1.新型衬底解键合装置，包括底板（1）、前限位挡块（2）、后限位挡块（3）、导轨（4）、滑动装置（5）、上盘定位盘（6）、气缸（7）、上加热盘（8）和立柱（10），其特征在于：所述前限位挡块（2）和后限位挡块（3）固定在底板（1）上，所述导轨（4）固定在前限位挡块（2）和后限位挡块（3）之间的底板（1）上，所述滑动装置（5）能够在导轨（4）上滑动，所述气缸（7）固定在滑动装置（5）上，所述气缸（7）上固定有下加热盘（9），所述立柱（10）固定在底板（1）上，所述立柱（10）的顶端设有横梁（11），所述横梁（11）上通过固定螺钉（14）固定有上盘定位盘（6），所述上盘定位盘（6）和上加热盘（8）之间通过紧固螺钉（15）连接在一起，所述上盘定位盘（6）和上加热盘（8）之间的紧固螺钉（15）上设有弹簧（16），所述下加热盘（9）和上加热盘（8）上设有真空接头（12）和多个真空吸孔（13）。