数据传送方法和装置的制造方法

文档序号:8433527阅读:318来源:国知局
数据传送方法和装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及数据处理领域,具体而言,涉及一种数据传送方法和装置。
【背景技术】
[0002]在PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposit1n,等离子体增强化学气相沉积法)设备中执行复杂的工艺时,会分为多个工艺步骤。每个工艺步骤中涉及多种工艺参数及每种工艺参数的多个分段变化值,其中,每个分段变化值都包括起始值、终止值和持续时间三部分数据。例如,某个工艺步骤中包含的多种工艺参数为工艺的温度、压力、电源的功率和各种气体的流量以及上述每个工艺参数的多个分段变化值,上述工艺步骤中的工艺数据需要由上位机(工艺控制系统)传送至下位机(工艺执行系统)。
[0003]现有技术中PECVD设备中的数据传送方法是工艺步骤中的工艺参数一个分段变化值中的一部分数据(例如:起始值)占用上位机驱动程序中的一个变量,上位机将变量一个一个的传送至下位机。由于每次驱动程序都是一个变量对应一个下位机的地址逐个寻址逐个写入,所以对于一个工艺步骤而言,需要占用较长时间来进行工艺参数的传递,从而执行工艺所需时间较长,导致实时性差。并且,需将要传送的工艺参数名称及其对应在下位机中的地址逐一列在驱动程序的通讯驱动中,不便于工艺的保密性。
[0004]针对现有技术中PECVD设备中数据传送时间较长的问题,目前尚未提出有效的解决方案。

【发明内容】

[0005]本发明的主要目的在于提供一种数据传送方法和装置,以解决现有技术中PECVD设备中数据传送时间较长的问题。
[0006]为了实现上述目的,根据本发明实施例的一个方面,提供了一种数据传送方法。
[0007]根据本发明的数据传送方法包括:获取被传送数据的总字节数,其中,所述总字节数为所述被传送数据中包含的目标参数的总字节数;根据所述总字节数,建立字节型数组;根据所述目标参数,对所述字节型数组的数组元素赋值;以及定义目标变量,将所述目标变量发送至目的端,其中,所述目标变量的赋值为赋值后的所述字节型数组。
[0008]进一步地,所述被传送数据为工艺步骤,所述目标参数为所述工艺步骤中包含的工艺参数,其中,获取被传送数据的总字节数包括:获取所述工艺步骤中的所述工艺参数;遍历全部所述工艺参数,获取每个所述工艺参数包含的参数分段变化值;以及根据所述工艺参数的数据类型和每个所述工艺参数包含的所述参数分段变化值的数据类型确定所述工艺步骤的总字节数。
[0009]进一步地,根据所述工艺参数的数据类型和每个所述工艺参数的所述参数分段变化值的数据类型确定所述工艺步骤的总字节数包括:统计所述工艺步骤中包含的不同数据类型的种类以及每种所述数据类型的数量;以及根据每种数据类型的数量和所述数据类型所占的字节数确定所述工艺步骤的总字节数。
[0010]进一步地,在获取工艺步骤的总字节数之前,所述数据传送方法还包括:接收所述工艺参数添加指令;以及根据所述添加指令确定所述工艺步骤中包含的工艺参数以及每个所述工艺参数包含的所述参数分段变化值。
[0011]为了实现上述目的,根据本发明实施例的另一方面,提供了一种数据传送装置。
[0012]根据本发明的数据传送装置包括:获取单元,用于获取被传送数据的总字节数,其中,所述总字节数为所述被传送数据中包含的目标参数的总字节数;建立单元,用于根据所述总字节数,建立字节型数组;赋值单元,用于根据所述目标参数,对所述字节型数组的数组元素赋值;以及发送单元,用于定义目标变量,将所述目标变量发送至目的端,其中,所述目标变量的赋值为赋值后的所述字节型数组。
[0013]进一步地,所述被传送数据为工艺步骤,所述目标参数为所述工艺步骤中包含的工艺参数,其中,所述获取单元包括:第一获取模块,用于获取所述工艺步骤中的所述工艺参数;第二获取模块,用于遍历全部所述工艺参数,获取每个所述工艺参数包含的参数分段变化值;以及确定模块,用于根据所述工艺参数的数据类型和每个所述工艺参数包含的所述参数分段变化值的数据类型确定所述工艺步骤的总字节数。
[0014]进一步地,所述确定模块包括:统计子模块,用于统计所述工艺步骤中包含的不同数据类型的种类以及每种所述数据类型的数量;以及确定子模块,用于根据每种数据类型的数量和所述数据类型所占的字节数确定所述工艺步骤的总字节数。
[0015]进一步地,所述数据传送装置还包括:接收单元,用于在获取工艺步骤的总字节数之前,接收所述工艺参数添加指令;以及确定单元,用于根据所述添加指令确定所述工艺步骤中包含的工艺参数以及每个所述工艺参数包含的所述参数分段变化值。
[0016]进一步地,所述被传送数据为工艺步骤,所述目标参数为所述工艺步骤中包含的工艺参数,其中,在根据所述总字节数,建立字节型数组之后,所述数据传送装置还包括:拆解单元,用于将所述工艺参数按照预设格式进行拆解,以得到每个所述工艺参数在所述字节型数组中的排放位置;所述赋值单元包括赋值模块,用于根据所述工艺参数,对每个所述工艺参数在所述字节型数组中的所述排放位置对应的所述数组元素进行赋值。
[0017]进一步地,所述数据传送装置还包括:还原单元,用于在定义目标变量,将所述目标变量发送至目的端之后,根据所述预设格式对接收到的所述字节型数组进行还原。
[0018]根据发明实施例,采用获取被传送数据的总字节数,其中,总字节数为被传送数据中包含的目标参数的总字节数;根据总字节数,建立字节型数组;根据目标参数,对字节型数组的数组元素赋值;以及定义目标变量,将目标变量发送至目的端,其中,目标变量的赋值为赋值后的字节型数组。通过获取被传送数据的总字节数,实现了字节型数组中数组元素数量的确定,进而建立关于被传送数据的字节型数组,再根据被传送数据中的参数对数组中的数组元素进行赋值,将赋值后的数组作为一个变量的变量赋值传送至目的端。由于向目的端传送数据时只占用一个变量,所以只需寻址一次,并且被传送的数据在下位机中的地址连续,所以数据传送速度极快,解决了现有技术中PECVD设备中数据传送时间较长的问题,进而达到了缩短PECVD设备中传送数据的时间,并且提高实时性的效果。
【附图说明】
[0019]构成本申请的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
[0020]图1是根据本发明实施例的数据传送方法的流程图;以及
[0021]图2是根据本发明实施例的数据传送装置的示意图。
【具体实施方式】
[0022]为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本发明保护的范围。
[0023]需要说明的是,本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象,而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换,以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外,术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形,意图在于覆盖不排他的包含,例如,包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元,而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0024]实施例1
[0025]根据本发明实施例,提供了一种可以用于实施本申请装置实施例的方法实施例,需要说明的是,在附图的流程图示出的步骤可以在诸如一组计算机可执行指令的计算机系统中执行,并且,虽然在流程图中示出了逻辑顺序,但是在某些情况下,可以以不同于此处的顺序执行所示出或描述的步骤。
[0026]根据本发明实施例,提供了一种数据传送方法,其中,本发明实施例所提供的数据传送方法应用于PECVD设备。图1是根据本发明实施例的数据传送方法的流程图,如图1所示,该方法包括如下的步骤S102至步骤S108:
[0027]S102:获取被传送数据的总字节数,其中,总字节数为被传送数据中包含的目标参数的总字节数。具体地,被传送数据中包含的目标参数的数量可以为一个,也可以为多个,具体根据被传送数据确定,被传送数据的总字节数等于该被传送数据中的全部目标参数的字节数之和。
[0028]在应用PECVD设备进行复杂的工艺时,例如:复杂的工艺为制备非晶硅薄膜电池。制备
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