一种MEMS麦克风的封装结构的制作方法

文档序号:13983056阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种MEMS麦克风的封装结构,包括由基板、壳体围成的外部封装,以及设置在基板上的麦克风芯片、ASIC芯片;在所述基板上设置有与麦克风芯片对应设置的声孔;所述麦克风芯片包括衬底以及设置在衬底上的由振膜、背极构成的电容器结构;在所述振膜的表面还设置有不透光层或反光层。本实用新型的封装结构,通过在振膜的表面形成反光层或者不透光层,由此可阻碍外界的光线穿过较薄的振膜进入到外部封装的内部,改善了产品的光噪声问题。

技术研发人员:刘波
受保护的技术使用者:歌尔科技有限公司
文档号码:201720952095
技术研发日:2017.08.01
技术公布日:2018.03.20

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