1.激光辅助锡介质LDP通过磁力拖动电极的放电真空室,其特征在于,Sn靶的拖动装置采用磁力拖动结构实现,磁力拖动结构包括电机、磁性圆盘和圆形支架,Sn靶设置在圆形支架上,圆形支架上设置有磁铁,磁性圆盘固定在电机的转轴上,电机的转轴的轴线与磁性圆盘的轴线重合,磁性圆盘与圆形支架平行,电机和磁性圆盘位于放电真空室的外部,圆形支架位于放电真空室的内部。
2.根据权利要求1所述的激光辅助锡介质LDP通过磁力拖动电极的放电真空室,其特征在于,Sn靶采用在圆形支架的侧壁固定一层Sn箔片实现。
3.根据权利要求1或2所述的激光辅助锡介质LDP通过磁力拖动电极的放电真空室,其特征在于,磁性圆盘和圆形支架之间的放电真空室的壳体为玻璃窗口。
4.根据权利要求1或2所述的激光辅助锡介质LDP通过磁力拖动电极的放电真空室,其特征在于,放电真空室的内部设有光学平台。