技术特征：
技术总结
本发明减小天线的阻抗，并且消除构成电容元件的电极及介电质之间产生的间隙。本发明的天线(3)用于产生感应耦合型等离子体P，且具备至少两个导体要素(31)、设于彼此相邻的导体要素(31)之间且将这些导体要素(31)绝缘的绝缘要素(32)、以及与彼此相邻的导体要素(31)电性串联的电容元件(33)，电容元件(33)是由与彼此相邻的导体要素(21)中的一者电性连接的第一电极(33A)、与彼此相邻的导体要素(31)中的另一者电性连接的第二电极(33B)、以及将第一电极(33A)及第二电极(33B)之间的空间充满的液体介电质所构成。
技术研发人员：安东靖典;李东伟;久保田清
受保护的技术使用者：日新电机株式会社
技术研发日：2018.02.13
技术公布日：2019.09.27