弹性波装置的制作方法

文档序号:12289576阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种弹性波装置,具备:

压电基板;以及

至少一个IDT,形成在所述压电基板上,

所述IDT具有:多个第一电极指;以及多个第二电极指,与该多个第一电极指彼此交叉,在所述多个第一电极指与所述多个第二电极指在弹性波传播方向上交叉的部分,传播速度比中央区域中的弹性波的传播速度慢的边缘区域在所述第一电极指、第二电极指延伸的交叉宽度方向上设置在该中央区域的两侧,

在所述弹性波传播方向上,具有:第一部分,所述中央区域的传播速度相对快;以及第二部分,所述中央区域的传播速度相对慢,

根据所述第一部分的中央区域中的弹性波的传播速度以及该第二部分中的中央区域的弹性波的传播速度,选择所述第一部分的边缘区域中的弹性波的传播速度和作为沿着所述交叉宽度方向的尺寸的宽度、以及所述第二部分的边缘区域中的弹性波的传播速度和作为沿着所述交叉宽度方向的尺寸的宽度,使得在所述第一部分和所述第二部分中分别激励活塞模式。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置,其中,

在所述第一部分和所述第二部分中分别激励所述活塞模式,使得基本横模式的相位旋转量最小的部分存在于所述交叉宽度方向上的中央。

3.根据权利要求2所述的弹性波装置,其中,

所述基本横模式的相位旋转量为0的部分存在于所述交叉宽度方向上的中央。

4.根据权利要求1~3中的任一项所述的弹性波装置,其中,

所述第一部分的所述边缘区域中的弹性波的传播速度和作为沿着所述交叉宽度方向的尺寸的宽度是所述第一部分的所述边缘区域的作为沿着所述交叉宽度方向的尺寸的宽度,所述第二部分的所述边缘区域中的弹性波的传播速度和作为沿着所述交叉宽度方向的尺寸的宽度是所述第二部分的所述边缘区域的作为沿着所述交叉宽度方向的尺寸的宽度。

5.根据权利要求4所述的弹性波装置,其中,

所述第一部分的所述边缘区域的作为交叉宽度方向上的尺寸的宽度大于所述第二部分的所述边缘区域的作为交叉宽度方向上的尺寸的宽度。

6.根据权利要求5所述的弹性波装置,其中,

所述第一部分中的所述中央区域的所述交叉宽度方向上的尺寸与所述第二部分中的所述中央区域的所述交叉宽度方向上的尺寸不同。

7.根据权利要求1~6中的任一项所述的弹性波装置,其中,

所述第一部分的电极指间距大于所述第二部分的电极指间距。

8.根据权利要求1~6中的任一项所述的弹性波装置,其中,

所述第一部分的金属化率大于所述第二部分中的金属化率。

9.根据权利要求1~6中的任一项所述的弹性波装置,其中,

在所述边缘区域中,在所述第一电极指、第二电极指上设置有质量附加膜,所述第一部分中的质量附加膜的厚度比所述第二部分中的质量附加膜的厚度薄。

10.根据权利要求1~6中的任一项所述的弹性波装置,其中,

在边缘区域中,将所述第一部分的传播速度设为V’a,将所述第二部分的弹性波的传播速度设为V’b,将所述第一部分中的一个边缘区域的作为所述电极指延伸的方向上的长度的宽度设为Ea,将所述第二部分中的边缘区域的宽度设为Eb,此时,Ea/V’a=Eb/V’b。

11.根据权利要求10所述的弹性波装置,其中,

选择所述第一部分和所述第二部分的边缘区域的所述宽度,使得成为所述Ea/V’a=Eb/V’b。

12.根据权利要求10所述的弹性波装置,其中,

选择所述第一部分和所述第二部分中的边缘区域的金属化率,使得成为所述Ea/V’a=Eb/V’b。

13.根据权利要求10所述的弹性波装置,其中,

在所述第一部分和所述第二部分中层叠有质量附加膜,使得覆盖所述边缘区域,选择位于所述第一部分和所述第二部分的所述质量附加膜的膜厚,使得成为所述Ea/V’a=Eb/V’b。

14.根据权利要求10所述的弹性波装置,其中,

在所述第一部分和第二部分中层叠有质量附加膜,使得覆盖所述边缘区域,选择位于所述第一部分和所述第二部分的边缘宽度、边缘区域的金属化率以及层叠在边缘区域的所述质量附加膜的膜厚中的至少一种,使得成为所述Ea/V’a=Eb/V’b。

15.根据权利要求1~14中的任一项所述的弹性波装置,其中,

在所述第一电极指和所述第二电极指的顶端侧设置有宽宽度部,所述宽宽度部的作为沿着弹性波传播方向的尺寸的宽度比所述中央区域中的宽度宽,由该宽宽度部构成所述边缘区域。

16.根据权利要求15所述的弹性波装置,其中,

在与设置在所述第二电极指的所述宽宽度部在弹性波传播方向上重叠的位置,在所述第一电极指设置有第二宽宽度部,在与设置在所述第一电极指的所述宽宽度部在弹性波传播方向上重叠的位置,在所述第二电极指设置有第二宽宽度部。

17.根据权利要求1~14中的任一项所述的弹性波装置,其中,

所述IDT沿着弹性波传播方向配置有多个,多个所述IDT中的至少一个所述IDT为所述第一部分,剩余的所述IDT中的至少一个所述IDT为所述第二部分。

18.根据权利要求1~17中的任一项所述的弹性波装置,其中,

所述弹性波装置是纵向耦合谐振器型弹性波滤波器。

19.根据权利要求1~16中的任一项所述的弹性波装置,其中,

所述IDT具有:电极指主体部;以及窄间距电极指部,其电极指间距比所述电极指主体部的电极指间距窄,并设置在弹性波传播方向端部,

所述电极指主体部为所述第一部分,所述窄间距电极指部为所述第二部分。

20.根据权利要求1~16中的任一项所述的弹性波装置,其中,

具有一个IDT来作为至少一个所述IDT,还具备配置在该IDT的弹性波传播方向两侧的反射器,从而构成单端口型弹性波谐振器。

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