一种分立电极式加热器的制作方法

文档序号:8177651阅读:349来源:国知局
专利名称:一种分立电极式加热器的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种泡生法晶体生长炉中的电极加热器,特别涉及一种分立电极式加热器。
背景技术
泡生法晶体生长炉常用“鸟笼式”加热器,它由一对电极,一对半圆铜环,和若干加热棒组成。钨棒为加热元件,通常为“U”型,从一个电极连接到另一个电极。形成一种加热器。由于加热器侧面的钨棒均匀分布,底部交叉,也被称为“鸟笼式”加热器。其结构具有以下缺点:侧面加热棒分布均匀,但底部加热棒分布不均匀;底部加热棒交叉重叠,与侧面相比,提供热量太多,即底部供热与侧面供热比例失调;底部结构固定,不可调节;加热器维护不便。一旦某个加热棒损坏,很难更换。因此需要对加热器的结构进行改进,以避免现有结构的缺点。

实用新型内容本实用新型的目的在于提出一种分立电极式加热器,解决了现有加热器,底部加热棒分布不均匀,底部供热与侧面供热比例失调,底部结构固定,不可调节,以及加热器维护不便、加热棒更换困难的问题。为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:—种分立电极式加热器,包括电极、加热棒,所述炉体上方布置有一对以上的电极,所述一对以上的电极组成环状,所述加热棒分别与邻近电极连接,所述加热棒在炉体内呈圆周均匀分布。优选的,所述加热棒为钨棒。优选的,所述加热棒底部为“L”型。优选的,所述每个电极上连接有2个以上的加热棒。本实用新型加热器的电极形成环状,加热棒分别与邻近的电极连接,加热棒底部做成“L”型,使得加热器侧面和底部都可以均匀分布,而且加热器底部结构和长度可以调整,从而调节底部与侧面供热比例,加热器便于维护,一旦某个加热棒损坏,可以单独更换。

图1是现有“鸟笼式”加热器结构示意图;图2是图1的俯视图;图3是本实用新型结构示意图;图4是图3的俯视图。图中:1、电极;2、半圆铜环;(3、31)、加热棒。
具体实施方式

以下结合附图并通过具体实施方式
来进一步说明本实用新型的技术方案。如图1至图2所示,是现有技术中“鸟笼式”加热器结构示意图,图中由一对电极1,一对半圆铜环2,和若干加热棒3组成。加热棒3为钨棒,为“U”型,从一个电极连接到另一个电极,形成一种加热器。由于加热器侧面的钨棒均匀分布,底部交叉,因此也被称为“鸟笼式”加热器。其结构具有以下缺点:侧面加热棒分布均匀,但底部加热棒分布不均匀;底部加热棒交叉重叠,与侧面相比,提供热量太多,即底部供热与侧面供热比例失调;底部结构固定,不可调节;加热器维护不便,一旦某个加热棒损坏,很难更换。如图3、图4所示,是本实用新型具体实施结构示意图。图中,所述加热棒31采用钨棒,加热棒31的上端连接到的电极1,加热方式是电流通过电极I传导至加热棒31,然后从另一个电极流出,本实施例中共有六对电极1,所述六对电极I组成环状,所述加热棒31分别与邻近的电极I连接,所述加热棒31在炉体内呈圆周均匀分布,每个电极I上连接有四根加热棒31,所述加热棒31的底部为“L”型,这样形成分立电极式加热器,使得加热器底部和侧面供热均匀,而且底部结构可以调整,便于维护和更换。
权利要求1.一种分立电极式加热器,包括电极、加热棒,其特征在于:所述加热器设有一对以上的电极,所述电极组成环状,所述加热棒分别与邻近电极连接,所述加热棒在炉体内呈圆周均匀分布。
2.根据权利要求1所述的一种分立电极式加热器,其特征在于:所述加热棒为钨棒。
3.根据权利要求1所述的一种分立电极式加热器,其特征在于:所述加热棒底部为“L”型。
4.根据权利要求1所述的一种分立电极式加热器,其特征在于:所述每个电极上连接有2个以上加热棒。
专利摘要一种分立电极式加热器,包括电极、加热棒,所述加热棒与电极连接,所述加热器设有一对以上的电极,所述电极组成环状,所述加热棒分别与邻近电极连接,所述加热棒在炉体内呈圆周均匀分布;所述加热棒为钨棒;所述加热棒底部为“L”型;所述每个电极上连接有2个以上加热棒。本实用新型一对电极改为多对电极,且多个电极形成环状,加热棒分别与邻近的电极连接,加热棒底部做成“L”型,使得加热器侧面和底部都可以均匀分布,而且加热器底部结构和长度可以调整,从而调节底部与侧面供热比例,加热器便于维护,一旦某个加热棒损坏,可以单独更换。
文档编号H05B3/03GK202936514SQ20122063594
公开日2013年5月15日 申请日期2012年11月27日 优先权日2012年11月27日
发明者惠梦君 申请人:惠梦君
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