一种等离子体发生器及其等离子体产生方法与流程

文档序号:11411651阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种等离子体发生器,包括反应器腔体、多级催化隔板电极和电源,多级催化隔板电极垂直安装于反应器腔体内,相邻催化隔板电极之间形成等离子体腔室;电源正极和电源负极以交错间隔方式与所述催化隔板电极连接;催化隔板电极包括有具有透气功能的电介质和电极,电介质由光催化材料、铁电催化材料或光催化和铁电材料的混合物质组成。本发明通过将多级催化隔板电极以交错间隔方式与电源连接,且催化隔板电极采用具有透气孔的电介质和电极制成,而电介质由光催化材料、铁电催化材料或光催化和铁电材料的混合物质组成,可以充分利用放电过程中产生的光辐射能量和电子能量,达到在较低放电电压下产生高电子密度的等离子体。

技术研发人员:肖建忠;张宝顺;鲍守珍;宗冰;蔡延国;王体虎
受保护的技术使用者:亚洲硅业(青海)有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
技术研发日:2017.06.22
技术公布日:2017.09.01
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