<gs)的条件的厚度t-化5mm)的梳齿M-的一个检查块 XBLi，将该检查块XBLi与在任意的绕组间距（绕组空隙）中具有满足PS《p+(gs《g+)的 条件的厚度t+(1mm)的梳齿M+的多个块……、Bu_i、Bu+i、……组合，组装实验用的梳齿部 件 114EX。
[0167] 而且，如图21B所示，使检查块XBLi的配置位置从空巧线圈104(1)、1〇4似的最前 头（No. 1)的绕组空隙到末尾（No. 31)的绕组空隙W2个空隙（2g)单位移位，重复进行与 上述相同的实验操作，实际测量在空巧线圈1〇4(1)、1〇4(2)的各2个绕组空隙（2g)中单独 插入第一梳齿M-时的移位的有无、移位方向和移位量。其结果，得到图22所示的数据库。 其中，由于在该实验中使用的空巧线圈1〇4(1)、1〇4(2)的绕组数为31t(圈），在最后（第 16次）的实验操作中仅在末尾的一个（No. 31)的绕组空隙中使用满足p-<ps(g-<gs)的条 件的图18所示的单一绕组空隙用的检查块XBLie。
[0168] 如图22所示，可知：能够对各N次的谐振频率（fwp/fsP)进行左移位调整和右移位 调整，在各个移位调整中有效区间A和非有效区间B离散地存在一个或多个。
[0169] 例如，如果着眼于4次并联和/或串联谐振频率，则可知：在空巧线圈 104 (1)、104 (2)上离散分布的4个区间[No. 1~句、[No. 9~M]、[No. 19~2引、[No. 29~ 31]，为能够通过在各区间内的任意的位置的绕组空隙g中插入第一梳齿M-而使谐振频率 (f4p/f4s)向负方向即低频率区域侧移位的左移位调整用的有效区间A&。此情况下，由该四 处的有效区间A化夹着的剩余的S个区间[No. 5~引、[No. 15~1引、[No. 23~2引为非 有效区间B&。
[0170] 如果考虑对四次谐振频率进行右移位调整，则与上述相反，离散的S个 区间[No. 5~引、[No. 15~1引、[No. 23~2引，为能够通过在该区间内的任意的位置的绕 组空隙g中插入第一梳齿M-而使谐振频率向正方向即高频率区域侧移位的右移 位调整用的有效区间Aak。而且，剩余的四个区间[No. 1~4]、[No. 9~14]、[No. 19~22]、 [No. 29~31]为非有效区间6姐。
[0171] 该样，关于四次谐振频率的左移位调整和右移位调整，根据图22的数据 库决定的有效区间A&、A4k的分布形态与图14B和图15B的分布形态分别相似。
[0172] 同样地，关于1次并联谐振频率fip的左移位调整和右移位调整，根据图22的数据 库决定的有效区间Ai^AiK的分布形态与图8B和图9B的分布形态相似。另外，关于2次并 联和/或串联谐振频率成p/%s)的左移位调整和右移位调整，根据图22的数据库决定的 有效区间A2L、A2K的分布形态与图10B和图11B的分布形态相似。关于3次并联和/或串 联谐振频率的左移位调整和右移位调整，根据图22的数据库决定的有效区间Asl、 A4C的分布形态与图12B和图13B的分布形态相似。另外，关于4次并联和/或串联谐振频 率的左移位调整和右移位调整，根据图22的数据库决定的有效区间A&、A4K的分 布形态与图14B和图15B的分布形态相似。
[0173]另外，本发明的发明人为了对于各N次的并联和/或串联谐振频率（fwp/fj获得 最大的左移位量或最大的右移位量，在全部的有效区间A胃内的全部的绕组空隙g中插 入第一梳齿M-，并且在全部的非有效区间町^、B胃内的全部的绕组空隙g中插入第二梳齿 M+，利用阻抗分析器取得一个滤波器102(1)的频率-阻抗特性。而且，关于各N次的并联 谐振频率fw的左移位量和右移位量，将从上述数据库（图22)基于重叠的原理（道理）得 到的推定值（合计值）Sfw与根据频率-阻抗特性的测定值得到的实测值Afw进行了对 比。其结果是，关于各N次的并联谐振频率fw，在左移位调整和右移位调整的任一者中在 推定值（合计值）5fw与实测值Afw之间没有发现大的差异。
[0174] 作为一例，图23A表示在为了使4次并联谐振频率f4p的左移位量最大化而进行 的实验中使用的梳齿部件114EX的块组装结构炬Li~化g)和梳齿M(M-、M+)的配置图案， 图23B表示将该梳齿部件114EX安装于空巧线圈104(1)、（2)而得到的滤波器102(1)的频 率-阻抗特性。
[0175]如图23A所示，在该实验中，在空巧线圈104(1)、1〇4(2)的31t(圈）的绕组空隙 No. 1~No. 31中的第一~第四绕组空隙No. 1~4(有效区间A化）中插入具有0. 7mm的厚 度t-的第一梳齿M-，在第五~第八绕组空隙No. 5~8 (非有效区间BJ中插入具有1. 3mm 的厚度t+的第二梳齿M+，在第九~第十四绕组空隙No. 9~14(有效区间A&)中插入具 有0. 7mm或0. 6mm的厚度t-的第一梳齿M-，在第十五~第十八绕组空隙No. 15~18 (非 有效区间BJ中插入具有1. 3mm的厚度t+的第二梳齿M+，在第十九~第二十二绕组空隙No. 19~22 (有效区间A化）中插入具有0. 7mm的厚度t-的第一梳齿M-，在第二十S~第 二十八绕组空隙No. 23~28 (非有效区间BJ中插入具有1. 3mm或1. 2mm的厚度t+的第 二梳齿1+，在第二十九~第^^^一绕组空隙No. 29~31 (有效区间AJ中插入具有0. 6mm 的厚度t-的第一梳齿M-。
[0176] 此情况下，参照上述数据库（图22)，在作为有效区间A&的四处的区间[No. 1~ 4]、[No. 9~14]、[No. 19~22]、[No. 29~31]内使各2个绕组空隙单位的左移位量全部 相加得到的合计值即推定值5f4P'如下所述。
[0177]f4P' = -(1. 0+0. 5+0. 7+2. 1+0. 3+1. 1+2. 1+0.化0. 6)MHz= -8. 6MHz
[017引另一方面，如图23B所示，在将图23A的梳齿部件114EX炬Li~化g)安装于空巧线 圈104(1)、（2)得到的滤波器102(1)的频率-阻抗特性中，4次并联谐振频率f4p从标准值 的81. 38MHz变化为了 72. 18MHz。即，左移位量的实测值Af4P'如下所述。
[0179]Af^p' = (72. 18-81. 38)MHz= -9. 2MHz
[0180] 该样，推定值5f4P'（-8. 6MHz)与实测值Af4P'（-9. 2MHz)之间没有大的差异。
[0181] 作为其它的例子，图24A表示在为了使4次并联谐振频率f4p的右移位量最大化而 进行的实验中使用的梳齿部件114EX的块组装结构炬Li~化g)和梳齿M(M-、M+)的配置图 案，图24B表示将梳齿部件114EX安装于空巧线圈104(1)、似得到的滤波器102(1)的频 率-阻抗特性。
[0182] 如图24A所示，在该实验中，在空巧线圈104(1)、1〇4(2)的31t(圈）的绕组空隙 No. 1~No. 31中，在第一~第四绕组空隙No. 1~4(非有效区间B4K)中插入具有1.2mm的 厚度t+的第二梳齿M+，在第五~第八绕组空隙No. 5~8 (有效区间A4K)中插入具有0. 6mm 的厚度t-的第一梳齿M-，在第九~第十四绕组空隙No. 9~14 (非有效区间B4C)中插入具 有1. 2mm的厚度t+的第二梳齿M+，在第十五~第十八绕组空隙No. 15~18 (有效区间A4K) 中插入具有0. 6mm的厚度t-的第一梳齿M-，在第十九~第二十二绕组空隙No. 19~22 (非 有效区间B4E)中插入具有1. 2mm的厚度t+的第二梳齿M+，在第二十S~第二十八绕组空 隙No. 23~28 (有效区间A4K)中插入具有0. 5mm或0. 6mm的厚度t-的第一梳齿M-，在第 二十九~第^^^一绕组空隙No. 29~31 (非有效区间B4K)中插入具有1. 3mm的厚度t+的 第二梳齿M+。
[0183]此情况下，参照上述数据库（图22)，在作为有效区间A4K的S个区间[No. 5~引、 [No. 15~1引、[No. 23~2引内将各2个绕组空隙单位的左移位量全部相加得到的合计值 即推定值5f4P"如下所述。
[0184]f4p" = (1. 4+2. 0+2. 0+1. 3+0. 1+2.化0. 8)MHz= 9. 8MHz
[0185] 另一方面，如图24B所示，将图24A的梳齿部件114EX炬Li~化g)安装于空巧线圈 104(1)、（2)得到的滤波器102(1)的频率-阻抗特性中，4次并联谐振频率f4p从标准值的 81. 38MHz变化为了 91. 5MHz。即，右移位量的实测值Af4P"如下所述。
[0186]Af4P"=巧 1. 5-81. 38)MHz= 10. 12MHz
[0187] 该样，推定值5f4P'巧.8MHz)与实测值Af4P'（10. 12MHz)之间没有大的差异。
[0188]进一步，作为对不同的谐振频率分别同时进行独立的移位调整的模式，进行了同 时进行2次并联谐振频率f2p的右移位调整和4次并联谐振频率f4P的左移位调整的验证实 验。
[0189] 如图25A所示，在该实验中，在空巧线圈104(1)、1〇4(2)的31t(turn，圈）的绕组 空隙No.1~No.31中，在第一~第八绕组空隙No.1~8(非有效区间B2K/A)中插入具有 1. 3mm的厚度t+的第二梳齿M+，在第九~第二十二绕组空隙No.9~22(有效区间A2K/化）中 插入具有0. 7mm的厚度t-的第一梳齿M-，在第二十^~第^^^一绕组空隙No.23~31(非 有效区间B2K/化）中插入具有1. 3mm或1mm的厚度t+的第二梳齿M+。
[0190]此情况下，参照上述数据库（图22)，在作为有效区间A2K/&的一处的区间[No. 9~ 22]内将和f4P的各2个绕组空隙单位的右移位量或左移位量全部相加得到的合计值即 推定值5f2P"、5f4P'如下所述。
[01W] 5 fsp" = (-0. 1+0.化0. 0+0. 7+0. 8+0. 7+0. 5)MHz = 2. 8MHz
[019引 5 f4p'二（-0. 7) + (-2. 1) + (-0. 3)+2. 0+1. 3+(-1. 1) + (-2. 1) MHz = -3. OMHz
[019引另一方面，如图25B所示，在将图25A的梳齿部件114EX炬Li~化g)安装于空巧 线圈104(1)、（2)得到的滤波器102(1)的频率-阻抗特性中，2次并联谐振频率f2p从标 准值的3. 98MHz变化为了36. 78MHz，4次并联谐振频率f4p从标准值的81. 38MHz变化为了 78.28MHz。即，2次并联谐振频率f2P的右移位量的实测值Af2P'和4次并联谐振频率f4P 的左移位量的实测值Af,/'如下所述。
[0194] A f^p' = (36. 78-33. 98) MHz = 2.8MHz
[01巧] A f4p" = (78. 28-81. 38)MHz = -3. IMHz
[0196] 该样，2次并联谐振频率f2p的右移位调整中推定值5f4p'（2.8MHz)与实 测值Af4P'（2. 8MHz)之间没有差异，4次并联谐振频率f4p的左移位调整中推定值 5f4P'（-3.OMHz)与实测值Af4P'（-3.IMHz)之间也几乎没有差异。
[0197] 此外，在该实施方式的等离子体处理装置中，例如，在等离子体生成用的第一高频 HF(也可称为"第一高频电力HF")的频率为80MHz时，通过左移位调整将4次并联谐振频 率f4P调整为稍低于80MHz的值（约79MHz)即可。或者，在第一高频HF的频率为60MHz时， 通过右移位调整将3次并联谐振频率f4P调整为稍低于60MHz的值（约59MHz)即可。同样 地，关于离子引入用的第二高频LF(也可称为"第二高频电力LF")的频率，能够通过左移 位调整或右移位调整将1次并联谐振频率fiP调整为最优的值。另外，对于第一高频HF或 第二高频LF的高次谐波，也能够通过左移位调整或右移位调整将任意的高次的并联谐振 频率fw调整为最适当的值。
[0198] 该样，通过从上述数据库（图22)对特定的一个或多个N次的谐振频率选择在有 效区间A内插入第一梳齿M-的绕组空隙g的个数和/或组合，能够分别在一定范围内（最 大值W下）任意地加减或调整各N次的谐振频率的移位方向和移位量。
[0199] 从另外的角度看，通过将第一梳齿M-和第二梳齿M+W-定的分布图案混合存在 的梳齿部件114安装于实际产品的空巧线圈104(1)、（2)上，能够得到特定的一个或多个 N次的谐振频率必定在设定值附近出现的再现性高且无个体差异的所