专利名称：金属光罩盒及其过滤装置的制作方法
技术领域：
本实用新型是有关于一种光罩盒，特别是有关于一种金属光罩盒及其 过滤装置。
背景技术：
近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术(Optical Lithography) 扮演重要的角色，只要是关于图形(pattem)定义，皆需仰赖光学微影技术。 光学微影技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状 可透光的光罩(photomask)。利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅晶圆 (silicon wafer)可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒(如 微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩 必须保持绝对洁净，因此在一般的晶圆制备过程中，都提供无尘室(clean room)的环境以避免空气中的颗粒污染。然而，目前的无尘室也无法达到 绝对无尘状态。因此，现代的半导体制备过程皆利用抗污染的光罩盒(retide pod)进行 光罩的保存与运输，以使光罩保持洁净。光罩盒是在半导体制备过程中用 于存放光罩，以利光罩在机台之间的搬运与传送，并隔绝光罩与大气的接 触，避免光罩被杂质污染而产生变化。因此，在先进的半导体厂中，通常 会要求光罩传送盒的洁净度要符合机械标准接口 (Standard MechanicalInterface; SMIF)，也就是说保持洁净度在Class 1以下。故，在光罩盒中 充入气体便是目前解决的手段之一。然而，为了进一步提升产品的良率及降低制造的成本，除了达到洁净 度的标准要求的外，还要克服因为外来气体对于光罩的污染。这样的外来 气体除了大气以外，还有两个来源，其一是源自于高分子材料所制成的光 罩传送盒本身所释出的气体(outgasing)，其二是源自于残留在光罩表面的 微量化学溶液所产生的挥发气体。这些非期望气体会对光罩的表面产生雾 化作用，使得光罩无法再使用而必须报废的窘境，使得制造成本增加。在 光罩传送盒中充入气体是目前解决光罩雾化的手段之一，其中如何保持充 入气体的洁净度，是一个重要的议题。再者，由于公知的光罩盒多以高分子材质所构成，此种高分子材质具 有成型容易、价格低廉以及可形成透明体的优点。此种绝缘电阻高的高分 子材质容易因为磨擦或拨离而产生静电，尤其是无尘室的作业环境需要保 持较低湿度，使高分子材质的光罩盒非常容易产生与累积电荷。光罩表面 的静电容易吸引空气中的污染微粒，更甚者还会造成光罩上的金属线出现 静电放电(electrostatic discharge, ESD)效应。静电放电所产生的瞬间电流 会引起电花(spark)或电弧(arc)，在电花与电弧发生的同时，强大的电流伴 随着高温，导致金属线的氧化与溶解，因而改变了光罩的图案。目前针对静电放电所解决的方法有许多，首先是改善作业环境，使空 气中维持适当的湿度、作业人员穿着具接地效应的衣物或使用离子扇消除 环境中的静电。但是改变作业环境的具有许多无法预测的变因，没有办法 完全解决静电对光罩的伤害。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种金属光罩盒及其过滤装置，以对公知 技术加以改良。为上实现上述目的，本实用新型提供金属光罩盒，其包含 一金属上盖体；一金属下盖体用以与该金属上盖体组合，形成一内部空间可容纳光罩；至少一通孔，设于该金属上盖体或该金属下盖体的侧边，用以连通该 内部空间以及光罩盒的外部空间；以及 至少一过滤装置覆盖该通孔。 所述的金属光罩盒，其中该过滤装置包含一弹性套件，用以卡设于该通孔，该弹性套件具有一第一开口对应于 该通孑L;一夹持件，卡设于该弹性套件中，其中该夹持件具有至少一孔洞，该 孔洞设于对应于该弹性套件的第一开口的位置；以及 一过滤薄膜夹设于该夹持件上具有该孔洞的位置。 所述的金属光罩盒，其中该夹持件由一第一部份以及一第二部份组成。所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该过滤薄膜是夹持(sandwiched)于该第 一部份以及第二部份之间。所述的金属光罩盒，其中该夹持件的第一部份以及第二部份至少其中之一具有一凹陷部面向该第一部分与第二部份之间，用以形成一空间容置 该过滤薄膜。所述的金属光罩盒，其中该夹持件的第一部份以及第二部份至少其中 之一具有一凹陷部，另一则具有一凸出部，该凹陷部与该凸出部面向该第 一部分与第二部份之间，且该凹陷部大于该凸出部。所述的金属光罩盒，其中该第一部份以及第二部分为对称且一体成型。所述的金属光罩盒，其中该第一部份以及第二部分为两个分离的组件。所述的金属光罩盒，其中该第一部份以及第二部分为两个相同的组件。所述的金属光罩盒，其中该第一部份以及第二部分各具有该孔洞。 所述的金属光罩盒，其中该弹性套件第一开口的周围具有一突出部。 所述的金属光罩盒，该弹性套件是以该突出部卡设于该光罩盒的通孔。所述的金属光罩盒，其中该弹性套件的突出部另包含一沟槽，该突出 部是以该沟槽卡设于该光罩盒的通孔。所述的金属光罩盒，其中另包含至少一边墙设于该通孔周围，其中该 弹性套件卡设于该边墙。所述的金属光罩盒，其中另包含至少一边墙设于该通孔周围，其中该 弹性套件是以该突出部卡设于该光罩盒的边墙。所述的金属光罩盒，其中该边墙是与该上盖体或T"盖体一体成型。所述的金属光罩盒，其中另包含至少一边墙设于该通孔周围，其中该边墙可焊接于上盖体或下盖体。所述的金属光罩盒，其中该过滤装置包含一过滤片以及一中空框架卡设于该边墙中，使得该过滤片被夹设于该框架以及该光罩盒之间。 所述的金属光罩盒，其中该边墙是朝向该内部空间延伸。 所述的金属光罩盒，其中该边墙是朝向该外部空间延伸。 所述的金属光罩盒，其中该弹性套件另包含一大于该第一开口的第二开口，该第二幵口周围设有卡持部，用以卡持该夹持件。所述的金属光罩盒，其中该弹性套件为一高分子材料所形成。 所述的金属光罩盒，其中该夹持件为金属材质。 所述的金属光罩盒，其中该过滤薄膜为混合纤维所制成。 本实用新型提供的过滤装置，用以覆盖一光罩盒的通孔，该通孔用以连通该光罩盒的内部空间以及光罩盒的外部空间，其中，该过滤装置包含 一弹性套件，用以卡设于该通孔，该弹性套件具有一第一开口对应于该通孑L;一夹持件，卡设于该弹性套件中，其中该夹持件具有至少一孔洞，该 孔洞设于对应于该弹性套件的第一开口的位置；以及 一过滤薄膜夹设于该夹持件上具有该孔洞的位置。 本实用新型提供的金属光罩盒，还包含-一金属上盖体，具有一边缘界定出一开口；一金属下盖体用以与该金属上盖体组合，形成一内部空间可容纳光 罩，且该下盖体亦具有一边缘^_界萣一开口与该上盖体的开口相对；至少一气密垫圈包含一沟槽，该气密垫圈由该沟槽卡设于该上盖体或 是下盖体的边缘上使得该内部空间成为封闭的空间。所述的金属光罩盒，其中该沟槽具有开口端以及底部，且开口端的宽 度较底部为窄。所述的金属光罩盒，其中该气密垫圈是由一黏合剂固接于该上盖体或是下盖体的边缘上。所述的金属光罩盒，其中该气密垫圈是由一胶带固接于该上盖体或是下盖体的边缘上。所述的金属光罩盒，其中该气密垫圈大致由高分子树脂制成。 所述的金属光罩盒，其中该气密垫圈大致由导电胶制成。 所述的金属光罩盒，其中该金属光罩盒的材质大致为不锈钢系列或铝A全 缝厶仝n五、妖n並o所述的金属光罩盒，其中另包含一扣压件设于该上盖体或下盖体内。所述的金属光罩盒，其中该扣压件结构包括一座体，以复数个支撑点固接于该光罩盒的金属上盖体及金属下盖体 内各角落的位置；一弯曲弹性组件，其一弯曲的端部结合于该座体上，另一弯曲的端部 则呈弹性悬浮状态于该单或复数个支撑点之间，且进一步包括一顶持面及一扣压面；其中，当该光罩盒承载一光罩且盖合时，该弯曲弹性组件的该顶持面 及该扣压面于盖合时会与该光罩接触并固定。由本实用薪—型的实施，可避免设计复杂等问题，且又可提供较佳的气密程度，使得光罩盒既具有防止静电放电的优点，又能具有气密效果佳且 不担心成本高昂的问题。
图1A与图1B是一公知技术，为一种金属光罩盒的示意图。图1C是本实用新型的较佳实施例，为一种金属光罩盒凸脚的示意图。图2A是本实用新型的较佳实施例，为一种过滤装置的示意图。 图2B是本实用新型的较佳实施例，为一种弹性套件的示意图。 图2C是本实用新型的较佳实施例，为一种夹持件的示意图。 图3A至图3C是本实用新型的较佳实施例，为光罩盒与过滤装置卡 设的示意图。图4A是本实用新型的较佳实施例，为一种光罩盒与气密垫圈的示意图。图4B是本实用新型的较佳实施例的剖面图，为一种气密垫圈的示意图。图4C是本实用新型的较佳实施例，为一种光罩盒与气密垫圈的示意图。图5A至图5C是本实用新型的较佳实施例，为一种扣压件的示意图。 附图中主要组件标记说明1光罩盒ll金属上盖体111金属上盖体边缘112锁固孔12金属下盖体121金属下盖体边缘122锁固孔13通孔131边墙14接合机构15锁扣件16板子17凸脚18气密垫圈181沟槽1811幵口端1812底部182气密垫圈座耳2过滤装置21弹性套件211第一开口212第二开口213突出部213a沟槽214卡持部22夹持件221孔洞 222第一部份 223第二部份 224凹陷部 225凸出部 23过滤薄膜 3压扣件 31座体 311支撑点 312顶持面 313扣压面 32弯曲弹性组件具体实施方式
本实用新型是一种具有过滤装置以及具有气密效果的金属光罩盒。光 罩盒是由金属上盖体与金属下盖体组合而成，形成一内部空间可容纳光 罩，此光罩盒的金属上盖体或该金属下盖体侧边设有至少一通孔，用以连 通光罩盒的内部空间以及外部空间，以及一过滤装置覆盖该通孔。该过滤 装置可为一体成形，或是由多个部件构成。根据本发明一较佳实施例，该 过滤装置可包含弹性套件、夹持件与过滤薄膜，弹性套件是用以卡设于该 通孔上，此弹性套件具有一对应于通孔的第一开口，夹持件卡设于弹性套件中，且具有至少一孔洞，该孔洞设于对应于弹性套件的第一开口的位置， 过滤薄膜夹设于该夹持件上具有该孔洞的位置。此外，金属光罩盒的金属上盖体具有一边缘界定出一开口，金属下盖 体亦具有一边缘且界定出一开口与金属上盖体的开口相对，并于上盖体的 边缘或下盖体的边缘上设有一气密垫圈，使得该内部空间成为封闭的空 间，且气密垫圈是以卡设的方式固定在上盖体或是下盖体的边缘或上。因 此，本实用新型提供的金属光罩盒，可减少电荷累积，并且防止静电对光 罩所造成的伤害。本实用新型的光罩盒，可由扣压装置固定光罩，以避免光罩于运送过 程中产生碰撞而损害光罩。本实用新型的过滤装置，可用来过滤空气中的微尘，以避免光罩受到 污染。本实用新型的过滤装置，可用来过滤空气中的微尘，以保持光罩盒盒 内的洁净度。本实用新型的过滤装置，利用卡设方式设于光罩盒内，以避免微粒产 生，减少污染源。本实用新型的气密装置，使金属光罩盒的上下盖体盖合时，具有较佳 的密合效果。本实用新型的气密装置，可保持光罩盒内气体的洁净度，以避免光罩 受到污染。由于本实用新型是揭露一种具有过滤装置的光罩盒的结构，其中所利 用到的一些光覃或光罩盒的详细制造或处理过程，是利用公知技术来达成，故在下述说明中，并不作完整描述。而且下述内文中的附图，亦并未 依据实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本实用新型特征有关的 示意图。本实用新型提供一种金属光罩盒，用以解决静电放电的问题，然而， 由于一般光罩盒多以高分子材料制成，因此在光罩盒的上下盖体盖合时， 光罩盒具有弹性，易使上下盖体密合。当使用金属材料制造盒体时，上下盖密合不易，需在盖体的边缘做特殊加工，使盖体具有咬合的部份，以达 成上下盖的密合。然而，在金属光罩盒的盖体上做特殊加工，除了设计上 较为复杂外，所需花费的成本亦较高。图1A与图1B是本实用新型金属光罩盒的一较佳实施例示意图，金 属光罩盒1是由金属上盖体11与金属下盖体12组合而成，形成一个可容 纳光罩的内部空间，且此光罩盒l的金属材质可为例如不锈钢、铝合金或镁合金。光罩盒1的金属上盖体11或金属下盖体12的侧边设有至少一通 孔13，用以连通光罩盒l的内部空间以及外部空间，并以过滤装置2覆盖 在通孔13上。此外，于金属光罩盒1的侧边上另包含至少一接合机构14、 至少一锁扣件15、至少一个板子16或至少一凸脚17(请参照图1C)，以及 于金属光罩盒1的上盖体11或下盖体12内，另设有一扣压件3。接合机 构14用以连接金属上盖体11及金属下盖体12;锁扣件15是用以扣合金 属上盖体11及金属下盖体12，且为一高分子材料所形成；板子16与凸脚 17用以使光罩盒1可直立式摆放，此外，亦可于板子16上黏贴标签，以 便于辨识光罩盒l的内容物。图2A是本实用新型过滤装置的一较佳实施例示意图，过滤装置2包含弹性套件21、夹持件22与过滤薄膜23。弹性套件21(请参照图2B)是用 以卡设于光罩盒1的通孔13上，此弹性套件21具有第一开口 211与第二 开口 212，且第一开口 211小于第二开口 212，第一开口 211的周围设有 一突出部213对应并卡设于通孔13上，第二开口 212的周围设有一卡持 部214，用以卡持夹持件22，且弹性套件21为一高分子材料所形成。夹 持件22(请参照图2C)卡设于弹性套件21中且具有至少一孔洞221，该孔 洞221设于对应于弹性套件21第一开口 211的位置，夹持件22是由一第 -一部份222以及一第二部份223所组成，其第一部份222以及第二部分223 各具有孔洞221 ，其第一部份222以及第二部分223可为对称且一体成型 的组件或两个分离的组件，亦可为两个相同的组件，夹持件22的第一部 份222以及第二部份223至少其中之一具有一凹陷部224，另一则具有一 凸出部225，且夹持件22为金属材质所制成。过滤薄膜23夹持(sandwiched) 于夹持件22的第一部份222以及第二部分223之间，并夹设于夹持件22 上具有该孔洞221的位置，且过滤薄膜23为混合纤维所制成。本实用新型提供的一夹持件夹持(sandwiched)过滤薄膜的一较佳实施 例，夹持件22的第一部份222以及第二部分223皆具有凹陷部224或其 中之一具有凹陷部224面向第一部分222与第二部份223之间，用以形成 一可容置过滤薄膜23的空间。本实用新型另提供一夹持件夹持(sandwiched) 过滤薄膜的另一较佳实施例，夹持件22的第一部份222以及第二部分223 至少其中之一具有一凹陷部224，另一则具有一凸出部225，凹陷部224 与凸出部225皆面向第一部分222与第二部分223之间，且凹陷部224大 于凸出部225，用以夹持并固定过滤薄膜23于其，V图3A是本实用新型光罩盒与过滤装置卡设的一较佳实施例示意图，过滤装置2的弹性套件21以其突出部213卡设于光罩盒1的通孔13上， 且其突出部213具有一沟槽213a，该突出部213是以该沟槽213a卡设于 该光罩盒的通孔13上，以此方式将过滤装置2卡设于光罩盒1上。图3B 是本实用新型光罩盒与过滤装置卡设的另一较佳实施例示意图，光罩盒1 的通孔13周围设有至少一边墙131，弹性套件21以突出部213卡设于光 罩盒1的边墙131上，其中，边墙131与光罩盒1的上盖体21或下盖体 22 —体成型，或可另外焊接于光罩盒l上，且边墙131可朝向光罩盒1 的内部空间延伸。图3C是本实用新型光罩盒与过滤装置卡设的又一较佳 实施例示意图，边墙131可朝向光罩盒1的外部空间延伸。根据本发明另一较佳实施例(未示于图中)，该过滤装置的过滤部分以 及卡设于该光罩盒的部分亦可一体成形。根据本发明又一较佳实施例(未示 于图中)，该过滤装置包含一过滤片与一中空框架，该过滤片以及该框架可 卡设于该通孔13周围的边墙131中，使得该过滤片被夹设于该框架以及 该光罩盒之间，以此覆盖该通孔13，达成过滤的功效。图4A是本实用新型金属光罩盒的另一较佳实施例示意图，金属光罩 盒l的金属上盖体ll具有一边缘lll界定出一开口，金属下盖体12亦具 有一边缘121且界定出一开口与金属上盖体11的开口相对，并于上盖体 11的边缘111或下盖体12的边缘121上设有一气密垫圈18，使得该内部 空间成为封闭的空间，且该气密垫圈18大致由高分子树脂或导电胶所制 成，其中气密垫圈18以卡设的方式固定在上盖体11或是下盖体12的边 缘111或121上。根据本实用新型另一较佳实施例，该气密垫圈18亦可直接设于该金属上盖体11的边缘111或是下盖体12的边缘121上。.其中，该气密垫圈18包含有一沟槽181，气密垫圈18是由沟槽181 卡设于上盖体11或是下盖体12的边缘111或121上，其中，沟槽181具 有开口端1811以及底部1812，且开口端1811的宽度较底部1812为窄(请参考图4B)，该气密垫圈18可直接由以上结构与与边缘111或121紧密接合。本实用新型提供一气密垫圈固定于上盖体或下盖体边缘上的另一较 佳实施例，该气密垫圈18是由一黏合剂固接于上盖体11或是下盖体12 的边缘111或121上。本实用新型提供一气密垫圈固定于上盖体或下盖体边缘上的再一较 佳实施例，请参考图4C，其中上盖体11或下盖体12之侧边具有数个锁 固孔112或122，气密垫圈18上则具有数个座耳182，且锁固孔112或 122与座耳182可相对应，该气密垫圈18系藉由一锁固件将此气密垫圈 18固设于上盖体11或是下盖体12的边缘1"或121上。图5A、图5B与图5C是本实用新型扣压件的一较佳实施例示意图， 扣压件3结构的特征包括一座体31以及至少一个弯曲弹性组件32，且此 扣压件3为高分子材料所形成。座体31是以复数个支撑点311固接于该 光罩盒1的金属上盖体11及金属下盖体12内各角落的位置，且其座体31 大致为两两一对(请参考图5A)。弯曲弹性组件32其一弯曲的端部结合于 座体31上，另一弯曲的端部则呈弹性悬浮状态于单数个或复数个支撑点 311之间，且弯曲弹性组件32进一步包括一顶持面312及一扣压面313。 其中，当光S—盒1承载一光罩且盖合时，该弯曲弹性组件32的顶持面312具有将光罩导正及定位的功能，而扣压面313于盖合时会与光罩接触并固 定，以避免光罩于运送过程中产生碰撞而损害光罩。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用以限定本实用新型的申请专利权利；同时以上的描述，对于本领域技术人员应可明了及实施，因此其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均 应包含在本申请的权利要求范围中。
权利要求1、一种金属光罩盒，其特征在于，包含一金属上盖体；一金属下盖体，用以与该金属上盖体组合，形成一内部空间可容纳光罩；至少一通孔，设于该金属上盖体或该金属下盖体的侧边，连通该内部空间以及光罩盒的外部空间；以及至少一过滤装置覆盖该通孔。
2、 根据权利要求1所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该过滤装 置包含一弹性套件，卡设于该通孔，该弹性套件具有一第一开口对应于该通孔；一夹持件，卡设于该弹性套件中，其中该夹持件具有至少一孔洞，该孔洞设于对应于该弹性套件的第一开口的位置；以及 一过滤薄膜夹设于该夹持件上具有该孔洞的位置。
3、 根据权利要求2所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该夹持件 由一第一部份以及一第二部份组成。
4、 根据权利要求3所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该过滤薄膜夹持于该第一部份以及第二部份之间。
5、 根据权利要求4所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该夹持件 的第一部份以及第二部份至少其中之一具有一凹陷部面向该第一部分与第二部份之间，形成一空间容置该过滤薄膜。
6、 根据权利要求4所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该夹持件 的第一部份以及第二部份至少其中之一具有一凹陷部，另一则具有一凸出 部，该凹陷部与该凸出部面向该第一部分与第二部份之间，且该凹陷部大 于该凸出部。
7、 根据权利要求3所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该第一部份以及第二部分为对称且一体成型。
8、 根据权利要求3所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该第一部 份以及第二部分为两个分离的组件。
9、 根据权利要求3所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该第一部 份以及第二部分为两个相同的组件。
10、 根据权利要求3所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该第一部 份以及第二部分各具有该孔洞。
11、 根据权利要求2所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该弹性套 件第一开口的周围具有一突出部。
12、 根据权利要求II所述的金属光罩盒，其特征在于，该弹性套件 以该突出部卡设于该光罩盒的通孔。
13、 根据权利要求11所述的金属光罩盒，其特征在于，该弹性套件 的突出部另包含一沟槽，该突出部以该沟槽卡设于该光罩盒的通孔。
14、 根据权利要求2所述的金属光罩盒，其特征在于，另包含至少一 边墙设于该通孔周围，其中该弹性套件卡设于该边墙。
15、 根据权利要求11所述的佥屑光罩盒，其特征在于，另包含至少一边墙设于该通孔周围，其中该弹性套件以该突出部卡设于该光罩盒的边+血 I回O
16、 根据权利要求14或15所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该 边墙是与该上盖体或下盖体一体成型。
17、 根据权利要求1所述的金属光罩盒，其特征在于，另包含至少一 边墙设于该通孔周围，其中该边墙焊接于上盖体或下盖体。
18、 根据权利要求1所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该过滤装 置包含一过滤片以及一中空框架卡设于该边墙中，使该过滤片被夹设于该 框架以及该光罩盒之间。
19、 根据权利要求14、 15或17所述的金属光罩盒，其特征在于，其 中该边墙朝向该内部空间延伸。
20、 根据权利要求14、 15或17所述的金属光罩盒，其特征在于，其 中该边墙朝向该外部空间延伸。
21、 根据权利要求2所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该弹性套 件包含一大于该第一开口的第二开口，该第二开口周围设有卡持部，卡持 该夹持件。
22、 根据权利要求2所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该弹性套 件为一高分子材料。
23、 根据权利要求2所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该夹持件 为金属材质。
24、 根据权利要求2所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该过滤薄 膜为混合纤维。
25、 一种过滤装置，覆盖一光罩盒的通孔，该通孔连通该光罩盒的内 部空间以及光罩盒的外部空间，其特征在于，该过滤装置包含一弹性套件，卡设于该通孔，该弹性套件具有一第一开口对应于该通孔；一夹持件，卡设于该弹性套件中，其中该夹持件具有至少一孔洞，该 孔洞设于对应于该弹性套件的第一开口的位置；以及 一过滤薄膜夹设于该夹持件上具有该 孔洞的位置。
26、 一种金属光罩盒，其特征在于，包含-一金属上盖体，具有一边缘界定出一开口；一金属下盖体，与该金属上盖体组合，形成一内部空间可容纳光罩， 且该下盖体亦具有一边缘且界定一开口与该上盖体的开口相对；至少一气密垫圈包含一沟槽，该气密垫圈由该沟槽卡设于该上盖体或 是下盖体的边缘上使该内部空间成为封闭的空间。
27、 根据权利要求26所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该沟槽 具有开口端以及底部，且开口端的宽度较底部为窄。
28、 根据权利要求26所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该气密 垫圈由一黏合剂固接于该上盖体或下盖体的边缘上。
29、 根据权利要求26所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该气密 垫圈为高分子树脂材料。
30、 根据权利要求26所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该气密 垫圈为导电胶材料。
31、 根据权利要求1或26所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该金属光罩盒的材质为不锈钢系列或铝合金、镁合金。
32、 根据权利要求1或26所述的金属光罩盒，其特征在于，另包含一扣压件设于该上盖体或下盖体内。
33、 根据权利要求32所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该扣压件结构包括一座体，以复数个支撑点固接于该光罩盒的金属上盖体及金属下盖体内各角落的位置；一弯曲弹性组件，其一弯曲的端部结合于该座体上，另一弯曲的端部 则呈弹性悬浮状态于该单或复数个支撑点之间，且进一步包括一顶持面及 一扣压面；其中，当该光罩盒承载一光罩且盖合时，该弯曲弹性组件的该顶持面 及该扣压面于盖合时会与该光罩接触并固定。
专利摘要本实用新型提供一种具有过滤装置以及气密效果的金属光罩盒。光罩盒由金属上盖体与金属下盖体组合而成，形成一内部空间可容纳光罩，此光罩盒的金属上盖体或该金属下盖体侧边设有至少一通孔，用以连通光罩盒的内部空间以及外部空间，以及一过滤装置覆盖该通孔。
文档编号H01L21/673GK201107546SQ200720125588
公开日2008年8月27日 申请日期2007年10月9日 优先权日2007年10月9日
发明者邱铭乾, 陈建达 申请人:家登精密工业股份有限公司