技术特征：
技术总结
本发明提供了一种薄膜体声波谐振器的制造方法，该制造方法包括：刻蚀基底形成第一凹槽并在该第一凹槽内填充牺牲层；在所述基底和所述牺牲层上形成阻挡层；在所述阻挡层上形成第一支撑层，并刻蚀所述第一支撑层直至暴露所述阻挡层以在所述牺牲层上方形成第二凹槽；在所述第二凹槽的表面上形成下电极，以及在该下电极上依次形成压电层和上电极；去除所述第一支撑层以形成环绕所述下电极侧面的第一空间、以及去除所述牺牲层以在所述下电极下方形成第二空间。相应地，本发明还提供了一种薄膜体声波谐振器、滤波器以及双工器。实施本发明可以有效降低器件的声波损失进而提高器件性能。
技术研发人员：唐兆云;赖志国;杨清华;赖亚明;王友良;王家友;魏涛;唐滨
受保护的技术使用者：贵州中科汉天下微电子有限公司
技术研发日：2019.07.29
技术公布日：2019.09.27