顶部发射型有机电致发光显示装置及其制造方法
【技术领域】
[0001 ]本发明设及具有辅助电极的顶部发射型有机电致发光显示装置。
【背景技术】
[0002] 有机电致发光元件的如下优点受到关注：因自发色而可视性高；与液晶显示装置 不同，为全固态显示器，因而耐冲击性优异；响应速度快；因溫度变化导致的影响少W及视 场角宽广等。需要说明的是，下文有时将有机电致发光缩写为有机化。
[0003] 有机化元件的构成W在阳极与阴极之间夹持有机化层的层叠结构为基本。在具有 运样的有机化元件的有机化显示装置的驱动方式中存在无源矩阵驱动和有源矩阵驱动，但 在制造大型显示器时，从能够利用低电压进行驱动的观点出发，有源矩阵驱动是有利的。需 要说明的是，有源矩阵驱动是指在形成了有机化元件的基板上形成TFT等电路并通过上述 TFT等电路进行驱动的方式。
[0004] 在运样的有机化显示装置中存在有从形成了有机化元件的基板侧提取光的底部 发射型和从与形成了有机化元件的基板相反侧提取光的顶部发射型。在此，有源矩阵驱动 的有机化显示装置的情况下，对于底部发射型而言存在有如下问题:开口率因在作为光的 提取面的基板上形成的TFT等电路而受到限制，光提取效率降低。与此相对，对于顶部发射 型而言，由于从与基板相反侧的面提取光，因此与底部发射型相比可W得到优异的光提取 效率。需要说明的是，在顶部发射型的情况下，使用透明电极层作为成为光提取面的一侧的 电极层。
[0005] 然而，与由AU化等金属构成的电极层相比，一般的透明电极层的电阻较大。因此， 对于具有透明电极层的有机显示装置而言存在如下问题：因透明电极层的电阻而产生电 压下降，结果是有机化层的亮度的均匀性下降、即产生所谓的亮度不均。另外，透明电极层 的面积越大则其电阻越大，因此上述亮度不均的问题在制造大型显示器的情况下变得明 思O
[0006] 对于上述课题，例如如专利文献1所述，已知有如下方法:形成电阻值低的辅助电 极，使其与透明电极层电连接由此来抑制电压下降。在此，辅助电极通常是成膜出金属层后 通过湿法工艺实施蚀刻处理而形成为图案状。因此，对于顶部发射型有机显示装置而言， 在形成有机EL层后形成辅助电极的情况下，存在有机EL层因在形成辅助电极时所使用的蚀 刻液而被侵蚀运样的问题。因此，如专利文献2~5所述，已知有在形成有机化层之前形成辅 助电极的方法。
[0007] 但是，如果在形成有机化层之前形成辅助电极，则在整个面上形成有机化层的情 况下或者在整个面上形成构成有机KJl的至少一层有机层的情况下，变成在辅助电极上形 成有机化层或至少一层有机层。因此，存在如下问题:辅助电极与透明电极层的电连接会因 辅助电极上的有机化层或有机层而受到妨碍。
[000引因此，在专利文献2~3中提出了如下方法:通过激光除去辅助电极上的有机化层， 制作出辅助电极与透明电极层电连接的有机化显示装置。但是，运种情况下存在如下问题： 通过激光除去的有机化层飞散而污染有机化显示装置中的像素区域，显示特性下降。
[0009] 另外，作为解决上述问题的方法，例如在专利文献4中提出如下方法:在利用激光 除去有机化层之前，在被有机化层包覆的辅助电极整个面上形成具有透光性的第一电极， 然后隔着第一电极通过激光除去有机化层，最后形成第二电极。但是，运种情况下，虽然能 够抑制上述显示特性下降，但由于形成第一电极和第二电极作为透明电极层，因此存在制 造工序增加运样的问题。
[0010] 现有技术文献
[0011] 专利文献
[0012] 专利文献1:日本专利第4434411号 [OOU] 专利文献2:日本专利第4959119号
[0014] 专利文献3:日本专利第4545780号
[0015] 专利文献4:日本特表2010-538440号公报
[0016] 专利文献5:日本专利第4340982号
【发明内容】
[0017]发明所要解决的问题
[0018] 另外，在专利文献5中，作为防止为了形成连接辅助电极与透明电极层的接触部而 利用激光除去的有机层污染显示装置的方法，公开了如下所述的有机化显示装置的制造方 法。即为如下所述的方法:如图6(a)所示，在基板20上形成像素电极30和辅助电极40,在上 述像素电极30与上述辅助电极40之间形成绝缘层50后，如图6(b)所示，形成有机EL层60从 而形成有机化层侧基板100'。接着，如图6(c)所示，在减压下，使盖材80与有机化层侧基板 100'相对置，将盖材80W与绝缘层50的顶部接触的方式配置，使有机化层侧基板100'和盖 材80之间的空间V为减压状态。然后，对有机化层侧基板100'和盖材80的外周的空间加压， 由此使盖材80与有机化层侧基板100'密合。接着，利用激光L除去辅助电极40上的有机化层 60,如图6(d)所示，将盖材80剥离。最后，如图6(e)所示，在有机化层侧基板上形成透明电极 层70,由此制作出辅助电极40与透明电极层70通过接触部电连接的有机化显示装置100。使 用上述方法来制造有机化显示装置，由此能够抑制通过照射激光而除去的有机化层的粉尘 等向像素区域飞散，能够防止显示特性下降。
[0019] 因此，本发明人对使用上述方法制造的有机化显示装置进行了各种研究，着眼于 下述方面。即，本发明人着眼于：绝缘层至少与像素电极重叠地形成，因此对于照射激光而 形成接触部的区域与相邻的像素电极之间形成的绝缘层的顶部而言，与像素电极重叠的区 域的顶部和与像素电极不重叠的区域的顶部之间产生高度差。其结果是发现了如下新课 题:绝缘层的高度较高的区域少时，如图6(C)所例示，在减压下使盖材80与有机化层侧基板 100 '相对置，使有机化层侧基板100 '和盖材80之间的空间V为减压状态时，有机化层侧基板 100 '与盖材80接触的区域也减少，使有机化层侧基板100 '与盖材80之间的空间为减压状态 后，难W使有机化层侧基板与盖材充分密合。需要说明的是，如果难W使有机化层侧基板与 盖材充分密合，则如图6(c)所例示照射激光L形成接触部时，产生如下问题:不能充分防止 利用照射激光除去的有机化层60的粉尘等向像素区域飞散，不能抑制显示特性下降。
[0020] 本发明是鉴于上述实际情况而完成的，其目的在于，为了形成接触部，使盖材与在 形成接触部的区域和与上述区域相邻的像素电极之间的绝缘层接触，使在基板上形成有像 素电极、辅助电极、绝缘层和有机化层的有机化层侧基板与盖材之间的空间为减压状态，接 着调节盖材的与有机化层型基板相反侧的空间的压力从而使有机化层侧基板和盖材密合， 然后，照射激光，除去从绝缘层的开口部露出的覆盖上述辅助电极的上述有机层，此时可充 分防止利用激光除去的有机层向像素区域飞散，可抑制显示特性下降。
[0021] 用于解决问题的手段
[0022] 为了实现上述目的，本发明提供一种顶部发射型有机化显示装置，其特征在于，其 具有:基板、在上述基板上形成的多个像素电极、在上述像素电极之间形成的辅助电极、W 覆盖上述像素电极的边缘部分的方式在相邻的上述像素电极之间形成的且具有开口部使 得上述辅助电极露出的绝缘层、在上述像素电极上形成且由多个有机层构成的至少具有发 光层的有机KJ1、在从上述绝缘层的开口部露出的上述辅助电极上形成的至少一层的上述 有机层、在从上述绝缘层的开口部露出的上述辅助电极上形成的作为上述有机层的开口部 的接触部、和在上述有机EL层及上述接触部上形成的透明电极层，将在上述接触部和与上 述接触部相邻的上述像素电极之间的上述绝缘层与上述像素电极重叠的距离设为a、并且 将在上述接触部和与上述接触部相邻的上述像素电极之间的上述绝缘层与上述辅助电极 重叠的距离设为b时，a和b的至少一个为上，上述透明电极层通过上述接触部而与上 述辅助电极电连接。
[0023] 根据本发明，通过使上述a和b的至少一个为2皿W上，由此为了形成上述接触部而 使盖材与在接触部形成区域和与上述接触部形成区域相邻的上述像素电极之间的上述绝 缘层接触时，能够充分确保上述绝缘层中与盖材密合的区域，能够提高密合性。因此，使在 基板上形成有像素电极、辅助电极、绝缘层和有机化层的上述有机化层侧基板与上述盖材 之间的空间为减压状态后使有机化层侧基板与盖材密合，照射激光，从而除去从上述绝缘 层的开口部露出的覆盖上述辅助电极的上述有机层，此时能够充分地防止利用激光除去的 有机层向像素区域飞散，能够抑制显示特性下降。
[0024] 在本发明中，将在上述接触部和与上述接触部相邻的上述像素电极之间的上述绝 缘层的高度设为X、将除上述接触部和与上述接触部相邻的上述像素电极之间W外的上述 绝缘层的高度中最高的高度设为y时，优选y-x ^ 0.05WI1。通过使高度X与高度y之差为0.05ii mW下，为了形成上述接触部，使盖材与在形成接触部的区域和与上述区域相邻的上述像素 电极之间的上述绝缘层接触，使在基板上形成有像素电极、辅助电极、绝缘层和有机EL层的 上述有机化层侧基板与上述盖材之间的空间为减压状态从而使有机化层侧基板与盖材密 合，此时能够使在接触部和与接触部相邻的像素电极之间的绝缘层与盖材充分密合。因此， 能够更有效地防止在形成接触部时利用激光除去的有机层向像素区域飞散，能够抑制显示 特性下降。
[0025] 本发明提供一种顶部发射型有机化显示装置的制造方法，其制造如下所述的顶部 发射型有机化显示装置，该顶部发射型有机化显示装置具有:基板、在上述基板上形成的多 个像素电极、在上述像素电极之间形成的辅助电极、W覆盖上述像素电极的边缘部分的方 式在相邻的上述像素电极之间形成的且具有开口部使得上述辅助电极露出的绝缘层、在上 述像素电极上形成且由多个有机层构成的至少具有发光层的有机KJ1、在从上述绝缘层的 开口部露出的上述辅助电极上形成的至少一层的上述有机层、在从上述绝缘层的开口部露 出的上述辅助电极上形成的作为上述有机层的开口部的接触部、W及在上述有机KJl及上 述接触部上形成的透明电极层，将在上述接触部和与上述接触部相邻的上述像素电极之间 的上述绝缘层与上述像素电极重叠的距离设为a、并且将在上述接触部和与上述接触部相 邻的上述像素电极之间的上述绝缘层与上述辅助电极重叠的距离设为b时，a和b的至少一 个为化mW上，上述透明电极层通过上述接触部而与上述辅助电极电连接，该制造方法的特 征在于，其具有:有机化层侧基板准备工序，准备具有上述基板、上述像素电极、上述辅助电 极、上述绝缘层和上述有机KJl并且在上述辅助电极上的整个面上形成有至少一层的上述 有机层的有机化层侧基板;配置工序，在第一压力下，使盖材与在上述有机化层侧基板准备 工序中得到的上述有机化层侧基板相对置，上述盖材W隔着上述有机层与上述绝缘层的顶 部相接触的方式配置于上述绝缘层的顶部;密合工序，将上述盖材的与上述有机EL层侧基 板相反侧的空间调节成比上述第一压力高的第二压力从而使上述有机化层侧基板和上述 盖材密合;和接触部形成工序，隔着上述盖材照射激光，除去覆盖从上述绝缘层的开口部露 出的上述辅助电极的上述有机层从而形成上述接触部。
[00%]本发明通过使上述a和b的至少一个为化mW上，在密合工序时能够充分地确保上 述绝缘层中与盖材密合的区域，能够提高密合性。由此，可W得到如下顶部发射型有机化显 示装置，其能够更有效地防止在上述绝缘层中在接触部形成工序时利用激光除去的有机层 向像素区域飞散，能够抑制显示特性下降。
[0027] 发明效果
[0028] 在本发明中发挥如下效果:为了形成接触部，在第一压力下，使盖材与在形成接触 部的区域和与上述区域相邻的像素电极之间的绝缘层接触，使在基板上形成有像素电极、 辅助电极、绝缘层和有机化层的有机化层侧基板与盖材之间的空间为减压状态，接着将盖 材的与有机化层侧基板相反侧的空间调节成第二压力从而使有机化层侧基板和盖材密合， 然后，照射激光，除去覆盖从绝缘层的开口部露出的上述辅助电极的上述有机层，此时能够 充分地防止利用激光除去的有机层向像素区域飞散，能够抑制显示特性下降。
[0029] 在此，对于上述"第一压力"和上述"第二压力"而言，只要第一压力为比第二压力 低的压力就没有特别限定。另外，将在有机化层侧基板的表面配置有盖材时的上述有机化 层侧基板和上述盖材之间的空间的压力调节为第一压力，进一步将上述盖材的与上述有机 化层侧基板相反侧的空间的压力调节为第二压力时，只要是通过上述有机化层侧基板和上 述盖材之间的压力与上述盖材的与上述有机化层侧基板相反侧的空间的压力的差压能够 使上述有机化层侧基板和上述盖材密合的程度的压力，就没有特别限定。需要说明的是，通 常，上述"第一压力"是比常压低的压力，上述"第二压力"是比上述"第一压力"高的压力。另 夕h对于上述"第一压方'，在后述的"B.有机化显示装置的制造方法"的项中有记载，因此省 略此处的说明。
【附图说明】
[0030] 图1是表示本发明的顶部发射型有机化显示装置的一个示例的示意图。
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