一种纳米压印组件的制作方法

文档序号:14443789阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供了一种纳米压印组件,包括上模组(1)、基板(2)及下底板(3),上模组连接有真空发生装置,上模组表面设置有用于吸附固定住压印模片的吸气孔(11),基板用于定位放置待压印产品(4),基板设置在下底板上,上模组可相对下底板转动,从而使上模组上的压印模片可与基板上的待压印产品贴合而实现压印。本实用新型的纳米压印组件可以大大提高纳米压印工作效率,方便整个工艺实现全程流水线生产,并消除纳米压印过程中人工影响因素,提高生产良率,保证整个生产工艺的稳定性。

技术研发人员:饶桥兵;王有明
受保护的技术使用者:蓝思科技(长沙)有限公司
文档号码:201721260146
技术研发日:2017.09.28
技术公布日:2018.05.15

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