激光辅助锡介质LDP通过磁力拖动电极的放电真空室的制作方法

文档序号:11962259阅读:来源:国知局

技术特征:

1.激光辅助锡介质LDP通过磁力拖动电极的放电真空室,其特征在于,Sn靶的拖动装置采用磁力拖动结构实现,磁力拖动结构包括电机、磁性圆盘和圆形支架,Sn靶设置在圆形支架上,圆形支架上设置有磁铁,磁性圆盘固定在电机的转轴上,电机的转轴的轴线与磁性圆盘的轴线重合,磁性圆盘与圆形支架平行,电机和磁性圆盘位于放电真空室的外部,圆形支架位于放电真空室的内部。

2.根据权利要求1所述的激光辅助锡介质LDP通过磁力拖动电极的放电真空室,其特征在于,Sn靶采用在圆形支架的侧壁固定一层Sn箔片实现。

3.根据权利要求1或2所述的激光辅助锡介质LDP通过磁力拖动电极的放电真空室,其特征在于,磁性圆盘和圆形支架之间的放电真空室的壳体为玻璃窗口。

4.根据权利要求1或2所述的激光辅助锡介质LDP通过磁力拖动电极的放电真空室,其特征在于,放电真空室的内部设有光学平台。

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