一种等溶性电离子发生器的制作方法

本发明涉及等离子发生器领域，尤其是一种等溶性电离子发生器。

背景技术：

等离子体是物质的一种存在状态，也称第四种状态(通常物质以固态、液态、气态三种状态存在)，等离子体状态中存在处于高速运动状态的电子、处于激活状态的中性原子、分子等物质，其保持电中性状态；在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下发出辉光，产生高能量的无序等离子体，通过等离子体轰击待清洗对象表面，达到清洗的目的；利用等离子体中大量的离子、激发态分子。自由基等活性粒子作物理撞击，把材料表面的原子打掉，清除表面原有的污染物和杂质；离子在较低压力下平均自由基较轻长，得到能量的累积，在物理撞击时，离子的能量越高，越多的能量撞击，清洁效果越加。

等离子体可以通过多种方式来产生，产生方式包括热电离法、射线辐照法、光电离法、激波等离子法和气体放电法，气体放电法指气体在电场作用下被击穿引起的导电现象，气体放电法包括辉光放电、电晕放电和介质阻挡放电，其中辉光放电能产生大体积强激发的等离子体，但要求维持低气压，电晕放电在正常气压下产生等离子体，但密度低；介质阻挡放电实现正常气压下产生高密度的等离子体，因此被广泛应用，比如基于等离子体的清洁机等。但是，目前等离子发生器工作时的放电电压的电压值的大小不恒定，产生的电离子有限，清洁效果不佳。因此，需要一种等溶性电离子发生器可以克服现有等离子发生器的放电电压不稳定的问题。

技术实现要素：

本发明的目的在于：本发明提供了一种等溶性电离子发生器，解决现有等离子发生器的放电电压不稳定的问题。

本发明采用的技术方案如下：

一种等溶性电离子发生器，包括放电电路、真空装置和气源装置，所述放电电路包括多电极、接地极和恒定输出的电源；所述恒定输出的电源包括高压包和自反馈稳压电路；

所述高压包与所述自反馈稳压电路连接；

所述自反馈稳压电路用于采集所述高压包的输出电压信息，并根据所述输出电压信息调整所述高压包的输出电压。

优选地，所述自反馈稳压电路包括：

取样电路、基准电压源、比较放大电路和电压调整管；

所述取样电路包括取样电阻，所述取样电阻与负载并联；所述取样电路用于采集所述输出电压信息得到反馈电压；

所述比较放大电路用于比较所述反馈电压与所述基准电压源的基准电压并产生误差电压，根据放大的所述误差电压控制所述电压调整管的基级电流；

当所述基级电流变化时，所述电压调整管的管压降随之变化以保持所述电源的输出电压稳定。

优选地，所述自反馈稳压电路包括：

取样电路和lnk芯片；

所述取样电路包括取样绕组，所述取样绕组与所述高压包的主绕组耦合；所述取样电路用于采集所述主绕组的输出电压信息得到反馈电压；

所述lnk芯片用于根据所述反馈电压调整所述输出电压。

优选地，所述多电极包括n个外电极和n个内电极，所述外电极和内电极之间形成气体通道，n>＝2，所述外电极、恒定输出的电源和内电极依次连接形成回路，所述接地极连接一端连接恒定输出的电源，其另一端连接外电极。

优选地，所述接地极包括陶瓷基板和接地线。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：

1.本发明等离子发生器的电源，包括自反馈稳压电路，通过该自反馈稳压电路可以实时控制功率输出部分的工作状态，从而调整电源的输出电压，使得输出的直流电压值恒定，确保输出电压的稳定而不产生电势差，稳定提供电源，利于等离子体轰击，提高清洁效果；

2.本发明的电极采用多电极，利于产生更多高能电子等，提高等离子体的密度，促进高能电子进行物理轰击。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明的电源的结构示意图；

图3为本发明实施例1提供的自反馈稳压电路的结构示意图；

图4为本发明实施例1提供的自反馈稳压电路的电路图；

图5为本发明实施例2提供的放电电路的电路图。

图标：

10-高压包；11-自反馈稳压电路；20-取样电路；21-基准电压源；22-比较放大电路；23-电压调整管；31-取样绕组；32-主绕组；1-外电极，2-内电极，3-气体通道，4-电源，5-接地极。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明，即所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，术语“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以下结合实施例对本发明的特征和性能作进一步的详细描述。

实施例1

本发明实施例提供了一种等溶性电离子发生器，包括放电电路、真空装置和气源装置，放电电路包括多电极、接地极5和恒定输出的电源4，如图1所示；

电源参见图2所示的电源的结构示意图，包括高压包10和自反馈稳压电路11，其中高压包10与自反馈稳压电路11连接。

上述高压包，即行输出变压器，也叫逆程变压器，包含低压、高压绕组，可以将输入电流升压，然后经多个二极管和电容，倍压整流成高压直流电。高压包的具体结构和原理属于现有技术，在此不在赘述。

自反馈稳压电路11用于采集高压包10的输出电压信息，并根据上述输出电压信息调整高压包10的输出电压。

上述自反馈稳压电路有以下两种构成方式：

(1)自反馈稳压电路包括：取样电路20、基准电压源21、比较放大电路22和电压调整管23。

参见图3所示的自反馈稳压电路的结构示意图，其中示出了取样电路20、基准电压源21、比较放大电路22和电压调整管23。其中，外加的输入电源分别进入电压调整管23和基准电压源21，由电压调整管23控制输出的放电电压；取样电路20从输出电压处采集电压信息，并将该电压信息信号发送至比较放大电路22，由比较放大电路对电压调整管进行控制。

具体地，取样电路20用于采集输出电压信息得到反馈电压；取样电路20具体包括取样电阻，该取样电阻与负载并联，通过测量取样电阻两端的电压来计算反馈电压，该反馈电压可以表示实际输出的电压，反馈电压被发送至比较放大电路。

比较放大电路22用于将反馈电压与基准电压源21的基准电压比较产生误差电压经放大后控制电压调整管23的基级电流；当基级电流变化时，电压调整管23的管压降随之变化以保持电源的输出电压稳定，即自动地改变电压调整管集-射极间的电压，补偿输出电压的变化，从而维持输出电压基本不变。

例如，当由于某种原因(如电压波动或者负载电阻变化等)使输出电压上升，取样电路20将这一变化趋势送到比较放大管的基极，与发射极基准电压进行比较，并且将二者的差值进行放大，比较放大管的基电极电位(即调整管的基极电位)降低。由于调整管采用射极输出形式，所以输出电压必然降低，从而保证输出电压基本稳定。

(2)自反馈稳压电路包括：取样电路20和lnk芯片。

参见图4所示的自反馈稳压电路的电路图，其中取样电路包括取样绕组31，该取样绕组31与高压包的主绕组32耦合；取样电路用于采集主绕组的输出电压信息得到反馈电压。lnk芯片用于根据反馈电压调整输出电压。

其中，lnk芯片的漏极端d连接于第一二极管d1的正极，源极端s连接于输入段的负极，反馈端fb连接于第三电阻r3和第四电阻r4之间，芯片的旁路端bp连接第二电容c2，c2的另一端连接于输入段的负极。lnk芯片集成了功率开关器件、振荡器、cc/cv控制引擎、启动以及保护的功能。电路中第三电阻r3和第四电阻r4形成了反馈电路满足输入电压大范围波动。通过lnk芯片控制进行负反馈补偿。

本实施例提供的等离子发生器应用于清洁装置时，清洁装置包括等离子发生器、驱动组件、传动组件、转动组件和翻转组件，等离子体发生器包括放电电路、真空装置和气源装置，真空装置包括真空泵组、抽空阀和真空室，气源装置包括气源和送气阀，放电电路的电极在真空腔体里，气源装置给予进气，绝缘介质处于放电空间中产生一种非平衡态的气体放电，产生介质阻挡放电，产生高能量的无序等离子体，通过等离子体轰击待清洗对象表面，达到清洗的目的；配合清洁装置的其他组件实现多面清洗，比如驱动组件驱动转动组件转动，比如电机驱动主动轮转动，转动组件带动传动组件即传动皮带，将等离子发生器清洗好的一面传输给翻转组件，驱动组件驱动转动组件，转动组件再带动传动组件，将清洗的另一面翻转，实现双面清洗；综上，等离子发生器的放电电路的电源通过该自反馈稳压电路可以实时控制功率输出部分的工作状态，从而调整电源的输出电压，使得输出的直流电压值恒定，确保输出电压的稳定而不产生电势差，稳定提供电源，稳定介质阻挡放电，利于等离子体进行物理轰击，提高清洁效果。

实施例2

基于实施例1，多电极包括n个外电极1和n个内电极2，外电极1和内电极2之间形成气体通道3，n>＝2，外电极1、恒定输出的电源4和内电极2依次连接形成回路，接地极5连接一端连接恒定输出的电源4，其另一端连接外电极1，如图5所示的电路连接，采用多电极的介质阻挡放电，利于产生更多高能电子等，提高等离子体的密度，促进高能电子进行物理轰击，提高清洁效果。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。