测量部分222和第二测量部分242的第三孔210c和第四孔201d。
[0114]第一测量构件220的第一连接部分224在支撑构件210的后表面处彼此相连以延伸一长度，并且第一测量部分222从第一连接部分224突出，以便从支撑构件210的前表面暴露同时填充第三孔210c。如此，第一测量部分222布置在支撑构件210的前表面上以与第一电极部分420接触。相似地，第二测量构件240的第二连接部分244在支撑构件210的后表面处彼此相连以延伸一长度，并且第二测量部分242从第二连接部分244突出，以便从支撑构件210的前表面暴露同时填充第四孔210d。如此，第二测量部分242布置在支撑构件210的前表面上以与第二电极部分440接触。
[0115]在发明的实施例中，不提供绝缘层(参见图5的(a)中的参考标记250)，而是使用由绝缘材料形成的支撑构件210将第一测量部分222和第二测量部分242彼此间隔开。这将提尚电稳定性。
[0116]尽管本发明的实施例阐述了排气孔212形成在支撑构件210内，然而，本发明的实施例不限于此。也就是说，第一测量部分222和第二测量部分242可以被构造为从支撑构件210的前表面突出，以便允许空气通过第一测量部分222和第二测量部分242的接触面与支撑构件210的前表面之间的空间排出。各种其它改变也是可能的。
[0117]图10示出了根据本发明另一实施例的测量设备的立体图。
[0118]参考图10，在本发明的实施例中，第一连接部分224和第二连接部分244与第一测量部分222和第二测量部分242位于相同的平面上，并且可以具有与第一测量部分222和第二测量部分242大致相同的厚度。即，在本发明的实施例中，第一测量构件220横跨第一电极部分420而形成，这使得彼此相互间隔开的第一电极部分420只与第一测量部分222相接触，即使当第一测量构件220在支撑构件210的前表面上延伸一长度时。类似地，第二测量构件240横跨第二电极部分440而形成，这使得彼此相互间隔开的第二电极部分440只与第二测量部分242相接触，即使当第二测量构件240在支撑构件210的前表面上延伸一长度时。
[0119]当第一连接部分224和第二连接部分244与第一测量部分222和第二测量部分242如上所述位于相同的平面上时，包括第一连接部分224和第一测量部分222的第一测量构件220与包括第二连接部分244和第二测量部分242的第二测量构件240可以通过在支撑元件210上形成导电层并随后对其进行刻图的方式容易且简单地形成。这会使得制造简单化并提尚生广力。
[0120]此外，绝缘层250在支撑构件220的前表面上、未形成有第一测量构件220和第二测量构件240的位置处布置，这会提高电稳定性。然而，本发明的实施例不限于此，并且仅第一测量构件220和第二测量构件240可以形成在支撑构件210上而不具有绝缘层250。可选择地，如图11中的例子所示出的，对应于第一测量构件220和第二测量构件240的凹槽210e和210f形成在支撑构件210中，之后使用导电材料填充上述凹槽以形成第一测量构件220和第二测量构件240。尽管图11阐述了容纳在凹槽210e和210f内的第一测量构件220和第二测量构件240的第一测量部分222和第二测量部分242以及第一连接部分224和第二连接部分244位于相同的平面上，但是第一测量部分222和第二测量部分242的接触面可以从第一连接部分224和第二连接部分244突出，如图1至9中的例子所示出的那样。各种其它改变也是可能的。
[0121]当第一测量部分222和第二测量部分242以及第一连接部分224和第二连接部分244如上所述位于相同的平面上时，第一测量构件220和第二测量构件240可以通过简单的过程形成。
[0122]图12示意性示出了根据本发明另一实施例的测量设备200的立体图，图13是图12中A部分的平面图，图14是沿图13的线B-B截取的截面图。此外，图15是图12中所示的测量设备200上的太阳能电池100的电流/电压特征的测量结果截面图。为简单和清楚起见，在太阳能电池100的组成元件中，只显示了半导体衬底10、第一电极42的第一电极部分420和第二电极44的第二电极部分440。此外，为了达到清楚理解的目的，在图13中，只显示了电极42和44的电极部分420和440、测量构件220和240以及真空导入孔204a和204b ο
[0123]参考图12至14，根据本发明实施例的测量设备200包括测量单元201，其包括被构造成与太阳能电池100的电极42和44接触的测量部分222和242并且直接与太阳能电池100的特性测量相关，测量设备200还包括真空单元203，该真空单元产生真空使得测量单元201与太阳能电池100紧密接触。在这种情况下，真空单元203包括布置在测量单元201的安置有太阳能电池100的第一表面(图中的上表面)上的真空诱导器(vacuuminducer) 204，真空诱导器204提供排气通道用于在测量部分222和242周围产生真空状态。此外，真空单元203进一步包括布置在测量单元201的与第一表面相反的第二表面上(图中的下表面)的真空腔206，真空腔206通过将空气通过排气通道排出而将真空施加至真空诱导器204的排气通道。在下面其将被更加详细地描述