体声波谐振器及包括该体声波谐振器的滤波器的制作方法

文档序号:12486085阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开一种体声波谐振器及包括该体声波谐振器的滤波器。根据本发明的一实施例的体声波谐振器可以包括:基板;第一电极和第二电极,形成在所述基板上;压电层,形成在所述第一电极与所述第二电极之间,其中,所述第一电极和所述第二电极中的至少一个包括钼‑钽合金。

技术研发人员:李泰京;韩成;李华善;辛承柱;申兰姬
受保护的技术使用者:三星电机株式会社
文档号码:201610428988
技术研发日:2016.06.16
技术公布日:2016.12.28

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