专利名称：搅拌式研磨机的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种根据权利要求1前序部分的搅拌式研磨机。
背景技术：
由EP 0 370 022B1(对应于US 5,062, 577)已知一种这一类型的搅拌式研磨 机。在这种搅拌式研磨机中，助磨介质在到达防护网之前，通过助磨介质再循环通道从研磨 物_助磨介质流中离心分离出来。这里，防护网原则上起这样的功能，即收集太轻以至于不 能通过助磨介质再循环通道直接甩出的磨损的助磨介质，并用作用于建立抵抗研磨物流的 背压的节流部件。搅拌器配备伸入外部研磨腔的搅拌工具。在采用极小的助磨介质时，不 能确保助磨介质不到达防护网以及随着时间的推移而堵塞该防护网。特别是在采用极小的 助磨介质时必须采用相应细的防护网，然而如果助磨介质撞击的话，这种防护网又非常容 易损坏。如果在采用普通尺寸的助磨介质处理比较粘的研磨物时，在防护网部分地被堵塞 时在搅拌式研磨机内便形成相当高的压力，这同样导致研磨过程故障。由EP 0 504 836B1已知一种搅拌式研磨机。在该搅拌式研磨机中，在筒状壳体内 设置有杯状转子，该转子在其长度上配备有穿通的槽。在转子内设有一带防护网的内定子。 在外部研磨腔内，既在转子上又在界定研磨腔的壁上安装有工具。这种搅拌式研磨机不合 适采用极细的助磨介质。此外，这里也出现上面已经谈到的问题。由DE 34 37 866A1 (对应于US 5，011, 089)已知一种搅拌式研磨机，该搅拌式研 磨机具有其外侧上配有轮叶形工具的转子。在该转子内设置有防护网。转子由在其上面装 有轮叶形工具的轴线平行的杆组成。研磨物径向输入。在这种搅拌式研磨机中，虽然通过 搅拌工具的轮叶形结构实现了将助磨介质集中在容器壁区域内；但以此同样不可能实现规 定的研磨(特别是借助于极细的助磨介质)和可靠地分离助磨介质而不出现运行故障的危 险。研磨物径向流过助磨介质堆，也就是说，研磨物仅在非常短的路程上经历研磨过程。因 此，在研磨物仅仅一次通过研磨机时仅实现略微的研磨。由DE 196 38 354A1(对应于US 5，894，998)已知一种普通类型的搅拌式研磨机。 在这种搅拌式研磨机中，防护网装在杯状转子上并借助于滑环密封件相对于内定子密封。 也就是说，防护网随转子一起旋转，由此更有效地甩出到达该防护网的助磨介质。
发明内容
本发明的目的是，这样设计这一类型的搅拌式研磨机，使得特别是在采用极小直 径的助磨介质时，即使在研磨物仅仅一次通过搅拌式研磨机的情况下也实现具有窄的颗粒 分布的研磨和离散，而不会特别是由于助磨介质撞在防护网上出现运行故障的危险。按照本发明，所述目的通过权利要求1特征部分中的特征来实现。本发明的核心
4在于，助磨介质仅处于转子和容器壁之间的研磨腔内，并集中在该研磨腔中。由于助磨介质 集中在该研磨腔中，便已实现它们不到达研磨物输出通道内。助磨介质通过装在转子上的、 一直延伸到容器壁附近的工具向外加速和集中。研磨物沿轴向流过所述密集的助磨介质 堆，由此实现均勻的研磨和离散。除了将助磨介质集中在环形外部研磨腔内的措施外，还设 置有效地阻止助磨介质流向防护网的装置。在位于转子内部并由转子和内定子界定的研磨 物输出通道内，没有或只有非常少的助磨介质。因而有效地克服了开头所述的缺点。根据权利要求2至4的措施有利于助磨介质在研磨腔内的集中。此外，通过根据权利要求5至7的措施有助于使助磨介质根本不到达转向通道。根据权利要求8的改进结构实现，仍然进入研磨物输出通道内的少量助磨介质不 会沉积，因此仍然留在朝助磨介质再循环通道方向的物流中，并在那里再循环到研磨腔的 起点。在这里，根据按权利要求9的措施实现，助磨介质还向助磨介质再循环通道方向加 速。这里，根据权利要求10的改进结构实现，在转子内侧上不形成不再参加研磨过程 的研磨物-助磨介质层。与根据权利要求8至10的措施相关，根据权利要求11的改进结构特别有利，因为 由此对温度特别敏感的研磨物在研磨物输出通道内不用输入其他能量便能特别急剧地冷 却，也就是说仅仅在研磨腔内的实际研磨过程中才经受高的能量输入。根据权利要求12的实施例实现，在研磨物输出通道内存在的助磨介质可以直接 重新向外甩出到研磨腔内。根据权利要求13的改进结构也有利于此。对于极细的助磨介质合适的直径范围由权利要求14得到。
其它特征、优点和细节由下文借助于附图对本发明实施例的说明得到。附图示 出图1示出搅拌式研磨机的示意侧视图，图2示出搅拌式研磨机第一实施例的垂直纵剖视图，图3示出根据图2的搅拌式研磨机的转子外侧的展开图，图4示出根据图2和3的搅拌式研磨机的内定子的侧视图，图5示出搅拌式研磨机第二实施例的垂直纵剖视图，图6示出根据图5的搅拌式研磨机的转子内侧的展开图，图7示出搅拌式研磨机第三实施例的垂直纵剖视图，图8示出搅拌式研磨机第四实施例的垂直纵剖视图，以及图9示出搅拌式研磨机第五实施例的垂直纵剖视图。
具体实施例方式图1中所示的搅拌式研磨机通常具有一立柱1，在该立柱上面可安装一筒状研磨 容器2。在立柱1内安装有驱动电机3，该驱动电机配备有V形带轮4，通过该V形带轮借助 于V形带5可旋转驱动V形带轮7，该V形带轮7与驱动轴6不可相对转动地连接。如特别是由图2和3可见，研磨容器2具有包围研磨腔8的筒状容器壁9，该容器壁9被基本上筒状的冷却外壳10包围。在容器壁9和冷却外壳10之间形成冷却腔11。研 磨腔8的下端由圆环形底板12构成，该底板用螺钉13固定在研磨容器2上。研磨容器2具有一上部环形凸缘14，借助于该环形凸缘该研磨容器2用螺钉16固 定在支承壳体15的底面上，该支承壳体装在搅拌式研磨机的立柱1上。研磨腔8借助于盖 板17封闭。支承壳体15具有一与研磨容器2的纵向中心轴线19同轴布置的中间的支承 及密封箱18。同样与轴线19同轴分布的驱动轴6穿过该支承及密封箱18，在该驱动轴6 上装有搅拌器20。一研磨物输入管21通入支承及密封箱18的邻近研磨腔8的区域内。在底板12上设置有一伸入研磨容器2内的、大致做成杯状的筒状内定子22，该内 定子具有一与轴线19同轴的外壁23，在此外壁23内具有一筒状内套24。在外壁23和内 套24之间形成了内定子22的冷却腔25。冷却水通过冷却水输入管接头26输入该冷却腔 25，通过冷却水输出管接头27输出。冷却水通过冷却水输入管接头28输入研磨容器2的 冷却腔11，通过冷却水输出管接头29输出。在图中内定子22的上端上设有一防护网30，该防护网与研磨物输出管31连接。 该输出管31在底板12区域内配备有固定夹32，该固定夹用螺钉33与底板12可拆卸地连接。防护网30借助于密封件34相对于内定子22密封，并可以在松开螺钉33后与输 出管31 —起向下从内定子22中拔出。搅拌器20基本上构造成杯形，也就是说，该搅拌器具有一基本上筒状的转子35。 搅拌器20在其上端上具有一转子35的盖板形封闭件36。在搅拌器20内，而且是在盖板形 封闭件36和环形筒状即管状转子35之间的过渡区域内设有一助磨介质再循环装置37。对于研磨腔8的径向宽度a，以下表达式适用a = (D9_D35)/2，其中D9表示容器 壁9的直径，即研磨腔8的外径，而D35表示转子35的外径，即研磨腔的内径。以下表达式 适用0. 6 彡 D35/D9 彡 0. 95，优选 0. 7 彡 D35/D9 彡 0. 85。容器壁9的内侧是光滑的筒状，也就是说，没有伸入环形研磨腔8内的工具。而在 转子35的同样是筒状的外侧上安装有相对于纵向中心轴线19径向伸入研磨腔8的销状工 具38。这些销状工具一直延伸到容器壁9附近，与容器壁只留出一设计规定的宽度为b的 间隙39。如图3所示，工具38螺旋线形地安装在转子表面上。在这里，设置在配设于封闭 件36的第一区域40内的工具38安装在设计成这样的第一螺旋线41上，使得在搅拌器20 和转子35沿旋转方向42旋转时，这些工具对位于研磨腔8内的直径为c的助磨介质43施 加沿研磨物流通方向44向下的、即朝向底板12的输送作用。带有设置在第一螺旋线41上 的工具38的这个第一区域40近似延伸到再循环装置37的下侧，如由图3可见。在位于第一区域40下方的第二区域45内，工具38设置在一反方向布置的第二螺 旋线46上，从而在搅拌器20沿旋转方向42驱动时，这些工具向助磨介质43施加与研磨物 流通方向44相反的冲量。如由图3所见，在转子35周向上相邻的布置在第一螺旋线41和 第二螺旋线46上的工具38在纵向中心轴线19方向上相互重叠地设置，使得转子35每旋 转一圈，容器壁9都被工具38完全擦过。在转子35和内定子22的外壁23之间形成有环形筒状的研磨物输出通道47。在 内定子22外壁23上安装有径向向外伸入输出通道47内的销状刮擦工具48。如由图4所 见，在内定子22周向上相邻的刮擦工具48沿纵向中心轴线19方向相互重叠设置，使得转子35每旋转一圈，该转子的壁都被这些工具48完全擦过。这些工具48设置在这样分布的 螺旋线上，使得在转子35沿旋转方向42驱动时，这些工具对可能到达输出通道47内的助 磨介质43施加沿流通方向44的冲量。刮擦工具48相对于内定子22具有一其宽度e如结 构所需大小的间隙49。间隙39的宽度b与助磨介质43的直径c存在以下关系4c彡b彡6c，其中在采 用特别细的助磨介质43时作为最小边界条件，以下表达式适用1. Omm彡b彡2. 0mm。相应 地，间隙49的宽度e与助磨介质43的直径c存在以下关系4c彡e彡6c，其中对于极细的 助磨介质43作为最小边界条件，以下表达式适用1. Omm < e < 2. 0mm。由于这种设计，工 具38不断地使助磨介质堆在研磨腔8内涡旋流动。由于间隙宽度e很小，刮擦工具48在 转子35驱动时均勻地刮擦该转子。当采用直径c极小的助磨介质43即微型助磨介质时， 对于其直径c，以下表达式适用20 μ m < c < 100 μ m。输出通道47具有一径向宽度f，对于该径向宽度，以下表达式适用f = (d35-d23)/2，其中d35表示转子35的内径即输出通道47的外径，d23表示内定子22的外 径即输出通道47的内径。这里，以下表达式适用0. 8 ( d23/d35 ( 0. 98，优选0. 9彡d23/ d35彡0. 98。研磨腔8借助于转向通道50与输出通道47相连接，如由图2所示，该转向通 道的宽度大致与输出通道47的宽度相当。因此，该转向通道50在转子35的下部自由端处 包围该转子。研磨腔8在与转向通道50相邻处基本上借助于一朝轴线19径向延伸的底面 51封闭，最下面的即最近地相邻的工具38在该底面的邻近区域内旋转，该工具离底面51的 距离g与间隙宽度b和e大致相当。由此实现，即使在这个区域内，即在转向通道50的入 口的紧前方，助磨介质43也被径向向外甩，亦即背离转向通道50输送。如图2中所示，柱状防护网30由一堆环形盘52构成，在这些环形盘之间分别留出 一分隔间隙53，该分隔间隙的宽度小于所用的最小助磨介质43的直径C。所述一堆环形盘 52在端面处即在面向轴6的一侧上由封闭板54封闭。防护网30设置在再循环装置37内。如由图2和3所示，在再循环装置37内形成助磨介质再循环通道55。该助磨介质 再循环通道的相应的入口 56位于紧邻再循环通道47和防护网30处。其相应的出口 57通 入研磨腔8的起始区域内，更确切地说通入工具38的螺旋线形布局的第一区40内。如图 3可见，相应的出口 57——相对于旋转方向42——位于一个或几个工具38的紧前方，因此 通过输出通道47再循环的助磨介质43在其从出口 57流出后立即得到沿流通方向44的输 送冲量。研磨物按照流通方向44，从研磨物输入管21进来、穿过搅拌器20封闭件36和盖 板17之间的研磨物输入腔58、研磨腔8的第一区域40和第二区域45，向下流过研磨腔8， 然后经过转向通道50径向向内并从那里通过研磨物输出通道47向上直至流出通道59，该 流出通道在封闭件36和内定子22之间形成并基本上径向向内朝向防护网30。然后，研磨 物通过防护网30进入研磨物输出管31，并通过该输出管流出搅拌式研磨机。在通过研磨腔8的路径上，研磨物通过与助磨介质43共同作用的旋转驱动的搅拌 器20而被研磨。通过工具38，助磨介质43得到使其向容器壁9方向输送的切向冲量。也 就是说，助磨介质43向研磨腔8的径向外部区域集中，如图中所示。由于工具38和容器壁 9之间的间隙39的宽度b很小，助磨介质43不会沉积在容器壁9上；被甩到那里的助磨介 质43也始终重新被激活和被带动。工具38在两螺旋线41和46上的上述布局确保，一方面在上面的第一区域内助磨介质43不会经过研磨物输入腔58回流到研磨物输入管21内。 设置在第二区45内的搅拌工具实现，没有助磨介质43或者数量决不值得一提的助磨介质 43经过转向通道50到达输出通道47。在研磨腔8内形成涡流，也就是说，研磨物不是直线 形地流过研磨腔8，而是产生强烈的涡流。因此，单个研磨物颗粒始终交替地流向转子35， 然后重新向容器壁9的方向，而后又向转子35的方向流动。搅拌式研磨机沿流通方向44 的处理量通过这种径向往复流动而叠加，其中沿流通方向44的速度分量的大小由单位时 间内研磨物的体积上的处理量和研磨腔8的未占横截面——即研磨腔8的横截面减去存在 的助磨介质43的横截面——得到。如果尽管采用了上述措施，但助磨介质43仍然到达研磨物输出通道47，则助磨介 质将在研磨物输出通道通过刮擦工具48与研磨物一起穿过整个输出通道47。该助磨介质 43通过再循环装置37重新甩入研磨腔8的第一区域40内。根据图5的实施形式与根据图2的区别在于，沿着转子35’的轴向长度形成由孔 构成的附加的小的助磨介质再循环通道60，这些通道沿所述转子的周边分布并且直径h为 5. 0至30. 0mm。也就是说，这些小的助磨介质再循环通道60直接从环形的研磨物输出通道 47通入研磨腔8的第二区域45中，使得尽管采取了上述措施但仍然到达研磨物输出通道 47内的助磨介质43在到达上面的再循环装置37之前便已经甩回到研磨腔8内。如由根据图6的转子35'内侧展开图所示，小的助磨介质再循环通道60设置在螺 旋线上，其中在周向相邻的通道60彼此交叠，使得仍然到达研磨物输出通道47内并已受到 离开转子35’的离心力作用的助磨介质43强制地从至少一个这种通道60旁流过，助磨介 质43可以通过该通道被甩回到外部研磨腔8内。根据图7的实施形式与根据图2的实施形式的区别在于，防护网30'具有一按已 知的方式与内定子22相连接的、设有槽形开口 62的支承体61。在该支承体61的外侧上设 置有一配备有非常细的分离槽64的非常薄的金属板或膜63，在图中未示出的所述分离槽 的宽度必小于最小的助磨介质43的直径C。根据图8的搅拌式研磨机与根据图2的搅拌式研磨机的区别在于，转子35’具有 与图5中实施例相对应的助磨介质再循环通道60和与图7中实施例相对应的防护网30’。根据图9的实施例基本上与根据图5和7的实施例一致，也就是说，转子35’配备 有助磨介质再循环通道60。然而这里防护网30”不是安装在内定子22上，而是安装在转子 35'的封闭件36内，在该封闭件内形成一通常包围或容纳全部防护网30、30'、30"的凹 部65。防护网30"具有一支承体66，该支承体借助于螺钉67与转子35'的封闭件36相 连接。该支承体66配备有槽形开口 62，并且在该支承体的柱状外围上用带分离槽64的金 属板或膜63包裹。在支承体66中形成一排出装置68，该排出装置在面向内定子22'的一 侧上具有一与轴线19同心的排出口 69。研磨物输出管31'密封地延伸穿过内定子22'的 否则封闭的上部端壁70，而且一直延伸到防护网30"邻近的端壁71的附近。在研磨物输 出管31'和该端壁71之间形成一窄的缝隙72。该缝隙72通常具有小于助磨介质43的最 小直径c的宽度i。缝隙72的宽度i必须小到在研磨后的研磨物流出时产生足够大的压力 损失的程度，使得研磨物通过防护网30"流出。该防护网30 “的端壁71朝端壁70截锥形张开，从而在端壁71的径向外部区域与 端壁70之间界定一环形缝隙73，在搅拌式研磨机运行时助磨介质43实际上不能进入该缝隙。在停止运转时可能进入这个区域内的助磨介质43通过环形缝隙73重新被向外甩出， 并进入助磨介质再循环通道55。在这个实施例中，防护网30"连同其金属板或膜63也处于与助磨介质再循环通 道55完全轴向重合的位置。如果任何助磨介质43进入防护网30"的区域，则这些助磨介 质也被形成防护网柱状外围的金属板或膜63甩到再循环通道55内。尽管上述实施例分别说明了具有垂直纵向中心轴线19的搅拌式研磨机，但是所 述实施例也可以容易地用在水平位置中或在位于中间位置上。对于采用直径c极小的助磨介质43即微型助磨介质的情况，研磨物具有在1至 IOOmPas范围内的非常小的粘度。
权利要求
一种用于处理能流动的研磨物的搅拌式研磨机，该搅拌式研磨机具有借助于容器壁(9)界定基本上封闭的研磨腔(8)的研磨容器(2)；搅拌器(20)，该搅拌器沿旋转方向(42)可旋转驱动地设置在研磨容器(2)内、相对于一共同的纵向中心轴线(19)做成杯状、并带有环形筒状的转子(35，35′)，该转子配备有一直延伸到容器壁(9)附近的工具(38)；以及设置在转子(35，35′)内部的内定子(22，22′)，该内定子与研磨容器(2)相连接并具有封闭外壁(23)；其中，在所述容器壁(9)和转子(35，35′)之间形成有环形筒状的研磨腔(8)，该研磨腔容纳具有直径c的助磨介质(43)；在所述转子(35，35′)和内定子(22，22′)的封闭外壁(23)之间形成有环形缝隙状的环形筒状的内腔，该内腔同轴地设置在所述研磨腔(8)内部并通过转向通道(50)与所述研磨腔相连接，其中，所述研磨腔(8)至少部分地填充助磨介质(43)，其中，在研磨容器(2)的大致同一侧设有用于研磨物穿过的一研磨物输入腔(58)和一防护网(30，30′，30″)，该研磨物输入腔设置在研磨腔(8)上游并沿研磨物的流通方向(44)通入研磨腔(8)内，该防护网沿流通方向(44)设置在内腔下游，以及其中，在所述搅拌器(20)内设置有用于将助磨介质(43)从防护网(30，30′，30″)的区域再循环到研磨腔(8)的助磨介质再循环通道(55)，所述助磨介质再循环通道连接内腔的末端与研磨腔(8)的起点，其特征在于，所述内腔设计成研磨物输出通道(47)，其中，对于研磨物输出通道(47)的内径d23与研磨物输出通道(47)的外径d35之比，以下表达式适用0.8≤d23/d35≤0.98；对于研磨腔(8)的内径D35与研磨腔(8)的外径D9之比，以下表达式适用0.6≤D35/D9≤0.95；以及设有用于阻止助磨介质(43)从研磨腔(8)进入研磨物输出通道(47)内的装置。
2.根据权利要求1所述的搅拌式研磨机，其特征在于，装在转子(35，35')上的工 具(38)到容器壁(9)仅留出一小的间隙(39)，其中，所述在工具(38)和容器壁(9)之 间的间隙(39)具有间隙宽度b，该间隙宽度b与助磨介质(43)的直径c存在以下关系 4c≤b≤6c，其中作为最小间隙宽度b，以下表达式适用1. Omm≤b≤2. 0mm。
3.根据权利要求1所述的搅拌式研磨机，其特征在于，所述工具(38)在助磨介质再循 环通道(55)和转向通道(50)之间的区域(45)内沿转子(35，35')的周向彼此交叠地设 置在一螺旋线(46)上，使得在转子(35，35')沿旋转方向(42)旋转驱动时，所述工具对助 磨介质(43)施加与流通方向(44)相反的冲量。
4.根据权利要求1至3之任一项所述的搅拌式研磨机，其特征在于，所述研磨腔(8)在 转向通道(50)上游具有一底面(51)，该底面在留出一段距离g的情况下被离得最近的工具 (38)擦过。
5.根据权利要求4所述的搅拌式研磨机，其特征在于，对于所述底面(51)和离得最近 的工具(38)之间的距离g与助磨介质(43)的直径c存在以下关系4c≤g≤6c，其中作 为最小距离g，以下表达式适用1. Omm≤g≤2. 0_。
6.根据权利要求4所述的搅拌式研磨机，其特征在于，所述转向通道(50)紧靠在转子 (35,35')旁边从研磨腔(8)中引出，以及所述底面(51)设置成在径向上超过所述研磨腔。
7.根据权利要求1至3之任一项所述的搅拌式研磨机，其特征在于，在所述内定子 (22,22')上设置有向转子(35，35')延伸出的刮擦工具(48)，以及所述转子(35，35‘) 在其界定研磨物输出通道(47)的内侧上没有工具。
8.根据权利要求7所述的搅拌式研磨机，其特征在于，所述设置在内定子(22，22') 上的刮擦工具(48)在纵向中心轴线(19)的方向上相互重叠，并在内定子(22，22')的周 向上设置在一螺旋线上，使得在转子(35，35')沿旋转方向(42)驱动时所述刮擦工具对助 磨介质(43)施加沿流通方向(44)的冲量。
9.根据权利要求7所述的搅拌式研磨机，其特征在于，所述刮擦工具(48)离转子(35， 35')留出一间隙(49)，该间隙的间隙宽度e与助磨介质(43)的直径c存在以下关系 4c ^ e ^ 6c，其中对于最小间隙宽度e，以下表达式适用1. Omm彡e彡2. 0mm。
10.根据权利要求1至3之任一项所述的搅拌式研磨机，其特征在于，所述内定子(22， 22')配备有冷却腔(25)。
11.根据权利要求1至3之任一项所述的搅拌式研磨机，其特征在于，在所述转子内形 成连接研磨物输出通道(47)与研磨腔(8)的小的助磨介质再循环通道(60)，对于该小的助 磨介质再循环通道的直径h，以下表达式适用5. Omm^h ^ 30. 0mm。
12.根据权利要求11所述的搅拌式研磨机，其特征在于，所述小的助磨介质再循环通 道(60)沿纵向中心轴线(19)方向相互重叠地设置在一螺旋线上，该螺旋线沿旋转方向(42)从转向通道(50)向防护网(30,30'，30")的方向升高。
13.根据权利要求1至3之任一项所述的搅拌式研磨机，其特征在于，对于助磨介质(43)的直径c，以下表达式适用c( 0. 3mm。
14.根据权利要求13所述的搅拌式研磨机，其特征在于，对于助磨介质(43)的直径c， 以下表达式适用0. 02mm彡c彡0. 1mm。
15.根据权利要求1至3之任一项所述的搅拌式研磨机，其特征在于，对于研磨腔(8) 的内径D35与研磨腔⑶的外径D9之比，以下表达式适用0. 7彡D35/D9彡0.85。
16.根据权利要求1至3之任一项所述的搅拌式研磨机，其特征在于，对于研磨物 输出通道(47)的内径d23与研磨物输出通道(47)的外径d35之比，以下表达式适用 0. 9 ^ d23/d35 ^ 0. 98。
全文摘要
本发明涉及一种用于处理有流动能力的研磨物的搅拌式研磨机，该研磨机具有一研磨容器(2)和一设置在它里面的内定子(22)。在内定子(22)和容器壁(9)之间设置一可旋转驱动的环形筒状转子(35)，在该转子和容器壁(9)之间围成一研磨腔(8)。在转子(35)和内定子(22)之间形成一研磨物输出通道(47)，该研磨物输出通道借助于转向通道(50)与研磨腔(8)连接。设有用来阻止助磨介质(43)从研磨腔(8)进入研磨物输出通道(47)内的装置。
文档编号B02C17/16GK101884947SQ20101015880
公开日2010年11月17日 申请日期2005年10月11日 优先权日2005年10月11日
发明者N·施特尔, P·施米特 申请人:比勒股份公司