复合扩张模式谐振器的制造方法_6

文档序号:8417825阅读:来源:国知局
手表或小面积显示器。
[0105] 在一些实施方案中,输入装置48可经配置以允许例如用户控制显示装置40的操 作。输入装置48可包含例如QWERTY键盘或电话小键盘等小键盘、按钮、开关、摇臂、触敏屏、 与显示器阵列30集成的触敏屏,或压敏或热敏隔膜。麦克风46可经配置为显示装置40的 输入装置。在一些实施方案中,通过麦克风46的语音命令可用于控制显示装置40的操作。
[0106] 电力供应器50可包含多种能量存储装置。举例来说,电力供应器50可为可再充 电电池,例如,镍镉电池或锂离子电池。在使用可再充电电池的实施方案中,可再充电电池 可使用来自(例如)壁式插座或光伏装置或阵列的电力来充电。替代地,可再充电电池可 无线地来充电。电力供应器50还可为可再生能源、电容器或太阳能电池,包含塑料太阳能 电池或太阳能电池漆。电力供应器50还可经配置以从壁式插座接收电力。
[0107] 在一些实施方案中,控制可编程性驻留于可位于电子显示系统中的若干处的驱动 器控制器29中。在一些其它实施方案中,控制可编程性驻留在阵列驱动器22中。上文所 描述的优化可在任何数目个硬件及/或软件组件中及各种配置中实施。
[0108] 如本文所使用,涉及项目列表中的"至少一者"的短语指代那些项目的任何组合, 包含单成员。作为实例,"以下各者中的至少一者:a、b或c"意在涵盖:a、b、c、a-b、a-c、 b_c 和 a-b_c〇
[0109] 结合本文揭示的实施方案所描述的各种说明性逻辑、逻辑块、模块、电路及算法步 骤可实施为电子硬件、计算机软件,或两者的组合。硬件与软件的互换性已大体在功能性方 面加以描述,且在上文所描述的各种说明性组件、块、模块、电路及步骤中加以说明。此功能 性是以硬件来实施还是以软件来实施取决于特定应用和强加于整个系统的设计约束。
[0110] 结合本文中所揭示的方面描述的用以实施各种说明性逻辑、逻辑块、模块及电路 的硬件及数据处理设备可通过以下各者来实施或执行:通用单芯片或多芯片处理器、数字 信号处理器OSP)、专用集成电路(ASIC)、现场可编程门阵列(FPGA)或其它可编程逻辑装 置、离散门或晶体管逻辑、离散硬件组件,或其经设计以执行本文中所描述的功能的任何组 合。通用处理器可为微处理器或任何常规处理器、控制器、微控制器或状态机。处理器还可 实施为计算装置的组合,例如,DSP与微处理器的组合、多个微处理器的组合、一或多个微处 理器与DSP核心的联合,或任何其它此类配置。在一些实施方案中,可通过给定功能所特有 的电路来执行特定步骤及方法。
[0111] 在一或多个方面中,可以硬件、数字电子电路、计算机软件、固件(包含本说明书 中所揭示的结构和其结构等效物)或以其任何组合来实施所描述的功能。本说明书中所描 述的标的物的实施方案还可经实施为经编码于计算机存储媒体上以供数据处理设备执行 或用以控制数据处理设备的操作的一或多个计算机程序,即,计算机程序指令的一或多个 丰旲块。
[0112] 所属领域的技术人员可容易地显而易见对本发明中所描述的实施方案的各种修 改,且在不脱离本发明的精神或范围的情况下,本文中所定义的一般原理可适用于其它实 施方案。因此,权力要求书并不希望限于本文中所展示的实施方案,而应符合与本发明、本 文中所揭示的原理及新颖特征相一致的最广泛范围。另外,所属领域的技术人员将容易理 解,术语"上部"及"下部"有时是为了易于描述诸图而使用的,且指示对应于恰当地定向的 页上的图的定向的相对位置,且可不反映例如所实施的MOD显示元件的恰当定向。
[0113] 在本说明书中在单独实施方案的情况下描述的某些特征还可在单个实施方案中 组合地实施。相对地,在单个实施方案的上下文中描述的各种特征还可分别在多个实施方 案中实施或以任何合适的子组合来实施。此外,尽管上文可将特征描述为以某些组合起作 用且甚至最初如此主张,但在一些情况下,可将来自所主张的组合的一或多个特征从组合 中删除,且所主张的组合可针对子组合或子组合的变化。
[0114] 类似地,虽然在图式中按特定次序描绘操作,但所属领域的技术人员将容易认识 到,此类操作不需要按所展示的特定次序或按顺序次序执行,或应执行所有所说明的操作 以实现所要结果。另外,图式可以流程图形式示意性地描绘一个以上实例过程。然而,可将 未描绘的其它操作并入于示意性说明的实例过程中。举例来说,可在所说明的操作中的任 一者之前、之后、同时地或之间执行一或多个额外操作。在某些情况下,多任务处理及平行 处理可为有利的。此外,上文所描述的实施方案中的各种系统组件的分开不应被理解为在 所有实施方案中要求此分开,且应理解,所描述的程序组件和系统一般可一起集成在单个 软件产品中或包装到多个软件产品中。另外,其它实施方案在所附权利要求书的范围内。在 一些情况下,权利要求书中所叙述的动作可以不同次序来执行且仍实现所要结果。
【主权项】
1. 一种谐振器结构,其包括: 包含一或多个第一电极的第一导电层; 包含一或多个第二电极的第二导电层;及 布置于所述第一导电层与所述第二导电层之间的转换层,所述转换层具有沿着Z轴的 厚度、沿着X轴的宽度及沿着y轴的长度,所述转换层包含多个构成层,所述多个构成层包 含: 各自由具有压电系数的第一集合及硬度系数的第一集合的第一压电材料形成的一或 多个第一压电层的第一集合;及 各自由具有压电系数的第二集合及硬度系数的第二集合的第二压电材料形成的一或 多个第二压电层的第二集合;及 其中所述转换层经配置以响应于被提供到所述第一电极及所述第二电极中的一或多 者中的每一者的一或多个信号提供具有沿着所述Z轴的位移分量的所述转换层的至少第 一振动模式及具有沿着所述X轴及所述y轴的平面的位移分量的所述转换层的至少第二振 动模式。
2. 根据权利要求1所述的谐振器结构,其中所述构成层包含相对于沿着所述y及z轴 的所述转换层的中平面对称地布置的三个或三个以上构成层。
3. 根据权利要求1或2所述的谐振器结构,其中所述构成层沿着所述X轴周期性地交 替。
4. 根据权利要求3所述的谐振器结构,其中所述构成层被布置成"ABA"图案、"ABABA" 图案及"ABABABA"图案中的至少一者,其中"A"表示来自所述第一集合的第一压电层,且 "B"表示来自所述第二集合的第二压电层。
5. 根据权利要求1到3中任一权利要求所述的谐振器结构,其中所述构成层包含各自 由具有硬度系数的第三集合的第三材料形成的一或多个层的第三集合。
6. 根据前述权利要求中任一权利要求所述的谐振器结构,其中所述构成层包含在所述 构成层中的邻近者之间的一或多个间隙或空隙。
7. 根据前述权利要求中任一权利要求所述的谐振器结构,其中所述构成层中的每一者 具有沿着所述z轴实质上相同的高度及沿着所述y轴实质上相同的长度,且其中所述构成 层中的每一者的上表面与所述构成层中的其它者的所述上表面实质上水平对准。
8. 根据前述权利要求中任一权利要求所述的谐振器结构,其中所述第一压电材料为或 包含氮化铝AlN或氧化锌ZnO。
9. 根据前述权利要求中任一权利要求所述的谐振器结构,其中所述第二压电材料为或 包含锆钛酸铅PZT。
10. 根据前述权利要求中任一权利要求所述的谐振器结构,其中所述谐振器结构的谐 振频率至少部分由所述转换层的所述厚度、硬度系数的所述第一集合及硬度系数的所述第 二集合确定。
11. 根据前述权利要求中任一权利要求所述的谐振器结构,其中所述谐振器结构的谐 振频率至少部分由所述第一压电材料及所述第二压电材料中的至少一者的质量密度确定。
12. 根据前述权利要求中任一权利要求所述的谐振器结构,其中所述谐振器结构的谐 振频率至少部分由压电系数的所述第一集合及压电系数的所述第二集合中的至少一者确 定。
13.根据前述权利要求中任一权利要求所述的谐振器结构,其中可在所述谐振器结构 的制造期间通过选择性地调整所有所述第二压电层的组合宽度与所述转换层的整个宽度 的比率来调谐所述谐振器结构的谐振频率。
14.根据前述权利要求中任一权利要求所述的谐振器结构,其中所述转换层的机电耦 合由压电系数的所述第一集合及压电系数的所述第二集合中的至少一者确定。
15. -种装置,其包括: 根据权利要求1到14中的任一权利要求所述的谐振器结构的阵列,谐振器结构的所述 阵列包含一或多个谐振器结构的多个集合; 其中每一谐振器结构的所述转换层的厚度实质上等于谐振器结构的所述阵列中的所 有其它谐振器结构中的所述转换层的所述厚度; 其中谐振器结构的每一集合中的每一谐振器结构的所述转换层中的第一及第二压电 系数及第一及第二硬度系数的有效组合为与所述集合的其它谐振器结构中的组合实质上 相同的组合,且不同于谐振器结构的所述阵列中的所有其它集合的其它谐振器结构中的所 述组合。
16. -种装置,其包括: 包含一或多个第一电极的第一导电装置; 包含一或多个第二电极的第二导电装置;及 布置于所述第一导电装置与所述第二导电装置之间的转换装置,所述转换装置具有沿 着z轴的厚度、沿着X轴的宽度及沿着y轴的长度,所述转换装置包含两个或两个以上构成 层,所述两个或两个以上构成层包含: 各自由具有压电系数的第一集合及硬度系数的第一集合的第一压电材料形成的一或 多个第一压电装置的第一集合;及 各自由具有压电系数的第二集合及硬度系数的第二集合的第二压电材料形成的一或 多个第二压电装置的第二集合;及 其中所述转换装置包含用于响应于被提供到所述第一电极及所述第二电极中的一或 多者中的每一者的一或多个信号提供具有沿着所述z轴的位移分量的所述转换装置的至 少第一振动模式及具有沿着所述X轴及所述y轴的平面的位移分量的所述转换装置的至少 第二振动模式的装置。
17.根据权利要求16所述的装置,其中所述构成层包含相对于沿着所述y及z轴的所 述转换层的中平面对称地布置的三个或三个以上构成层。
18.根据权利要求16或17所述的装置,其中所述构成层沿着所述X轴周期性地交替。
19.根据权利要求16到18中任一权利要求所述的装置,其中所述构成层中的每一者具 有沿着所述z轴实质上相同的高度,且其中所述构成层中的每一者的上表面与所述构成层 中的其它者的所述上表面实质上水平对准。
20. 根据权利要求16到19中任一权利要求所述的装置,其中所述装置的谐振频率至少 部分由所述转换装置的所述厚度、硬度系数的所述第一集合及硬度系数的所述第二集合确 定。
21. 根据权利要求16到20中任一权利要求所述的装置,其中所述装置的谐振频率至少 部分由所述第一压电材料及所述第二压电材料中的至少一者的质量密度确定。
22. 根据权利要求16到21中任一权利要求所述的装置,其中所述装置的谐振频率至少 部分由压电系数的所述第一集合及压电系数的所述第二集合中的至少一者确定。
23. 根据权利要求16到22中任一权利要求所述的装置,其中可在所述装置的制造期间 通过选择性地调整所有所述第二压电装置的组合宽度与所述转换装置的整个宽度的比率 来调谐所述装置的谐振频率。
24. 根据权利要求16到23中任一权利要求所述的装置,其中所述转换装置的机电耦合 至少部分由压电系数的所述第一集合及压电系数的所述第二集合中的至少一者确定。
【专利摘要】本发明提供与声学谐振器相关的系统、方法及设备,所述声学谐振器包含用于使得能够选择性地调谐一或多个声学或机电性质的复合转换层(116,118)。在一方面,谐振器结构包含一或多个第一电极(142)、一或多个第二电极(144)及布置于所述第一及第二电极之间的转换层(116,118)。所述转换层包含多个构成层。在一些实施方案中,所述构成层包含一或多个第一压电层及一或多个第二压电层。所述转换层经配置以响应于被提供到所述第一及第二电极的信号提供具有沿着z轴的位移分量的所述转换层的至少第一振动模式及具有沿着x轴及y轴的平面的位移分量的所述转换层的至少第二振动模式。
【IPC分类】H03H9-02, H03H9-205, H03H9-24
【公开号】CN104737449
【申请号】CN201380054292
【发明人】左诚杰, 龙海·金, 章汉·霍比·云, 朴相俊, 菲利普·贾森·斯蒂法诺, 智升·罗, 罗伯特·保罗·米库尔卡, 马里奥·弗朗西斯科·韦莱兹, 其他发明人请求不公开姓名
【申请人】高通Mems科技公司
【公开日】2015年6月24日
【申请日】2013年8月26日
【公告号】EP2909933A1, US20140111064, WO2014065939A1
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