专利名称：一种用于屏蔽的金属盒盖连接装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及微电子技术领域，具体涉及用于屏蔽的金属盒盖连接装置。
背景技术：
在现代电子设备中，经常需要用金属盒来屏蔽电磁场，以免特定电路影响其它设备或者被其它设备影响。一般来说，金属屏蔽盒都需要留有可以打开的窗口以便对内部电路进行检修。此窗口盖子与屏蔽盒的连接一般情况下采用螺丝。然而在某些场合，这种螺丝连接是不合适的，比如说在需要频繁拆卸的场合以及对洁净度要求很高的场合。
在半导体刻蚀设备中，需要使用通有高频电流的线圈，此线圈必使用金属盒进行屏蔽，且屏蔽盒上要留有维修用的窗口，此窗口在维修时打开，正常工作时关闭。现有的线圈须金属盒侧面板(窗口盖子)和线圈盒之间使用普通螺钉连接。这种连接存在以下几点不足1.因为线圈盒侧面板需要经常拆卸，所以螺丝用过一段时间后就会滑丝；2.固定螺丝多，拆卸费时费力；3.因为应力关系，铝板总有一定程度的翘曲，即使拧上螺丝也仍然有缝隙存在，导致电磁波外泄；4.螺丝在经常装卸中会产生金属颗粒，污染超净间环境。
发明内容
(一)要解决的技术问题本发明的目的是提供一种拆卸方便、连接牢靠、密封性能好的用于屏蔽的金属盒盖连接装置。
(二)技术方案为了达到上述目的，本发明采取以下方案
本发明的一种用于屏蔽的金属盒盖连接装置，包括金属盒、金属盒窗口、金属盒盖，其中，在金属盒窗口与金属盒盖之间设有粘扣。
其中，所述粘扣包括圈状金属丝和钩状金属丝，其中，圈状金属丝和钩状金属丝分别固定在金属盒窗口的周边和金属盒盖的周边。
其中，所述圈状金属丝和钩状金属丝采用不锈钢丝。
其中，所述圈状金属丝和钩状金属丝分别烧结或粘结在金属盒窗口的周边和金属盒盖的周边。
其中，所述粘扣包括磁性材料和金属屏蔽条，其中，磁性材料分别装在金属盒窗口的周边和金属盒盖的周边，金属屏蔽条装在金属盒窗口的周边。
其中，所述磁性材料和金属屏蔽条交替安装在金属盒窗口的周边。
其中，所述磁性材料包括钴或镍。
其中，所述金属屏蔽条由铝或铜制成。
其中，所述金属屏蔽条具有齿状弹性垫。
(三)有益效果本发明与已有技术相比，由于采用以上方案，具有拆卸方便、连接牢靠；由于保证了金属盒的密闭性，因此，保证了电磁波不会外泄；由于本发明不会产生金属颗粒，因此，不会污染超净间环境。
图1是本发明圈状金属丝固定在金属盒窗口周边的结构示意图；图2是本发明钩状金属丝固定在金属盒窗口周边的结构示意图；图3是本发明圈状金属丝的示意图；图4是本发明钩状金属丝的示意图；图5是本发明圈状金属丝与钩状金属丝连接的金属盒结构示意图；图6是本发明圈状金属丝与钩状金属丝连接的金属盒盖示意图；
图7是本发明磁性材料金属盒结构示意图；图8是本发明磁性材料金属盒盖的示意图；图9是图8的左视图；图10是本发明金属屏蔽条三角形齿状弹性垫结构示意图；图11是本发明金属屏蔽条方形齿状弹性垫结构示意图；图12是本发明齿状弹性垫结构示意图。
图中1、圈状金属丝；2、钩状金属丝；3、金属盒；4、把手；5、金属屏蔽条；6、金属盒盖；7、磁性材料；8、金属盒窗口；9、金属盒盖。
具体实施例方式
以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
实施例1粘扣包括圈状金属丝1和钩状金属丝2，其材料为具有良好弹性的金属丝，如不锈钢丝；用烧结或粘结本别固定在金属盒窗口8的周边和金属盒盖9的周边；使用时将圈状金属丝1和钩状金属丝2粘合，分离时只用简单地撕下即可，就像使用普通粘扣那样方便。所不同的是，金属化粘扣可以屏蔽电磁波。
实施例2粘扣包括磁性材料7和金属屏蔽条5，其中，磁性材料7和金属屏蔽条5交替安装在金属盒窗口8的周边。金属盒窗口8位于金属盒3侧面。金属盒盖6周边安装磁性材料钴、镍或钢条，并有方便拆卸的把手4。金属屏蔽条5由具有弹性且导电性能良好的金属，如铝、铜制成，金属屏蔽条5具有齿状弹性垫，在金属盒盖9与金属盒窗口8结合时被压下，从而保证两部分间良好的电接触。齿状弹性垫上的齿能够是三角形、方形或其它几何形状。
权利要求
1.一种用于屏蔽的金属盒盖连接装置，包括金属盒(3)、金属盒窗口(8)、金属盒盖(9)，其特征在于在金属盒窗口(8)与金属盒盖(9)之间设有粘扣。
2.如权利要求1所述的一种用于屏蔽的金属盒盖连接装置，其特征在于所述粘扣包括圈状金属丝(1)和钩状金属丝(2)，其中，圈状金属丝(1)和钩状金属丝(2)分别固定在金属盒窗口(8)的周边和金属盒盖(9)的周边。
3.如权利要求2所述的一种用于屏蔽的金属盒盖连接装置，其特征在于所述圈状金属丝(1)和钩状金属丝(2)采用不锈钢丝。
4.如权利要求2所述的一种用于屏蔽的金属盒盖连接装置，其特征在于所述圈状金属丝(1)和钩状金属丝(2)分别烧结或粘结在金属盒窗口(8)的周边和金属盒盖(9)的周边。
5.如权利要求1所述的一种用于屏蔽的金属盒盖连接装置，其特征在于所述粘扣包括磁性材料(7)和金属屏蔽条(5)，其中，磁性材料分别装在金属盒窗口的周边和金属盒盖的周边，金属屏蔽条(5)装在金属盒窗口(8)的周边。
6.如权利要求5所述的一种用于屏蔽的金属盒盖连接装置，其特征在于所述磁性材料(7)和金属屏蔽条(5)交替安装在金属盒窗口(8)的周边。
7.如权利要求5所述的一种用于屏蔽的金属盒盖连接装置，其特征在于所述磁性材料包括钴或镍。
8.如权利要求5所述的一种用于屏蔽的金属盒盖连接装置，其特征在于所述金属屏蔽条(5)由铝或铜制成。
9.如权利要求5所述的一种用于屏蔽的金属盒盖连接装置，其特征在于所述金属屏蔽条(5)具有齿状弹性垫。
全文摘要
本发明涉及微电子技术领域，具体涉及用于屏蔽的金属盒盖连接装置。本发明公开的一种用于屏蔽的金属盒盖连接装置，包括金属盒、金属盒窗口、金属盒盖，其中，在金属盒窗口与金属盒盖之间设有粘扣。本发明具有拆卸方便、连接牢靠；能够保证电磁波不会外泄，不会污染超净间环境。
文档编号G12B17/02GK1852652SQ20051012628
公开日2006年10月25日 申请日期2005年12月2日 优先权日2005年12月2日
发明者申浩南 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司