专利名称:激光干涉反射镜组件的制作方法
技术领域：
本发明特别涉及一种激光干涉反射镜组件，但并不限于运用在电子束光刻系统中。
背景技术：
在电子束光刻系统中，激光干涉反射镜组件通常被置于X-Y定位台与固定工件的夹盘之间。反射镜组件包括竖直于基部之上的一对垂直的平面反射镜。因此，当夹盘被置于基部上时，被其支撑的工件位于与反射镜基本相同的高度。
常规反射镜组件由典型地具有厚度约30-60mm的一块玻璃加工而成。留下玻璃块两个朝外垂直的侧面未被切割，玻璃块变薄以沿着玻璃块未切割的两侧面形成相对于凸边具有大约15-20mm深的侧开凹口，所述凸缘沿着凹口的两侧行进。没被切割侧面的上面部分被抛光以形成反射镜。
玻璃块必须足够厚以允许对其加工。然而，这会产生沉重的反射镜组件。如采用较薄的玻璃块，玻璃块很可能在加工的过程中破碎。
一种解决办法是提供一种反射镜组件，其具有平坦的玻璃基板和粘于基板之上的两个反射镜块。然而，基板表面高度的差异会致使反射镜块变形。因而，除非基板被抛光到特别平坦的程度，例如，高度差异不到1μm，否则，反射镜组件不能够为激光干涉仪提供足够平坦的反射镜。
本发明力图提供一种改进的反射镜组件。
发明内容根据本发明，提供一种反射镜组件，其包括一具有上表面的玻璃基板和第一、第二玻璃反射镜块，利用两个或三个为一组的玻璃支持体将每一玻璃反射镜块支撑于玻璃基板的上表面，每个支持体被粘于玻璃块上，每个反射镜块被粘于各组支持体上，并且第一和第二玻璃反射镜块被置于玻璃镜块上以提供第一和第二垂直的反射镜。
该反射镜组件的优点在于易于制造，因为基板和反射镜不必作为整体从同一玻璃块加工而来。而且，将支持体与玻璃块粘于一起和将每个反射镜块与各组支持体粘于一起能够提供一个坚固的结构。
基板、反射镜块及支持体可用同样的玻璃材料制备，例如Zerodur(RTM)玻璃。反射镜块可沿基板上垂直的侧边设置。反射镜块具有朝外的侧面，该侧面与基板朝外的侧面对齐。
基板可具有介于5-10mm之间的厚度或介于0.025∶1-0.05∶1之间的纵横比。
支持体可以是间隔体的形式，并具有小于1mm的厚度和介于1-10mm之间的宽度。
上支持体可以是基本平坦的。
现通过例子并参考附图阐述本发明的实施例，其中图1为根据本发明的激光干涉反射镜组件的透视图；图2为图1中示出的反射镜组件的侧面图；图3为图1中示出的反射镜组件的平面图；图4为根据本发明的另一激光干涉反射镜组件一部分的平面图；图5为X-Y定位台、根据本发明的激光干涉反射镜组件、夹盘及夹盘支持体的侧面图。
具体实施方式参考图1至图3，根据本发明一个实施例的激光干涉反射镜组件1包括玻璃基板2和第一、第二玻璃反射镜块3、4，反射镜块3、4通过各对玻璃支持体或支座6、7、8、9设置于玻璃基板2的上表面5上。基板2、反射镜块3、4和支持体6、7、8、9由Zerodur(RTM)玻璃形成。然而，其它的具有低热膨胀系数的玻璃也可被采用。
在平面图中玻璃基板2基本上为矩形、具有经倒角的边缘，并整个上表面5上具有10μm之内的平坦度。玻璃基板2的面积大小依赖于X-Y定位台17(图5)承载的夹盘18(图7)所承载的工件的大小。这样的话，玻璃基板2具有大约200mm的侧边长度。玻璃基板2的厚度为7mm。玻璃基板2的厚度可介于5-10mm之间。因而，可实现介于0.025∶1-0.05∶1之间的纵横比(例如高宽比)。
反射镜块3、4沿着两个垂直的侧边10、11设置在玻璃基板2的上表面5上。本实例中，反射镜块3、4纵向垂直。反射镜块3、4具有朝外的侧面12、13，其与基板2朝外的侧面14、15侧对齐。反射镜块3、4向外伸出基板2。反射镜块3、4具有5mm的宽度和10mm的厚度。两朝外的侧面12、13被抛光以提供用于反射激光束17(附图4)的相应的λ/20反射镜。
支持体6、7、8、9为支撑体形式，并具有12mm的宽度w(跨越反射镜块的宽度)、5mm的长度1(沿着反射镜块的长度)和0.5mm高度h(厚度)。支持体6、7、8、9可具有1-15mm之间的宽度。支持体6、7、8、9可具有1-15mm之间的长度。支持体6、7、8、9的宽度不必与反射镜块3、4的宽度相同。可使用方形支持体(其中w＝1)。根据常规实验，如更短的和更窄的间隔体能够提供足够的粘合力，也可使用。
每个反射镜块3、4配有一对支持体6、7、8、9。每对支持体6、7、8、9覆盖于基板2之上并置于相应的反射镜块3、4之下。对于每个反射镜块3、4，沿反射镜块3、4路途的大约1/4设置一支持体6、8，并沿着反射镜块3、4路途的大约3/4设置另一支持体7、9。然而，可于离反射镜块3、4各端的其他同等间隔距离处设置一对支持体6、7、8、9。例如，支持体6、7、8、9可被置于每个反射镜块的各端处。可以将支持体6、7、8、9设置于非同等间隔的距离处。
运用粘合剂可将支持体6、7、8、9粘于基板2及反射镜块3、4上。优选地，粘合剂在湿的时候具有低粘度，以便有助于施加薄而均匀的粘合剂涂层。
应用两个窄的、平的支座6、7、8、9来支撑反射镜块3、4有助于最小化反射镜块3、4的变形，并保持反射镜块3、4的面12、13平坦。每个支座6、7、8、9的足印，也就是被支座覆盖的面积小，从而与例如直接将反射镜块3、4粘于基板2上相比，反射镜块3、4会受到更少的表面变化影响。
因反射镜块12、13能够与基板2相连，反射镜组件1无须由单一的玻璃块加工而成。因此，可以使用薄的基板2。这样获得了更轻的光反射镜组件，该组件减少了对X-Y定位台17(图5)的负载。因此，包含这种平台的组件反应更快，组装时间更短，从而有助于提高电子束光刻系统的生产量。
参考图4，示出了根据本发明另一个实施例的激光干涉反射镜组件的一部分。反射镜组件1′与前面描述的反射镜组件1基本相似。然而，取代于两个支撑体6、7，为反射镜块3设置呈三角状排列的三个支持体14、15、16。支持体14、15、16在平面图中基本为正方形。支持体14、15、16的宽度w和长度1小于反射镜块3的宽度W。反射镜块4也配有三个支持体(未示出)。然而，一个反射镜块4可有两个支持体，而另一个反射镜块3可有三个支持体。
采用三个小的支持体14、15、16支撑反射镜块3、4有助于最小化反射镜块3、4的变形。
参考图5，反射镜组件1被置于由步进电动机(未示出)驱动的X-Y定位台17上。用于承载工件或样品19，比如半导体晶片的夹盘18被置于反射镜组件1上。工件或样品19的位置可通过引导定位单元21射出的各个激光束20的方向来确定(为清楚所见，仅示出一个定位单元)。
应当理解，对前面描述的实施例可以作一些修改。例如，反射镜组件可以运用在例如离子束系统的其它微光刻系统、诸如扫描电子显微镜的微复印系统及其它运用干涉仪的系统。支持体可从反射镜块的下面突出。换句话说，支持体的部分上表面可与反射镜块连于一起。
权利要求
1.一种激光干涉反射镜组件，包括具有上表面的玻璃基板；和第一、第二玻璃反射镜块；所述的每个玻璃反射镜块被两个或三个为一组的玻璃支持体支撑于所述玻璃基板的所述上表面上，每个支持体被粘于玻璃块上，每个反射镜块被粘于相应的一组支持体上，所述第一、第二玻璃反射镜块置于所述玻璃反射镜块上以提供垂直的第一、第二反射镜。
2.根据权利要求
1中的反射镜组件，其中所述的基板、反射镜块和支持体由同种玻璃材料制备。
3.根据权利要求
2所述的反射镜组件，其中玻璃材料为Zerodur(RTM)玻璃。
4.根据前面任一权利要求
中的反射镜组件，其中反射镜块沿着所述基板的垂直的边设置。
5.根据前面任一权利要求
中的反射镜组件，其中所述反射镜块具有朝外的侧面，该侧面与基板朝外的侧面侧对齐。
6.根据前面任一权利要求
中的反射镜组件，其中所述基板具有介于5-10mm之间的厚度。
7.根据前面任一权利要求
中的反射镜组件，其中所述基板具有介于0.025∶1-0.05∶1之间的纵横比。
8.根据前面任一权利要求
中的反射镜组件，所述支持体为平坦的间隔体形式。
9.根据前面任一权利要求
中的反射镜组件，其中所述支持体具有小于1mm的厚度。
10.根据前面任一权利要求
中的反射镜组件，其中所述支持体具有介于1-10mm之间的宽度。
11.根据权利要求
1至10中任一所述的反射镜组件，其中所述的每个反射镜块被两个支持体支撑于所述表面上。
12.根据权利要求
1至10中任一所述的反射镜组件，其中所述的每个反射镜块被三个支持体支撑于所述表面上。
13.根据前面任一权利要求
中的反射镜组件，其中支持体上面基本是平坦的。
14.一种激光干涉反射镜组件，包括具有上表面的玻璃基板；和第一、第二玻璃反射镜块；所述的每个玻璃反射镜块被两个为一组的玻璃支持体支撑于所述玻璃基板的所述上表面上，每个支持体被粘于玻璃块上，每个反射镜块被粘于相应的一组支持体上，所述第一、第二玻璃反射镜块被置于所述玻璃反射镜块上以提供垂直的第一、第二反射镜。
15.一种激光干涉反射镜组件，包括具有上表面的玻璃基板；和第一、第二玻璃反射镜块；所述的每个玻璃反射镜块被三个为一组的玻璃支持体支撑于所述玻璃基板的所述上表面上，每个支持体被粘于玻璃块上，每个反射镜块被粘于相应的一组支持体上，所述第一、第二玻璃反射镜块被置于所述玻璃反射镜块上以提供垂直的第一、第二反射镜。
16.一种激光干涉反射镜组件，包括具有表面的基板；和构成以提供第一、第二垂直的反射镜的第一、第二反射镜块；所述的每个反射镜块被两个或三个支持体支撑于所述表面上。
专利摘要
一种激光干涉反射镜组件(1)包括玻璃基板(2)和第一、第二垂直的玻璃反射镜块(3、4)，每个反射镜块被一对支座(6、7、8、9)支撑于玻璃基板的上表面(5)之上。
文档编号G01B9/02GK1997942SQ20058001779
公开日2007年7月11日 申请日期2005年5月13日
发明者张涛 申请人:纳米束有限公司导出引文BiBTeX, EndNote, RefMan