元件安装装置和元件安装方法
【专利摘要】本发明的目的在于提供一种元件安装装置和元件安装方法，对于小尺寸的基板和大尺寸的基板均能够进行元件安装，能够使大小两种尺寸的基板的生产线统一化。在基板接收部（21）将两个基板接收台（21s）的间隔设定为第一间隔而接收两张小尺寸的基板（2）的情况下，左方基板转移部（82a）将该基板接收部（21）接收到的两张小尺寸的基板（2）同时转移到元件安装部（22），在基板接收部（21）将两个基板接收台（21s）的间隔设定为比第一间隔大的第二间隔而接收两张大尺寸的基板（2）的情况下，左方基板转移部（82a）将该基板接收部（21）接收到的两张大尺寸的基板（2）一张一张地分别转移到元件安装部（22）。
【专利说明】元件安装装置和元件安装方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及在将元件搭载于基板后将该元件压接于基板来进行液晶面板基板的制造的元件安装装置和元件安装方法。
【背景技术】
[0002]以往，已知将元件搭载于基板来进行液晶面板基板的制造的液晶面板基板制造用的元件安装装置(例如，参照专利文献I )。这样的液晶面板基板制造用的元件安装装置除了相对于基板进行元件安装的元件安装部之外，还具备:基板接收部，利用两个基板接收台接收从上游工序侧输送来的两张基板；以及基板转移部，将基板接收部接收到的基板转移至元件安装部，基板转移部利用按照基板接收部具备的两个基板接收台的间隔配置的两个拾取构件，同时拾取两张基板并转移到元件安装部。
[0003]在这样的元件安装装置中，存在着以第一尺寸(小尺寸)的基板为对象进行元件安装的元件安装装置、和以尺寸比第一尺寸的基板大的第二尺寸(大尺寸)的基板为对象进行元件安装的元件安装装置。在此，在以小尺寸的基板为对象进行元件安装的元件安装装置将两张大尺寸的基板载置于两个基板接收台的情况下，两张基板相互干涉，因此以大尺寸的基板为对象进行元件安装的元件安装装置需要是与以小尺寸的基板为对象进行元件安装的元件安装装置不同的装置，在对大小两种尺寸的基板进行元件安装的基板生产线中，需要将与大小两种基板对应的两种元件安装装置分别组装到基板生产线。
[0004]专利文献1:日本特开平6-75199号公报
[0005]然而，如上所述将与大小两种基板对应的两种元件安装装置分别组装到基板生产线的话，基板的生产线变为多条，存在着在成本方面不利的问题。
【发明内容】
[0006]因此，本发明的目的在于提供一种元件安装装置和元件安装方法，对于小尺寸的基板和大尺寸的基板均能够进行元件安装，能够使大小两种尺寸的基板的生产线统一化。
[0007]技术方案I涉及的元件安装装置为具备对基板进行元件安装的元件安装部的元件安装装置，其中，所述元件安装装置具备:基板接收部，将两个基板接收台的间隔设定为第一间隔而接收从上游工序侧输送来的两张第一尺寸的基板，或者将所述两个基板接收台的间隔设定为比所述第一间隔大的第二间隔而接收从所述上游工序侧输送来的两张尺寸比所述第一尺寸的基板大的第二尺寸的基板；以及基板转移部，将所述基板接收部接收到的所述第一尺寸或所述第二尺寸的基板转移到所述基板安装部，在所述基板接收部接收到两张所述第二尺寸的基板的情况下，所述基板转移部将该接收到的两张所述第二尺寸的基板一张一张地分别转移到元件安装部。
[0008]技术方案2所述的元件安装装置为，在技术方案I所述的元件安装装置中，在所述基板接收部接收到两张所述第一尺寸的基板的情况下，所述基板转移部将该接收到的两张所述第一尺寸的基板同时转移到所述元件安装部。[0009]技术方案3所述的元件安装装置为，在技术方案I或2所述的元件安装装置中，所述元件安装部具备:基板保持部，对由所述基板转移部同时转移两张过来的所述第一尺寸的基板或者由所述基板转移部一张一张地分别转移过来的所述第二尺寸的基板进行保持；粘接部件粘贴作业部，将粘接部件粘贴到由基板保持部保持的基板；元件搭载作业部，将元件搭载到由所述粘接部件粘贴作业部粘贴了粘接部件的基板；以及元件压接作业部，将利用所述元件搭载作业部搭载的元件压接于在所述元件搭载作业部搭载了元件的基板，所述基板保持部能够选择性地安装同时保持两张所述第一尺寸的基板的第一基板保持台或者保持一张所述第二尺寸的基板的第二基板保持台。
[0010]技术方案4所述的元件安装装置为，在技术方案I至3的任意一项所述的元件安装装置中，所述基板转移部具有两个拾取构件，所述两个拾取构件被配置成能够同时拾取所述基板接收部在将所述两个基板接收台调整为所述第一间隔的状态下接收到的两张所述第一尺寸的基板的间隔，在所述基板接收部在将所述两个基板接收台调整为所述第一间隔的状态下接收到两张所述第一尺寸的基板的情况下，所述基板转移部利用所述两个拾取构件同时拾取两张所述第一尺寸的基板并转移到所述基板保持部。
[0011 ] 技术方案5所述的元件安装装置为，在技术方案4所述的元件安装装置中，在所述基板接收部在将所述两个基板接收台调整为所述第二间隔的状态下接收到两张所述第二尺寸的基板的情况下，所述基板转移部利用所述两个拾取构件中的一个拾取构件拾取一张所述第二尺寸的基板并转移到所述基板保持部，然后在所述基板接收部将所述两个基板接收台调整为所述第一间隔后，所述基板转移部利用所述两个拾取构件中的另一个拾取构件拾取余下的一张所述第二尺寸的基板并转移到所述基板保持部。
[0012]技术方案6涉及的元件安装方法为通过具备对基板进行元件安装的元件安装部的元件安装装置实现的元件安装方法，其中，所述元件安装方法包括:基板接收工序，将两个基板接收台的间隔设定为第一间隔而接收从上游工序侧输送来的两张第一尺寸的基板，或者将所述两个基板接收台的间隔设定为比所述第一间隔大的第二间隔而接收从所述上游工序侧输送来的两张尺寸比所述第一尺寸的基板大的第二尺寸的基板；以及基板转移工序，将在所述基板接收工序中接收到的所述第一尺寸或所述第二尺寸的基板转移到所述基板安装部，在所述基板接收工序中接收到两张所述第二尺寸的基板的情况下，在所述基板转移工序中将该接收到的两张所述第二尺寸的基板一张一张地分别转移到元件安装部。
[0013]技术方案7所述的元件安装方法为，在技术方案6所述的元件安装方法中，在所述基板接收工序中接收到两张所述第一尺寸的基板的情况下，在所述基板转移工序中将该接收到的两张所述第一尺寸的基板同时转移到所述元件安装部。
[0014]在本发明中，将两个基板接收台的间隔设定为第一间隔而接收从上游工序侧输送来的两张第一尺寸(小尺寸)的基板，或者将两个基板接收台的间隔设定为比第一间隔大的第二间隔而接收从上游工序侧输送来的两张尺寸比第一尺寸的基板大的第二尺寸(大尺寸)的基板。并且，在接收到两张第二尺寸的基板的情况下，将该接收到的两张第二尺寸的基板一张一张地分别转移到元件安装部，能够对第一尺寸的基板和第二尺寸的基板中的任意一种基板进行元件安装，因此能够使大小两种尺寸的基板的生产线统一化。
【专利附图】
【附图说明】[0015]图1是本发明的一个实施方式的元件安装装置的俯视图。
[0016]图2是示出本发明一个实施方式的元件安装装置的对基板的元件安装作业的进行步骤的图。
[0017]图3是示出本发明一个实施方式的元件安装装置的控制系统的框图。
[0018]图4 (a) (b)是示出本发明一个实施方式的元件安装装置所具备的基板接收部的结构的图。
[0019]图5 (a) (b)是本发明一个实施方式的元件安装装置所具备的ACF粘贴作业部和左方基板运送部的立体图。
[0020]图6 (a) (b)是本发明一个实施方式的元件安装装置所具备的ACF粘贴作业部和左方基板运送部的立体图。
[0021]图7 (a) (b) (c)是示出利用本发明的一个实施方式中的ACF粘贴作业部进行的ACF带的粘贴作业的执行步骤的图。
[0022]图8 (a) (b)是本发明一个实施方式的元件安装装置所具备的元件搭载作业部和中央基板运送部(右方基板运送部)的立体图。
[0023]图9 (a) (b)是本发明一个实施方式的元件安装装置所具备的元件搭载作业部和中央基板运送部(右方基板运送部)的立体图。
[0024]图10是示出利用本发明一个实施方式的元件搭载作业部进行的元件搭载作业的执行步骤的流程图。
[0025]图11 (a) (b) (C)是示出利用本发明一个实施方式的元件搭载作业部进行的元件搭载作业的执行步骤的图。
[0026]图12 (a) (b) (C)是示出利用本发明一个实施方式的元件搭载作业部进行的元件搭载作业的执行步骤的图。
[0027]图13 (a) (b)是本发明一个实施方式的元件安装装置所具备的第一元件压接作业部(第二元件压接作业部)和左方基板运送部(右方基板运送部)的立体图。
[0028]图14 (a) (b)是本发明一个实施方式的元件安装装置所具备的第一元件压接作业部(第二元件压接作业部)和左方基板运送部(右方基板运送部)的立体图。
[0029]图15 (a) (b) (C)是示出本发明一个实施方式的第一元件压接作业部(第二元件压接作业部)的元件压接作业的执行步骤的图。
[0030]图16是示出本发明一个实施方式的元件安装装置执行的元件压接作业的步骤的流程图。
[0031]图17 (a)?(f)是示出利用本发明一个实施方式的第一元件压接作业部(第二元件压接作业部)进行的元件压接作业的执行步骤的图。
[0032]图18 (a) (b)是示出本发明一个实施方式的元件安装装置所具备的基板交接部的结构的图。
[0033]图19是本发明的一个实施方式的基板转移部的立体图。
[0034]图20是本发明的一个实施方式的元件安装装置的局部俯视图。
[0035]图21 (a) (b) (c)是示出利用本发明一个实施方式的元件安装装置进行的元件安装作业的执行步骤的图。
[0036]图22 (a) (b) (c)是示出利用本发明一个实施方式的元件安装装置进行的元件安装作业的执行步骤的图。
[0037]图23 (a) (b) (c)是示出利用本发明一个实施方式的元件安装装置进行的元件安装作业的执行步骤的图。
[0038]图24 (a) (b) (c)是示出利用本发明一个实施方式的元件安装装置进行的元件安装作业的执行步骤的图。
[0039]图25 (a) (b) (c)是示出利用本发明一个实施方式的元件安装装置进行的元件安装作业的执行步骤的图。
[0040]图26 (a) (b)是示出利用本发明一个实施方式的元件安装装置进行的元件安装作业的执行步骤的图。
[0041]图27 (a) (b) (c)是示出利用本发明一个实施方式的元件安装装置进行的元件安装作业的执行步骤的图。
[0042]图28 (a) (b) (c)是示出利用本发明一个实施方式的元件安装装置进行的元件安装作业的执行步骤的图。
[0043]图29 (a) (b) (c)是示出利用本发明一个实施方式的元件安装装置进行的元件安装作业的执行步骤的图。
[0044]图30 (a) (b) (C)是示出利用本发明一个实施方式的元件安装装置进行的元件安装作业的执行步骤的图。
[0045]图31 (a) (b)是示出利用本发明一个实施方式的元件安装装置进行的元件安装作业的执行步骤的图。
[0046]标号说明
[0047]1:元件安装装置；
[0048]2:基板；
[0049]3 =ACF带(粘接部件)；
[0050]4:元件；
[0051]21:基板接收部；
[0052]21s:基板接收台；
[0053]22:元件安装部；
[0054]22a:ACF粘贴作业部(粘接部件粘贴作业部)；
[0055]22b:元件搭载作业部；
[0056]22c:第一元件压接作业部(元件压接作业部)；
[0057]22d:第二元件压接作业部(元件压接作业部)；
[0058]33L:左方基板运送部(基板保持部)；
[0059]36:基板保持台(第一基板保持台)；
[0060]36T:基板保持台(第二基板保持台)；
[0061]82a:左方基板转移部(基板转移部)；
[0062]94:臂(拾取构件)。
【具体实施方式】
[0063]下面，参照【专利附图】
【附图说明】本发明的实施方式。图1所示的液晶面板基板制造用的元件安装装置I执行如下的元件安装作业:在将作为粘接部件的ACF带3粘贴到在图2所示的长方形的面板状的基板2的四边中的一边的端部设置的电极部2a后，将元件4搭载(临时压接)于该粘贴好的ACF带3，然后利用压接(正式压接)将元件4装配于基板2。此处采用的元件4例如为驱动电路元件，其具有薄膜状部分4a。
[0064]在图1中，元件安装装置I的基台11从自操作者OP观察到的左右方向(图1中的纸面左右方向，设为X轴方向)的左方起按顺序依次配置左方基台I la、中央基台Ilb和右方基台11c，在左方基台Ila具备基板接收部21，在中央基台Ilb具备元件安装部22，在右方基台Ilc具备基板交接部23。上述基板接收部21、元件安装部22和基板交接部23分别由作为控制构件的控制装置24 (图3)控制其动作。基板2沿X轴方向从左侧向右侧，即按照基板接收部21、元件安装部22、基板交接部23的顺序流动并依次被实施作业。
[0065]在图1中，基板接收部21具有左侧(上游工序侧)和右侧(下游工序侧)的两个基板接收台21s。所述两个基板接收台21s被设置成相对于左方基台Ila升降自如，在两个基板接收台21s载置有从元件安装装置I的上游工序侧输送来的两张基板2。
[0066]如图4所示，右侧的基板接收台21s相对于左方基台Ila固定，左侧的基板接收台21s能够在左方基台Ila上沿X轴方向移动。该元件安装装置I能够相对于大小不同的尺寸的基板2进行元件安装作业，例如在进行对第一尺寸(以下，称为小尺寸)的基板2的元件安装作业的情况下，将两个基板接收台21s的间隔设定为能够彼此不干涉地接收两张小尺寸的基板2的间隔(称为第一间隔)(图4 (a))，而在进行对尺寸比小尺寸的基板2大的第二尺寸(以下，称为大尺寸)的基板2的元件安装作业的情况下，将两个基板接收台21s的间隔设定为比第一间隔大的、能够彼此不干涉地接收两张大尺寸的基板2的间隔(称为第二间隔)(图4 (b))。
[0067]元件安装部22具有:进行将作为粘接部件的ACF带3粘贴到基板2的作业的ACF粘贴作业部22a (粘接部件粘贴作业部)、进行元件4到基板2的搭载作业的元件搭载作业部22b、将利用元件搭载作业部22b搭载的元件4压接于在元件搭载作业部22b进行过元件4的搭载作业的基板2的两个元件压接作业部(第一元件压接作业部22c和第二元件压接作业部22d)。
[0068]ACF粘贴作业部22a设于中央基台Ilb的左部区域，元件搭载作业部22b设于中央基台Ilb的中央区域。第一元件压接作业部22c设于中央基台Ilb上的ACF粘贴作业部22a与元件搭载作业部22b之间的区域，第二元件压接作业部22d设于中央基台I Ib上的元件搭载作业部22b的右侧的区域。即，在本实施方式的元件安装装置I中，第一元件压接作业部22c和第二元件压接作业部22d被设置于从左右两侧方夹着元件搭载作业部22b的位置。
[0069]在中央基台Ilb上的ACF粘贴作业部22a的前方区域(将从操作者OP观察到的前后方向设为Y轴方向)设有第一底座部31，在中央基台Ilb上的元件搭载作业部22b、第一元件压接作业部22c和第二元件压接作业部22d的前方区域沿X轴方向延伸设置有第二底座部32。
[0070]在图1和图5 (a)、(b)中，在第一底座部31设有左方基板运送部33L。该左方基板运送部33L在第一底座部31上沿Y轴方向延伸设置，其具有在第一底座部31上沿X轴方向移动自如地设置的Y轴工作台34、在Y轴工作台34上沿Y轴方向移动自如地设置的移动台35、以及在移动台35的上表面沿X轴方向并列设置的两个基板保持台36。从基板接收部21的两个基板接收台21s将两张基板2转移并保持在两个基板保持台36上。
[0071]如图6 (a)所示，左方基板运送部33L的两个基板保持台36能够调换成一张基板保持台36T,在该情况下,从基板接收部21的两个基板接收台21s中的一个基板接收台21s将一张基板2转移并保持在基板保持台36T上。
[0072]另外，在左方基板运送部33L安装两个基板保持台36是为了利用所述两个基板保持台36保持两张小尺寸的基板2的情况，而在左方基板运送部33L安装一个基板保持台36T是为了利用该一个基板保持台36T保持一张大尺寸的基板2的情况。S卩，在本实施方式中，左方基板运送部33L能够选择性地安装同时保持两张小尺寸的基板2的两个基板保持台36 (第一基板保持台)或者保持一张大尺寸的基板2的一个基板保持台36T (第二基板保持台)。
[0073]两个基板保持台36 (或者一个基板保持台36T)分别相对于移动台35升降自如，控制装置24使移动台35相对于Y轴工作台34在Y轴方向移动来进行基板2的运送，使两个基板保持台36或一个基板保持台36T升降，使在两个基板保持台36或一个基板保持台36T上载置的基板2上下移动。
[0074]在图5 (a)、(b)和图6 (a)、(b)中，ACF粘贴作业部22a具有在中央基台Ilb的上方沿X轴方向并列设置的两个粘贴头41、和在各粘贴头41的下方沿X轴方向延伸设置的两个ACF粘贴作业用的辅助台42。
[0075]两个粘贴头41分别具备:带供给部41a，其抽出并供给ACF带3，将所述抽出的ACF带3以预定长度切断并将其以水平姿势保持在预定的位置；以及粘贴工具41b，其将由带供给部41a保持在水平姿势的ACF带3从上方按压到ACF粘贴作业用的辅助台42 —侧。
[0076]控制装置24使左方基板运送部33L的移动台35在设定于Y轴工作台34上的前方的“基板交接位置”(图5 (a)和图6 (a))和设定于后方的“作业位置”(图5 (b)和图6 (b))之间移动。“基板交接位置”是能够相对于两个基板保持台36 (或者一个基板保持台36T)进行基板2的交接的位置，“作业位置”是能够使载置于两个基板保持台36的两张基板2各自的电极部2a位于两个ACF粘贴作业用的辅助台42的上方的位置(或者能够使载置于一个基板保持台36T的一张基板2的电极部2a位于两个ACF粘贴作业用的辅助台42中的一个辅助台42的上方的位置)。
[0077]参照图7说明由粘贴头41将ACF带3粘贴到基板2的粘贴作业。首先，如图7Ca)所示，控制装置24使带供给部41a动作并使按预定长度切断了的状态的ACF带3位于基板2 (电极部2a)的上方。接着，如图7 (b)所示，使粘贴工具41b下降，针对每个基板2将ACF带3按压到ACF粘贴作业用的辅助台42。最后，如图7 (c)所示，使粘贴工具41b相对于基板2上升。结果，将预定长度的ACF带3相对于基板2粘贴。
[0078]在图1中，在第二底座部32设有中央基板运送部33C和右方基板运送部33R。中央基板运送部33C和右方基板运送部33R为同类型，中央基板运送部33C位于右方基板运送部33R的左方。如图8 (a)、(b)所示，中央基板运送部33C (右方基板运送部33R也同样)具有在第二底座部32上沿X轴方向移动自如地设置的Y轴工作台51、在Y轴工作台51上沿Y轴方向移动自如地设置的移动台52、以及在移动台52的上表面沿X轴方向并列设置的两个基板保持台53。移动台52内置有使两个基板保持台53分别向Z轴方向升降的升降机构。两个基板保持台53通过Y轴工作台51相对于第二底座部32在X轴方向的移动和移动台52相对于Y轴工作台51的移动而向水平方向移动自如，从左方基板运送部33L的两个基板保持台36将两张基板2转移并保持在两个基板保持台53上。
[0079]中央基板运送部33C的两个基板保持台53和右方基板运送部33R的两个基板保持台53分别能够如图9 (a)所示地调换成一张基板保持台53T，在该情况下，从左方基板运送部33L的一个基板保持台36T将一张基板2转移并保持在基板保持台53T上。
[0080]另外，在中央基板运送部33C和右方基板运送部33R安装两个基板保持台53是为了利用所述两个基板保持台53保持两张小尺寸的基板2的情况，而在中央基板运送部33C和右方基板运送部33R安装一个基板保持台53T是为了利用该一个基板保持台53T保持一张大尺寸的基板2的情况。即，在本实施方式中，中央基板运送部33C和右方基板运送部33R能够选择性地安装同时保持两张小尺寸的基板的两个基板保持台53 (第一基板保持台)或者保持一张大尺寸的基板2的一个基板保持台53T (第二基板保持台)。
[0081]两个基板保持台53 (或者一个基板保持台53T)各自通过Y轴工作台51相对于第二底座部32在X轴方向的移动和移动台52相对于Y轴工作台51的移动而沿水平方向移动自如，并且被设置成通过在移动台52内置的上述升降机构的驱动而分别升降自如。控制装置24通过进行Y轴工作台51相对于第二底座部32在X轴方向的移动和移动台52相对于Y轴工作台51向Y轴方向的移动并使两个基板保持台53 (或者一个基板保持台53T)在水平面内方向移动，来进行基板2的运送，使两个基板保持台53(或者一个基板保持台53T)下降/上升，使载置于两个基板保持台53的两张基板2 (或者载置于一个基板保持台53T的一张基板2)相对于辅助台64的上表面着陆/离开。
[0082]在图1、图8 (a)、(b)和图9 (a)、(b)中，元件搭载作业部22b具备:元件供给部61，其从中央基台Ilb的后部向后方伸出设置并进行元件4的供给；搭载头63，其借助在中央基台Ilb的中央后部设置的搭载头移动机构62在水平面内移动自如，并从上方吸附元件供给部61供给的元件4 ；以及元件搭载作业用的辅助台64，其在第二底座部32的中央部后方区域沿Y轴方向延伸设置。控制装置24控制元件供给部61的元件4的供给动作、由搭载头移动机构62的动作实现的搭载头63的水平面内的移动动作、搭载头63对元件4的吸附动作。由此，进行从搭载头63对元件4的吸附(拾取)到元件4向基板2的搭载为止的一连串的作业。
[0083]在图8 (a)和图9 (a)中，在元件搭载作业用的辅助台64沿X轴方向并列设置有摄像视场朝向上方的两个位置识别摄像机65。所述两个位置识别摄像机65由控制装置24控制而进行摄像动作，通过在元件搭载用的辅助台64的上部设置的石英玻璃等透明材料部64a (图8 (a)和图9 (a))，对位于元件搭载用的辅助台64的上方的物体进行摄像。
[0084]控制装置24的元件搭载作业控制部SRl (图3)使中央基板运送部33C的移动台52在设定于Y轴工作台51上的前方的“基板交接位置”(图8 (a)和图9 (a))和设定于后方的“作业位置”(图8 (b)和图9 (b))之间移动。“基板交接位置”为能够相对于两个基板保持台53 (或者一个基板保持台53T)进行基板2的交接的位置。“作业位置”是能够使在载置于两个基板保持台53 (或者一个基板保持台53T)的基板2的电极部2a粘贴的ACF带3位于元件搭载作业用的辅助台64的上方(进一步说是在后述的元件压接作业用的辅助台72的上方)的位置。[0085]在执行将元件4搭载于基板2的元件搭载作业的情况下，控制装置24 (元件搭载作业控制部SRl)首先通过使移动台52移动到“作业位置”，从而使基板2的电极部2a定位于辅助台64的上方位置(搭载作业位置)(图10的流程图所示的步骤ST1)。接着，使两个位置识别摄像机65对位于元件搭载用的辅助台64的上方的基板2所具有的两个位置识别标记m (图2)进行摄像、识别(图11 (a))，基于两个位置识别标记m的位置信息算出(取得)与基板2的位置相关的信息(基板2相对于基板保持台53或者基板保持台53T的位置信息)，将其结果存储到控制装置24的存储部24a (图3)(步骤ST2)。
[0086]具体来说，在将两张基板2载置在两个基板保持台53的情况下，将在中央基板运送部33C的左侧的基板保持台53上保持的基板2的相对于基板保持台53的位置校正量的数据作为与基板2的位置相关的信息存储到存储部24a的第一校正数据存储区域KRl。同样地，将在中央基板运送部33C的右侧的基板保持台53上保持的基板2的位置校正量的数据存储在第二校正数据存储区域KR2。而且，将在右方基板运送部33R的左侧的基板保持台53上保持的基板2的相对于基板保持台53的位置校正量的数据存储在第三校正数据存储区域KR3，将在右侧的基板保持台53上保持的基板2的位置校正数据存储在第四校正数据存储区域KR4。
[0087]另一方面，在将一张基板2载直在Iv基板保持台53T的情况下,将在中央基板运送部33C的基板保持台53T上保持的基板2的相对于基板保持台53T的位置校正量的数据作为与基板2的位置相关的信息存储到存储部24a的第一校正数据存储区域KRl。同样地，将在右方基板运送部33R的基板保持台53T上保持的基板2的相对于基板保持台53T的位置校正量的数据存储在第三校正数据存储区域KR3。
[0088]控制装置24 (元件搭载作业控制部SRl)在上述步骤ST2完成后，使移动台52暂时向前方移动而使基板2的电极部2a从辅助台64的上方位置(搭载作业位置)退避(图11(b)。步骤ST3)，接着使搭载头63下降，使元件4向接近辅助台64 (位置识别摄像机65 —侦D的方向(搭载作业位置)移动(步骤ST4)。接着，此时利用两个位置识别摄像机65对元件4具有的未图示的位置识别标记进行摄像、识别(图11 (c))，算出(取得)与元件4的位置相关的信息(元件4相对于搭载头63的位置信息)，然后求得元件4的位置校正量，将其结果存储在上述存储部24a (步骤ST5)。
[0089]控制装置24 (元件搭载作业控制部SRl)在如上所述地将基板2的位置信息和元件4的位置信息存储在存储部24a后，使搭载头63上升(图12 (a)，然后使移动台52再次位于“作业位置”。接着，基于在存储部24a存储的与基板2的位置相关的信息(基板2的位置校正量)和与元件4的位置相关的信息(元件4的位置校正量)，以使元件4侧的电极部(未图示)与基板2侧的电极部2a上下对齐的方式进行中央基板运送部33C的动作控制，进行基板2相对于元件搭载作业部22b (直接来说，相对于元件4)的定位(图12 (b)。步骤ST6)。
[0090]控制装置24 (元件搭载作业控制部SRl)在如此进行基板2相对于元件搭载作业部22b的定位后，使搭载头63下降，将由搭载头63吸附的元件4按压在基板2上的ACF带3而搭载于基板2 (图12 (C)。步骤ST7)。另外，此时的搭载头63的按压力由元件搭载用的辅助台64承受。控制装置24在将元件4搭载于基板2后，使搭载头63上升(步骤ST8)。
[0091]如图8、图9、图11和图12所示，在中央基板运送部33C (右方基板运送部33R也同样)具备的两个基板保持台53分别(或者一个基板保持台53T)设有具有水平部54a的框状的薄膜状部分支承部54，所述水平部54a在该基板保持台53 (或者基板保持台53T)的后方沿X轴方向延伸。如图2等所示，通过元件搭载作业部22b搭载于基板2的元件4在搭载于基板2的状态下薄膜状部分4a伸出到基板2之外。然而，通过将上述薄膜状部分支承部54设置于各基板保持台53 (或者基板保持台53T)，利用薄膜状部分支承部54的水平部54a从下方支承在元件4搭载于基板2的状态下伸出到基板2之外的元件4的薄膜状部分4a。由此，防止了搭载于基板2的状态的元件4的薄膜状部分4a成为向下方垂下的状态。
[0092]如图13 (a)、(b)和图14 (a)、(b)所示，第一元件压接作业部22c (第二元件压接作业部22b也同样)具有沿X轴方向并列设置的两个压接头71和在各压接头71的下方沿Y轴方向延伸设置的两个元件压接作业用的辅助台72。控制装置24的元件压接作业控制部SR2(图3)控制第一元件压接作业部22c具备的压接头71和第二元件压接作业部22d具备的压接头71各自的升降动作(图3)。
[0093]关于中央基板运送部33C所具备的两个基板保持台53上载置的两张基板2 (或者在一个基板保持台53T上载置的一张基板2)，控制装置24 (元件压接作业控制部SR2)在搭载头63对元件4的搭载作业完成后，使Y轴工作台51保持不变地沿第二底座部32向左方(即沿水平方向向第一元件压接作业部22c的一侧)移动，使在两个基板保持台53上载置的两张基板2 (或者在一个基板保持台53T上载置的一张基板2)的各ACF带3所粘贴的部分位于两个元件压接作业用的辅助台72的上方(两个压接头71的下方)。此时，基于在存储部24a存储的与基板2的位置相关的信息使基板保持台53 (或者基板保持台53T)移动，将基板2相对于第一元件压接作业部22c定位(图13 (a)或者图14 (a))。
[0094]具体来说，在将两张基板2载置于两个基板保持台53的情况下，对于在左侧的基板保持台53上保持的基板2使用从第一校正数据存储区域KRl读出的位置校正量的数据进行定位，对于在右侧的基板保持台53上保持的基板2使用从第二校正数据存储区域KR2读出的位置校正量的数据进行定位。并且，使第一元件压接作业部22c所具备的两个压接头71依次下降，将由元件搭载作业部22b搭载的元件4压接在两张基板2上(图15 (a)—图15 (b)—图15 (C))。另一方面,在一个基板保持台53T载置一张基板2的情况下,对由基板保持台53T保持的基板2使用从第一校正数据存储区域KRl读出的位置校正量的数据进行定位。并且，使第一元件压接作业部22c所具备的两个压接头71依次下降，将由元件搭载作业部22b搭载的元件4压接在两张基板2上(图15 (a)—图15 (b)—图15 (C))。
[0095]同样地，关于右方基板运送部33R所具备的两个基板保持台53上载置的两张基板2 (或者在一个基板保持台53T上载置的一张基板2)，控制装置24 (元件压接作业控制部SR2)在搭载头63对元件4的搭载作业完成后，使Y轴工作台51保持不变地沿第二底座部32向右方(即向第二元件压接作业部22d的一侧)移动，使在两个基板保持台53上载置的两张基板2 (或者在一个基板保持台53T上载置的一张基板2)的元件4所搭载的部分分别位于元件压接作业用的辅助台72的上方(压接头71的下方)。接着，基于在所述步骤ST2取得的与基板2的位置相关的信息使基板保持台53移动，将基板2相对于第二元件压接作业部22d定位(图13 (a)或者图14 (a))。
[0096]具体来说，在将两张基板2载置于两个基板保持台53的情况下，对于在左侧的基板保持台53上保持的基板2使用从第三校正数据存储区域KR3读出的位置校正量的数据进行定位，对于在右侧的基板保持台53上保持的基板2使用从第四校正数据存储区域KR4读出的位置校正量的数据进行定位。并且，使第二元件压接作业部22d所具备的两个压接头71依次下降，将由元件搭载作业部22b搭载的元件4压接在两张基板2上(图15 (a)—图15 (b)—图15 (C))。另一方面,在一个基板保持台53T载置一张基板2的情况下,对由基板保持台53T保持的基板2使用从第三校正数据存储区域KR3读出的位置校正量的数据进行定位。并且，使第二元件压接作业部22d所具备的两个压接头71依次下降，将由元件搭载作业部22b搭载的元件4压接在两张基板2上(图15 (a)—图15 (b)—图15 (C))。
[0097]在第一元件压接作业部22c和第二元件压接作业部22d各自所具备的两个压接头71对元件4的压接作业中，在安装两个基板保持台53并同时处理两张基板2的情况下，所述两个基板保持台53安装在一个移动台52，因此各基板2相对于对应的压接头71的定位和此后的元件压接作业错开时机而依次进行。对该动作按照图16和图17详细说明。
[0098]控制装置24 (元件压接作业控制部SR2)首先将在两个基板保持台53上载置的两张基板2各自的搭载有元件4的部分定位到辅助台72的上方位置(压接作业位置)(图16的流程图所示的步骤ST11)。此时，基于在上述的元件搭载作业中取得并存储在存储部24a的第一校正数据存储区域KRl (或者第三校正数据存储区域KR3)中的与基板2的位置相关的信息(在左侧的基板保持台53上保持的基板2的位置校正量数据)使移动台52移动。由此，将左侧的基板2相对于对应的压接头71定位(图17 (a)。步骤ST12)。
[0099]控制装置24在将左侧的基板2定位后，接下来使左侧的压接头71下降，将基板2在辅助台72与压接头71之间夹紧，将元件4相对于左侧的基板2压接(图17 (b)。步骤ST13)。接着，在保持该夹紧状态的状态下，使左侧的基板保持台53稍稍下降，解除基板保持台53对基板2的保持(图17 (C)。步骤ST14)。
[0100]由此，能够使移动台52独立于左侧的基板2地移动，然后基于同样在上述的元件搭载作业中取得并存储在存储部24a的第二校正数据存储区域KR2 (或者第四校正数据存储区域KR4)中的与基板2的位置相关的信息(在右侧的基板保持台53上保持的基板2的位置校正量的数据)使移动台52移动，将右侧的基板2相对于对应的压接头71定位(步骤ST15)。
[0101]控制装置24在将右侧的基板2定位后，接下来使右侧的压接头71下降，将基板2在辅助台72与压接头71之间夹紧，将元件4相对于右侧的基板2压接(图17 (d)。步骤ST16)。制造装置24 (元件压接作业控制部SR2)在将元件4相对于右侧的基板2压接后，使左侧的基板保持台53上升并保持基板2，然后使左侧的压接头71上升(图17 (e)。步骤ST17)，接着使右侧的压接头71上升(图17 (f)。步骤ST18)。由此，完成元件4相对于两张基板2的压接作业。
[0102]控制装置24 (元件压接作业控制部SR2)在通过上述的步骤进行元件4相对于两张基板2压接的压接作业后，使移动台52沿Y轴工作台51向前方移动，使移动台52复原至IJ “基板交接位置”。
[0103]另外，压接头71相对于在两个基板保持台53上载置的基板2的定位和压接头71对元件4的压接也可以不像上述那样相对于左右的基板2分别进行，而是同时进行。在该情况下，算出在元件搭载作业中取得的左侧的基板2相对于左侧的基板保持台53的位置偏移和右侧的基板2相对于右侧的基板保持台53的位置偏移的平均值，将左侧和右侧的基板保持台53同时相对于各自对应的压接头71定位。然后，利用压接头71同时将元件4压接在基板2。在该情况下，与分别定位的情况相比，定位精度稍稍降低，但是能够缩短节拍时间。
[0104]在图1中，基板交接部23具有左侧(上游工序侧)和右侧(下游工序侧)的两个基板交接台23s。所述左右两个基板交接台23s被设成相对于右方基台Ilc升降自如,在两个基板交接台23s载置有在第一元件压接作业部22c或第二元件压接作业部22d完成了元件4的压接作业的两张基板2。载置于两个基板交接台23s的两张基板2由未图示的基板搬出构件输送至在元件安装装置I的下游工序下侧设置的其他装置。
[0105]如图18所示，左侧的基板交接台23s相对于右方基台Ilc固定，右侧的基板交接台23s能够在右方基台Ilc上沿X轴方向移动。在进行对小尺寸的基板2的元件安装作业的情况下，两个基板交接台23s的间隔被设定为能够彼此不会干涉地接收两张小尺寸的基板2的所述第一间隔(图18 (a))，或设定为能够彼此不会干涉地接收两张大尺寸的基板2的所述第二间隔(图18 (b))。
[0106]在图11中，在基台11的前方区域设有在左方基台11a、中央基台Ilb和右方基台Ilc的范围沿X轴方向延伸的移动底座81。在该移动底座81上从左方起依次设有左方基板转移部82a、中央基板转移部82b和右方基板转移部82c。
[0107]如图19所不,左方基板转移部82a、中央基板转移部82b和右方基板转移部82c分别具有相对于移动底座81沿X轴方向移动自如地设置的基部91和在基板91上设置的两台臂单元92。各臂单元92具备在基部91固定的臂底座93和从臂底座93向水平后方延伸设置的两个臂94。在各臂94设有吸附面朝向下方的多个吸附垫95。各臂单元92能够通过在两个臂94设置的共计四个吸附垫95对一张基板2进行真空吸附。
[0108]在利用左方基板转移部82a拾取在基板接收部21的基板接收台21s上载置的基板2的情况下，控制装置24在左方基板转移部82a的右侧的臂94的吸附垫95位于两个基板接收台21s中的固定在左方基台Ila的右侧的基板接收台21s的上方的状态下，使基板接收台21s升降。在此，左方基板转移部82a、中央基板转移部82b和右方基板转移部82c各自具备的两个臂94的X轴方向的间隔被设定为上述第一间隔，因此，在将两个基板接收台21s设定为第一间隔的情况下，右侧的基板接收台21s位于右侧的臂94的吸附垫95的下方，并且右侧的基板接收台21s位于左侧的臂94的吸附垫95的下方，在两张基板2载置于两个基板接收台21s的情况下，能够利用两个臂94同时拾取两张基板2。
[0109]在由臂94拾取在左方基板运送部33L的基板保持台36 (或者基板保持台36T)上载置的基板2，或者将由臂94拾取的基板2载置于基板保持台36 (或基板保持台36T)的情况下，控制装置24在使两个臂94的吸附垫95位于左方基板运送部33L所具备的两个基板保持台36的上方的状态下(或者使两个臂94中的一个臂94的吸附垫95位于一个基板保持台36T的上方的状态下)使两个基板保持台36 (或者一个基板保持台36T)升降。
[0110]而且，在由臂94拾取在中央基板运送部33C或者右方基板运送部33R的基板保持台53 (或者基板保持台53T)上保持的基板2，或者将由臂94拾取的基板2载置于基板保持台53 (或基板保持台53T)的情况下，控制装置24在使两个臂94的吸附垫95位于中央基板运送部33C或右方基板运送部33R所具备的两个基板保持台53的上方的状态下或者使两个臂94中的一个臂94的吸附垫95位于一个基板保持台53T的上方的状态下(或者使两个臂94中的一个臂94的吸附垫95位于一个基板保持台53T的上方的状态下)使两个基板保持台53 (或者一个基板保持台53T)升降。
[0111]控制装置24控制左方基板转移部82a、中央基板转移部82b、右方基板转移部82c各自沿移动底座81向X轴方向的移动动作、各臂单元92经由吸附垫95对基板2的吸附动作(图3)。具体来说，控制装置24使左方基板转移部82a动作来将基板2从基板接收部21运送至左方基板运送部33L，使中央基板转移部82b动作来将基板2从左方基板运送部33L运送至中央基板运送部33C或者右方基板运送部33R。即，将通过ACF粘贴作业部22a粘贴有ACF带3的基板2分开载置到中央基板运送部33C所具备的两个基板保持台53 (或者一个基板保持台53T)以及右方基板运送部33R所具备的两个基板保持台53 (或者一个基板保持台53T)。而且，控制装置24使右方基板转移部82c动作，将基板2从中央基板运送部33C或者右方基板运送部33R运送至基板交接部23。
[0112]接着，对元件安装装置I进行对基板2的元件安装作业时各部分的动作进行说明。如图20所示，控制装置24将左方基板转移部82a、中央基板转移部82b和右方基板转移部82c各自可能的位置设定为:基板接收部21的前方位置(第一位置Pl)、ACF粘贴作业部22a的前方位置(第二位置P2)、第一元件压接作业部22c的前方位置(第三位置P3)、元件搭载作业部22b的前方位置(第四位置P4)、第二元件压接作业部22d的前方位置(第五位置P5)以及基板交接部23的前方位置(第六位置P6)。
[0113]在该元件安装装置I中，如上所述，能够对大小两种尺寸的基板2进行元件安装作业，在以下的说明中为了方便，将对小尺寸的基板2进行元件安装的作业模式称为第一模式，将对大尺寸的基板2进行元件安装的作业模式称为第二模式。在元件安装装置I以第一模式实施元件安装作业还是以第二模式实施元件安装作业的选择是通过操作者OP操作与控制装置24相连的模式选择开关90 (图3)来进行的。
[0114]在设定为第一模式的情况下，基板接收部21在将两个基板接收台21s设定为第一间隔的状态下同时接收从上游工序侧输送来的两张小尺寸的基板2。另一方面，在设定为第二模式的情况下，基板接收部21在将两个基板接收台21s设定为第二间隔的状态下同时接收从上游工序侧输送来的两张大尺寸的基板2。
[0115]同样地，在设定为第一模式的情况下，基板交接部23在将两个基板交接台23s设定为第一间隔的状态下从中央基板运送部33C或右方基板运送部33R同时接收两张基板2并交接到下游工序侧，在设定为第二模式的情况下，基板交接部23在将两个基板交接台23s设定为第二间隔的状态下从中央基板运送部33C或右方基板运送部33R分别接收一张基板并交接到下游工序侧。
[0116]操作者OP在选择第一模式的情况下，首先，将两个基板保持台36安装到左方基板运送部33L的移动台35上，并且将两个基板保持台53安装到中央基板运送部33C和右方基板运送部33R各自的移动台52上。接着，进行模式选择开关90的操作，选择第一模式。
[0117]在由模式选择开关90选择第一模式后，控制装置24使左方基板转移部82a位于第一位置P1、使中央基板转移部82b位于第二位置P2、使右方基板转移部82c位于第四位置P4，而且使中央基板运送部33C位于元件搭载作业部22b的前方位置，使右方基板运送部33R位于第二元件压接作业部22d的前方位置。接着，将基板接收部21的两个基板接收台21s的间隔和基板交接部23的两个基板交接台23s的间隔均设定为第一间隔(以后不变化)，在由基板接收部21的两个基板接收台21s接收从上游工序侧的装置输送来的两张小尺寸的基板2后(基板接收工序)，由左方基板转移部82a的两个臂94拾取所述接收的两张基板2 (图21 (a))。
[0118]控制装置24在由左方基板转移部82a的两个臂94从基板接收部21的两个基板接收台21s拾取两张基板2后，通过使左方基板转移部82a位于第二位置P2、使中央基板转移部82b位于第四位置P4、使右方基板转移部82c位于第六位置P6，从而将左方基板转移部82a拾取的两张基板2载置并保持在左方基板运送部33L的两个基板保持台36 (图21(b)。基板转移工序)。接着，使左方基板运送部33L的移动台35移动到“作业位置”，执行ACF粘贴作业部22a对两张基板2的ACF粘贴作业(图21 (C))。另外，在此期间，在基板接收部21的两个基板接收台21s上载置新的两张基板2。
[0119]控制装置24在执行了 ACF粘贴作业部22a对两张基板2的ACF粘贴作业后，使ACF左方基板运送部33L的移动台35移动到“基板交接位置”，然后使左方基板转移部82a位于第一位置P1、使中央基板转移部82b位于第二位置P2、使右方基板转移部82c位于第四位置P4。接着，利用左方基板转移部82a的两个臂94拾取基板接收部21的两个基板接收台21s上的两张基板2，利用中央基板转移部82b的两个臂94拾取左方基板运送部33L上的两张基板2 (图22 (a))。
[0120]控制装置24利用左方基板转移部82a的两个臂94从基板接收部21的两个基板接收台21s拾取两张基板2，利用中央基板转移部82b的两个臂94拾取左方基板运送部33L的两个基板保持台36上的两张基板2，然后使左方基板转移部82a位于第二位置P2、使中央基板转移部82b位于第四位置P4、使右方基板转移部82c位于第六位置P6，由此，将利用左方基板转移部82a的两个臂94拾取的两张基板2载置并保持在左方基板运送部33L的两个基板保持台36，将由中央基板转移部82b的两个臂94拾取的两张基板2载置并保持在中央基板运送部33C的两个基板保持台53 (图22 (b))。
[0121]控制装置24接下来使左方基板运送部33L的移动台35位于“作业位置”并执行ACF粘贴作业部22a对两张基板2的ACF粘贴作业，另一方面，使中央基板运送部33C的移动台52移动到“作业位置”，使两个基板保持台53上的两张基板2中的左方的基板2位于元件搭载作业用的辅助台64的上方，从而执行元件搭载作业部22b对左方的基板2的元件搭载作业(图22 (C)。元件搭载工序)。
[0122]控制装置24在执行了上述元件搭载作业部22b对左方的基板2的元件搭载作业后使中央基板运送部33C向左方移动，使在中央基板运送部33C的两个基板保持台53上载置的两张基板2中的右方的基板2位于元件搭载作业用的辅助台64的上方，从而执行元件搭载作业部22b对右方的基板2的元件搭载作业(图23 (a)。元件搭载工序)。另外，在此期间，在基板接收部21的两个基板接收台21s上载置新的两张基板2。
[0123]控制装置24在执行了基于上述元件搭载作业部22b的元件搭载作业后，使中央基板运送部33C保持不变地向左方(第一元件压接作业部22c的一侧)移动，将在两个基板保持台53上载置的基板2运送到第一元件压接作业部22c，使在两个基板保持台53上载置的两张基板2位于两个元件压接作业用的辅助台72的上方，从而执行第一元件压接作业部22c对两张基板2的元件压接作业(图23(b)。元件压接工序)。而且，与此同时，使左方基板转移部82a位于第一位置Pl，利用左方基板转移部82a的两个臂94拾取在基板接收部21的两个基板接收台21s上载置的两张基板2，另一方面，使左方基板运送部33L的移动台35位于“基板交接位置”并与此配合地使中央基板转移部82b位于第二位置P2，利用中央基板转移部82b的两个臂94拾取左方基板运送部33L的两个基板保持台36上的两张基板2。而且，使右方基板运送部33R位于元件搭载作业部22b的前方位置，并且使右方基板转移部82c位于第四位置P4。
[0124]控制装置24在上述作业完成后，使右方基板转移部82c位于第六位置P6，然后使中央基板转移部82b位于第四位置P4，将从左方基板运送部33L的两个基板保持台36上拾取的两张基板2载置并保持在右方基板运送部33R的两个基板保持台53，而且通过使左方基板转移部82a位于第二位置P2，将从基板接收部21的两个基板接收台21s拾取的两张基板2载置并保持在左方基板运送部33L的两个基板保持台36 (图23 (C))。
[0125]控制装置24在将基板2载置于右方基板运送部33R的两个基板保持台36和左方基板运送部33L的两个基板保持台53后，使左方基板运送部33L的移动台35位于“作业位置”并执行ACF粘贴作业部22a对两张基板2的ACF粘贴作业，另一方面，使右方基板运送部33R的移动台52移动到“作业位置”，使在两个基板保持台53上载置的两张基板2中的右方的基板2位于元件搭载作业用的辅助台64的上方，从而执行元件搭载作业部22b对右方的基板2的元件搭载作业(图24 (a)。元件搭载工序)。
[0126]控制装置24在执行了基于上述ACF粘贴作业部22a的ACF粘贴作业和基于元件搭载作业部22a的元件搭载作业后，使右方基板运送部33R向右方移动，使在右方基板运送部33R的两个基板保持台53上载置的两张基板2中的左方的基板2位于元件搭载作业用的辅助台64的上方，从而执行元件搭载作业部22b对左方的基板2的元件搭载作业(图24(b)。元件搭载工序)。另外，在此期间，在基板接收部21的两个基板接收台21s上载置(搬入)新的两张基板2。
[0127]控制装置24在执行了基于上述元件搭载作业部22b的元件搭载作业后，使右方基板运送部33R保持不变地向右方(第二元件压接作业部22d的一侧)移动，将在两个基板保持台53上载置的两张基板2运送到第二元件压接作业部22d，使在两个基板保持台53上载置的两张基板2位于两个元件压接作业用的辅助台72的上方，从而执行第二元件压接作业部22d对两张基板2的元件压接作业(图24(c)。元件压接工序)。而且，与此同时，使左方基板转移部82a位于第一位置Pl，利用左方基板转移部82a的两个臂94拾取在基板接收部21的两个基板接收台21s上载置的两张基板2，另一方面，使左方基板运送部33L的移动台35位于“基板交接位置”并与此配合地使中央基板转移部82b位于第二位置P2，利用中央基板转移部82b的两个臂94拾取左方基板运送部33L的两个基板保持台36上的两张基板2。而且，使中央基板运送部33C的移动台52移动到“基板交接位置”并使中央基板运送部33C位于元件搭载作业部22b的前方位置，利用位于元件搭载作业部22b的前方的右方基板转移部82c的两个臂94拾取中央基板运送部33C的两个基板保持台36上的两张基板2(图 24 (C))。
[0128]控制装置24在上述作业完成后，使右方基板转移部82c位于第六位置P6并将两张基板2载置在基板交接部23的两个基板交接台23s，另一方面，使中央基板转移部82b位于第四位置P4，将从左方基板运送部33L的两个基板保持台36上拾取的两张基板2载置并保持在中央基板运送部33C的两个基板保持台53，而且通过使左方基板转移部82a位于第二位置P2，将从基板接收部21的两个基板接收台21s拾取的两张基板2载置并保持在左方基板运送部33L的两个基板保持台36 (图25 (a))。
[0129]控制装置24在将基板2载置并保持在中央基板运送部33C的两个基板保持台36和左方基板运送部33L的两个基板保持台36后，使左方基板运送部33L的移动台35位于“作业位置”并执行ACF粘贴作业部22a对两张基板2的ACF粘贴作业，另一方面，使中央基板运送部33C的移动台52位于“作业位置”，使两张基板2中的左方的基板2位于元件搭载作业用的辅助台64的上方，从而执行元件搭载作业部22b对左方的基板2的元件搭载作业(图25 (b)。元件搭载工序)。
[0130]控制装置24在执行了基于上述ACF粘贴作业部22a的ACF粘贴作业和基于元件搭载作业部22a的元件搭载作业后，使中央基板运送部33C向左方移动，使在中央基板运送部33C的两个基板保持台53上载置的两张基板2中的右方的基板2位于元件搭载作业用的辅助台64的上方，从而执行元件搭载作业部22b对右方的基板2的元件搭载作业(图25(C)。元件搭载工序)。另外，在此期间，在基板接收部21的两个基板接收台21s上载置新的两张基板2。
[0131]控制装置24在执行了基于上述元件搭载作业部22b的元件搭载作业后，使中央基板运送部33C保持不变地向左方(第一元件压接作业部22c的一侧)移动，将在两个基板保持台53上载置的两张基板2运送到第一元件压接作业部22c，使在两个基板保持台53上载置的两张基板2位于两个元件压接作业用的辅助台72的上方，从而执行第一元件压接作业部22c对两张基板2的元件压接作业(图26(a)。元件压接工序)。而且，与此同时，使左方基板转移部82a位于第一位置Pl，利用左方基板转移部82a的两个臂94拾取在基板接收部21的两个基板接收台21s上载置的两张基板2，另一方面，使左方基板运送部33L的移动台35位于“基板交接位置”并与此配合地使中央基板转移部82b位于第二位置P2，利用中央基板转移部82b的两个臂94拾取左方基板运送部33L的两个基板保持台36上的两张基板2。而且，使右方基板运送部33R的移动台52移动到“基板交接位置”并使右方基板运送部33R位于元件搭载作业部22b的前方，利用已经位于元件搭载作业部22b的前方的右方基板转移部82c的两个臂94拾取右方基板运送部33R上的两张基板2 (图26 (a))。
[0132]控制装置24在上述作业完成后，使右方基板转移部82c位于第六位置P6并将两张基板2载置在基板交接部23的两个基板交接台23s，并且，使中央基板转移部82b位于第四位置P4，将从左方基板运送部33L的基板保持台36拾取的两张基板2载置并保持在右方基板运送部33R的两个基板保持台53，使左方基板转移部82a位于第二位置P2，从而将从基板接收部21的两个基板接收台21s拾取的两张基板2载置并保持在左方基板运送部33L的两个基板保持台36 (图26 (b))。
[0133]该图26 (b)的状态与图23 (C)的状态完全相同，因此以后，通过重复图23 (C)?图26 Ca)的工序，能够重复执行从基板接收部21接收来自外部的基板2经过元件4向基板2的装配直到基板交接部23向外部交接基板2为止的一连串的动作，从而进行连续的基板生产。
[0134]另一方面，操作者OP在选择第二模式的情况下，首先，将一个基板保持台36T安装到左方基板运送部33L的移动台35上，并且将一个基板保持台53T也安装到中央基板运送部33C和右方基板运送部33R各自的移动台52上。接着，进行模式选择开关90的操作，选择第二模式。
[0135]在由模式选择开关90选择第二模式后，控制装置24使左方基板转移部82a位于第一位置P1、使中央基板转移部82b位于第二位置P2、使右方基板转移部82c位于第四位置P4，而且使中央基板运送部33C位于元件搭载作业部22b的前方位置，使右方基板运送部33R位于第二元件压接作业部22d的前方位置。接着，将基板接收部21的两个基板接收台21s的间隔设定为第二间隔，在由基板接收部21的两个基板接收台21s接收从上游工序侧的装置输送来的两张大尺寸的基板2后(基板接收工序)，由左方基板转移部82a的右侧的臂94拾取所述接收的两张基板2中的右方的基板2 (图27 (a))。
[0136]控制装置24在由左方基板转移部82a的右侧的臂94从基板接收部21的右侧的基板接收台21s拾取基板2后，使左方基板转移部82a位于第二位置P2、使中央基板转移部82b位于第四位置P4、使右方基板转移部82c位于第六位置P6，从而将左方基板转移部82a拾取的基板2载置并保持在左方基板运送部33L的基板保持台36T (图27 (b)。基板转移工序)。在此期间，使基板接收部21的载置有基板2的状态的左侧的基板接收台21s向右方移动，将两个基板接收台21s的间隔设定为第一间隔(图27(b))。接着，使左方基板运送部33L的移动台35移动到“作业位置”，执行ACF粘贴作业部22a对基板2的ACF粘贴作业(图 27 (C))。
[0137]控制装置24在执行了 ACF粘贴作业部22a对基板2的ACF粘贴作业后，使ACF左方基板运送部33L的移动台35移动到“基板交接位置”，然后使左方基板转移部82a位于第一位置P1、使中央基板转移部82b位于第二位置P2、使右方基板转移部82c位于第四位置P4。接着，利用左方基板转移部82a的左侧的臂94拾取基板接收部21的左侧的基板接收台21s上的基板2，利用中央基板转移部82b的右侧的臂94拾取左方基板运送部33L上的基板2 (图28 (a))。
[0138]控制装置24在利用左方基板转移部82a拾取基板接收部21的左侧的基板接收台21s上的基板2，利用中央基板转移部82b拾取左方基板运送部33L的基板保持台36T上的基板2后，使左方基板转移部82a位于第二位置P2、使中央基板转移部82b位于第四位置P4、使右方基板转移部82c位于第六位置P6，由此，将由左方基板转移部82a拾取的基板2载置并保持在左方基板运送部33L的基板保持台36T，将由中央基板转移部82b拾取的基板2载置并保持在中央基板运送部33C的基板保持台53T (图28 (b))。并且，在此期间，使基板接收部21的左侧的基板接收台21s向左方移动，将两个基板接收台21s的间隔设定为第二间隔。
[0139]控制装置24接下来使左方基板运送部33L的移动台35位于“作业位置”并执行ACF粘贴作业部22a对基板2的ACF粘贴作业，另一方面，使中央基板运送部33C的移动台52移动到“作业位置”，使基板2位于元件搭载作业用的辅助台64的上方，从而执行元件搭载作业部22b对基板2的元件搭载作业(图28(c)。元件搭载工序)。另外，在此期间，在基板接收部21载置新的两张大尺寸的基板2。
[0140]控制装置24在执行了上述元件搭载作业部22b对基板2的元件搭载作业后，使中央基板运送部33C保持不变地向左方(第一元件压接作业部22c的一侧)移动，将在基板保持台53T上保持的基板2运送到第一元件压接作业部22c，使在基板保持台53T上保持的基板2位于两个元件压接作业用的辅助台72的一方(此处为左方)的辅助台72的上方，从而执行第一元件压接作业部22c对基板2的元件压接作业(图29(a)。元件压接工序)。而且，与此同时，使左方基板转移部82a位于第一位置P1，利用左方基板转移部82a的右侧的臂94拾取在基板接收部21的右侧的基板接收台21s上载置的基板2，另一方面，使左方基板运送部33L的移动台35位于“基板交接位置”并与此配合地使中央基板转移部82b位于第二位置P2，利用中央基板转移部82b的左侧的臂94拾取左方基板运送部33L上的基板
2。而且,使右侧基板转移部82c位于第四位置P4 (图29 (a))。
[0141]控制装置24在上述作业完成后，使右方基板转移部82c位于第六位置P6，并且使右侧基板运送部33R位于元件搭载作业部22b的前方位置，然后使中央基板转移部82b位于第四位置P4，从而将从左方基板运送部33L拾取的基板2载置并保持在右方基板运送部33R的基板保持台53T，而且使左方基板转移部82a位于第二位置P2，从而将从基板接收部21拾取的基板2载置并保持在左方基板运送部33L的基板保持台36T (图29 (b))。
[0142]控制装置24在将基板2分别保持于右方基板运送部33R的基板保持台53T和左方基板运送部33L的基板保持台36T后，使左方基板运送部33L的移动台35位于“作业位置”并执行ACF粘贴作业部22a对基板2的ACF粘贴作业，另一方面，使右方基板运送部33R的移动台52移动到“作业位置”，使在基板保持台53T上载置的基板2位于元件搭载作业用的辅助台64的上方，从而执行元件搭载作业部22b对基板2的元件搭载作业(图29 (C)。元件搭载工序)。
[0143]控制装置24在执行了基于上述ACF粘贴作业部22a的ACF粘贴作业和基于元件搭载作业部22a的元件搭载作业后，使右方基板运送部33R保持不变地向右方(第二元件压接作业部22d的一侧)移动，将在基板保持台53T上保持的基板2运送到第二元件压接作业部22d，使在基板保持台53T上载置的基板2位于一方(在此为左方)的元件压接作业用的辅助台72的上方，从而执行第二元件压接作业部22d对基板2的元件压接作业(图30(a)。元件压接工序)。而且，与此同时，使左方基板转移部82a位于第一位置P1，利用左方基板转移部82a的左侧的臂94拾取在基板接收部21的左侧的基板接收台21s上载置的基板2，另一方面，使左方基板运送部33L的移动台35位于“基板交接位置”并与此配合地使中央基板转移部82b位于第二位置P2，利用中央基板转移部82b的右侧的臂94拾取左方基板运送部33L的基板保持台36T上的基板2。而且，使中央基板运送部33C的移动台52移动至IJ“基板交接位置”并使中央基板运送部33C位于元件搭载作业部22b的前方位置，利用位于元件搭载作业部22b的前方的右方基板转移部82c的右侧的臂94拾取中央基板运送部33C的基板保持台53T上的基板2 (图30 (a))。
[0144]控制装置24在上述作业完成后，使右方基板转移部82c位于第六位置P6并将由右侧的臂94拾取的基板2载置在设定成第二间隔的基板交接部23的右侧的基板交接台23s，另一方面，使中央基板转移部82b位于第四位置P4，将从左方基板运送部33L的基板保持台36T上拾取的基板2载置并保持在中央基板运送部33C的基板保持台53T，且使左方基板转移部82a位于第二位置P2，从而将从基板接收部21的左侧的基板接收台21s拾取的基板2载置并保持在左方基板运送部33L的基板保持台36T (图30 (b))。
[0145]控制装置24在将基板2分别载置于中央基板运送部33C的基板保持台53T和左方基板运送部33L的基板保持台36T后，使左方基板运送部33L的移动台35位于“作业位置”并执行ACF粘贴作业部22a对基板2的ACF粘贴作业，另一方面，使中央基板运送部33C的移动台52移动到“作业位置”，使基板保持台53T上的基板2位于元件搭载作业用的辅助台64的上方，从而执行元件搭载作业部22b对基板2的元件搭载作业(图30 (C)。元件搭载工序)。并且，在此期间，使基板交接部23的右侧的基板交接台23s向右方移动，将两个基板交接台23s的间隔设定为第二间隔(图30 (C))。
[0146]控制装置24在执行了基于上述ACF粘贴作业部22a的ACF粘贴作业和基于元件搭载作业部22b的元件搭载作业后，使中央基板运送部33C保持不变地向左方(第一元件压接作业部22c的一侧)移动，将在基板保持台53T上保持的基板2运送到第一元件压接作业部22c，使在基板保持台53T上载置的基板2位于一方(在此为右侧)的元件压接作业用的辅助台72的上方，从而执行第一元件压接作业部22c对基板2的元件压接作业(图31(a)。元件压接工序)。而且，与此同时，使左方基板转移部82a位于第一位置P1，利用左方基板转移部82a的右侧的臂94拾取在基板接收部21的右侧的基板接收台21s上载置的基板2，另一方面，使左方基板运送部33L的移动台35位于“基板交接位置”并与此配合地使中央基板转移部82b位于第二位置P2，利用中央基板转移部82b的左侧的臂94拾取左方基板运送部33L的基板保持台36T上的基板2 (图31 (a))。
[0147]控制装置24在上述作业完成后，使右方基板转移部82c位于第六位置P6并将由左侧的臂94拾取的基板2载置在基板交接部23的左侧的基板交接台23s，并且，使中央基板转移部82b位于第四位置P4，将从左方基板运送部33L的基板保持台36T拾取的基板2载置在右方基板运送部33R的基板保持台53T，使左方基板转移部82a位于第二位置P2，从而将从基板接收部21的右侧的基板接收台21s拾取的基板2载置在左方基板运送部33L的基板保持台36T (图31 (b))。
[0148]该图31 (b)的状态与图29 (b)的状态完全相同，因此以后，通过重复图29 (b)?图31 Ca)的工序，能够重复执行从向基板接收部21搬入基板2经过元件4向基板2的装配直到向基板交接部23搬出为止的一连串的动作，从而进行连续的基板生产。
[0149]如以上说明了的，本实施方式的元件安装装置I除了对基板2进行元件安装的元件安装部22之外，还具备:基板接收部21，其将两个基板接收台21s的间隔设定为第一间隔而接收从上游工序侧输送来的两张小尺寸的基板2，或者将两个基板接收台21s的间隔设定为比第一间隔大的第二间隔而接收从上游工序侧输送来的两张尺寸比小尺寸的基板2大的大尺寸的基板2 ；以及左方基板转移部82a,其将基板接收部21接收的小尺寸或者大尺寸的基板2转移到元件安装部22，左方基板转移部82a在基板接收部21接收到两张小尺寸的基板2的情况下，将该基板接收部21接收到的两张小尺寸的基板2同时转移到元件安装部22，并在基板接收部21接收到两张大尺寸的基板2的情况下，将该基板接收部21接收到的两张大尺寸的基板2 —张一张地分别转移到元件安装部22。
[0150]并且，元件安装部22具备:作为基板保持部的左方基板运送部33L，其保持由左方基板转移部82a同时转移两张过来的小尺寸的基板2或者由左方基板转移部82a —张一张地分别转移过来的大尺寸的基板2 ;ACF粘贴作业部22a (粘接部件粘贴作业部)，其将作为粘接部件的ACF带3粘贴于在左方基板运送部33L上保持的基板2 ;元件搭载作业部22b，其将元件4搭载到由ACF粘贴作业部22a粘贴了 ACF带3的基板2 ；以及元件压接作业部(第一元件压接作业部22c和第二元件压接作业部22d)，其将利用元件搭载作业部22b搭载的元件4压接到在元件搭载作业部22b搭载有元件4的基板2，左方基板运送部33L能够选择性地安装同时保持两张小尺寸的基板2的第一基板保持台(两个基板保持台36)或者保持一张大尺寸的基板2的第二基板保持台(一张基板保持台36T)。
[0151]并且，进而，左方基板转移部82a具有两个臂94 (拾取构件)，所述两个臂94被配置成能够同时拾取在基板接收部21将两个基板接收台21s调整为第一间隔的状态下接收的两张小尺寸的基板2的间隔，在基板接收部21将两个基板接收台21s调整为第一间隔的状态下接收到两张小尺寸的基板2的情况下，左方基板转移部82a利用两个臂94同时拾取两张小尺寸的基板2并转移到左方基板运送部33L，另一方面，在基板接收部21将两个基板接收台21s调整为第二间隔的状态下接收到两张大尺寸的基板2的情况下，左方基板转移部82a利用两个臂94中的一个臂94拾取一张大尺寸的基板2并转移到左方基板运送部33L，然后在基板接收部21将两个基板接收台21s调整为第一间隔后，利用两个臂94中的另一个臂94拾取余下的一张大尺寸的基板2并转移到左方基板运送部33L。
[0152]而且，本实施方式的元件安装方法包括:基板接收工序，将两个基板接收台21s的间隔设定为第一间隔而接收从上游工序侧输送来的两张小尺寸的基板2，或者将两个基板接收台21s的间隔设定为比第一间隔大的第二间隔而接收从上游工序侧输送来的尺寸比小尺寸的基板大的两张大尺寸的基板2 ;以及基板转移工序，将在基板接收工序中接收到的小尺寸或者大尺寸的基板2转移到元件安装部22，基板转移工序为，在基板接收工序中接收到两张小尺寸的基板2的情况下，将该基板接收工序中接收到的两张小尺寸的基板2同时转移到元件安装部22，在基板接收工序中接收到两张大尺寸的基板2的情况下，将该基板接收工序中接收到的两张大尺寸的基板2 —张一张地分别转移到元件安装部。
[0153]在本实施方式的元件安装装置I和元件安装方法中，将两个基板接收台21s的间隔设定为第一间隔而接收从上游工序侧输送来的两张小尺寸的基板2，或者将两个基板接收台21s的间隔设定为比第一间隔大的第二间隔而接收从上游工序侧输送来的两张尺寸比小尺寸的基板2大的大尺寸的基板2。并且，在接收到两张大尺寸的基板2的情况下，将该接收到的两张大尺寸的基板2 —张一张地分别转移到元件安装部22，从而能够对小尺寸的基板2和大尺寸的基板2中的任意一种进行兀件安装，因此能够使大小两种尺寸的基板2的生产线统一化。
[0154]工业上的可利用性
[0155]提供一种元件安装装置和元件安装方法，对于小尺寸的基板和大尺寸的基板均能够进行元件安装，能够使大小两种尺寸的基板的生产线统一化。
【权利要求】
1.一种元件安装装置，为具备对基板进行元件安装的元件安装部的元件安装装置，其特征在于， 所述元件安装装置具备:
基板接收部，将两个基板接收台的间隔设定为第一间隔而接收从上游工序侧输送来的两张第一尺寸的基板，或者将所述两个基板接收台的间隔设定为比所述第一间隔大的第二间隔而接收从所述上游工序侧输送来的两张尺寸比所述第一尺寸的基板大的第二尺寸的基板；以及 基板转移部，将所述基板接收部接收到的所述第一尺寸或所述第二尺寸的基板转移到所述基板安装部， 在所述基板接收部接收到两张所述第二尺寸的基板的情况下，所述基板转移部将该接收到的两张所述第二尺寸的基板一张一张地分别转移到元件安装部。
2.根据权利要求1所述的元件安装装置，其特征在于， 在所述基板接收部接收到两张所述第一尺寸的基板的情况下，所述基板转移部将该接收到的两张所述第一尺寸的基板同时转移到所述元件安装部。
3.根据权利要求1或2所述的元件安装装置，其特征在于， 所述元件安装部具备: 基板保持部，对由所述基板转移部同时转移两张过来的所述第一尺寸的基板或者由所述基板转移部一张一张地分别转移过来的所述第二尺寸的基板进行保持； 粘接部件粘贴作业部，将粘接部件粘贴到由基板保持部保持的基板； 元件搭载作业部，将元件搭载到由所述粘接部件粘贴作业部粘贴了粘接部件的基板；以及 元件压接作业部，将利用所述元件搭载作业部搭载的元件压接于在所述元件搭载作业部搭载了元件的基板， 所述基板保持部能够选择性地安装同时保持两张所述第一尺寸的基板的第一基板保持台或者保持一张所述第二尺寸的基板的第二基板保持台。
4.根据权利要求1至3的任意一项所述的元件安装装置，其特征在于， 所述基板转移部具有两个拾取构件，所述两个拾取构件被配置成能够同时拾取所述基板接收部在将所述两个基板接收台调整为所述第一间隔的状态下接收到的两张所述第一尺寸的基板的间隔，在所述基板接收部在将所述两个基板接收台调整为所述第一间隔的状态下接收到两张所述第一尺寸的基板的情况下，所述基板转移部利用所述两个拾取构件同时拾取两张所述第一尺寸的基板并转移到所述基板保持部。
5.根据权利要求4所述的元件安装装置，其特征在于， 在所述基板接收部在将所述两个基板接收台调整为所述第二间隔的状态下接收到两张所述第二尺寸的基板的情况下，所述基板转移部利用所述两个拾取构件中的一个拾取构件拾取一张所述第二尺寸的基板并转移到所述基板保持部，然后在所述基板接收部将所述两个基板接收台调整为所述第一间隔后，所述基板转移部利用所述两个拾取构件中的另一个拾取构件拾取余下的一张所述第二尺寸的基板并转移到所述基板保持部。
6.一种元件安装方法，为通过具备对基板进行元件安装的元件安装部的元件安装装置实现的元件安装方法，其特征在于，所述元件安装方法包括: 基板接收工序，将两个基板接收台的间隔设定为第一间隔而接收从上游工序侧输送来的两张第一尺寸的基板，或者将所述两个基板接收台的间隔设定为比所述第一间隔大的第二间隔而接收从所述上游工序侧输送来的两张尺寸比所述第一尺寸的基板大的第二尺寸的基板；以及 基板转移工序，将在所述基板接收工序中接收到的所述第一尺寸或所述第二尺寸的基板转移到所述基板安装部， 在所述基板接收工序中接收到两张所述第二尺寸的基板的情况下，在所述基板转移工序中将该接收到的两张所述第二尺寸的基板一张一张地分别转移到元件安装部。
7.根据权利要求6所述的元件安装方法，其特征在于， 在所述基板接收工序中接收到两张所述第一尺寸的基板的情况下，在所述基板转移工序中将该接收到的两张所述第一尺寸的基板同时转移到所述元件安装部。
【文档编号】H05K13/04GK103781341SQ201310488310
【公开日】2014年5月7日 申请日期:2013年10月17日 优先权日:2012年10月17日
【发明者】味村好裕, 滨崎库泰 申请人:松下电器产业株式会社