一种硅料的酸浸泡装置的制作方法

文档序号:1411999阅读:177来源:国知局
专利名称:一种硅料的酸浸泡装置的制作方法
技术领域
本实用新型属于半导体材料清洗设备领域,具体地说,涉及一种硅料的酸浸泡装置。
背景技术
硅是一种重要的半导体材料,可广泛用于二极管、三极管、发光器件、压敏元件、太阳能电池等元器件。但硅作为一种不可再生资源,其存储量有限,且原生多晶硅价格昂贵, 因此充分利用生产过程中的回收硅料显得很重要。在太阳能级多晶硅片制造过程中,硅料清洗时,特别是单晶锅底料、多晶硅锭的杂质层需要用酸液浸泡来去除硅料中的杂质,而现有的酸浸泡只是简单的采用一个容器来去除硅料中的杂质,其缺陷在于,不能将酸浸泡、废酸收集、纯水浸泡、排酸雾的功能于一体, 不利于高效地完成硅料的酸浸泡。

实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种硅料的酸浸泡装置,不仅能集酸浸泡、废酸收集、 纯水浸泡、排酸雾的功能于一体,而且方便、高效地去除硅料中的杂质,以实现硅料更有效的回收。本实用新型为了实现上述目的而采取的技术方案,包括酸浸泡容器和盖子,其中酸浸泡容器的底部设有纯水进水管,酸浸泡容器的一侧上端设有溢流槽和溢流管,浸泡容器的另一侧上端设有排风管,下端设有排酸管,该装置由耐酸材料制作而成。所述的酸浸泡容器上面可增加抽风装置,在加酸时打开抽风装置。所述的酸浸泡容器上增加酸液循环设备,使酸液在酸浸泡容器中流动。所述的硅料为耐酸篮装浸泡的硅料,再把耐酸篮放入酸浸泡容器里。与现有技术相比,本实用新型的优点在于,1、本实用新型的硅料酸浸泡装置及浸泡方法操作方便,安全可靠,可有效去除硅料表面杂质,提高硅料使用的质量;2、使用耐酸材料制备成容器,用于硅料的酸浸泡,该装置具有酸浸泡、废酸收集、 纯水浸泡、排酸雾的功能。

图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
实施例,如图1所示,包括酸浸泡容器1和盖子2,其中酸浸泡容器1的底部设有纯水进水管5,酸浸泡容器1的一侧上端设有溢流槽6和溢流管7,浸泡容器1的另一侧上端设有排风管4,下端设有排酸管3。[0014] 工作流程把装好硅料的耐酸篮放入酸浸泡酸浸泡容器1内;打开抽风装置,把酸液倒入酸浸泡容器1,打开排风管4,盖上盖子2,并用保鲜膜密封盖子周围,静置114小时;打开排酸管3用空酸桶收集酸液,把酸浸泡装置中的酸全部放出,并闭排酸管;打开纯水进水管5,纯水从溢流槽6溢出,从溢流管7排出纯水,直到硅料表面PH值呈中性为止; 打开排酸管3,放出纯水,打开盖子2,取出硅料。
权利要求1.一种硅料的酸浸泡装置,包括酸浸泡容器(1)和盖子(2),其特征在于,其中酸浸泡容器(1)的底部设有纯水进水管(5 ),酸浸泡容器(1)的一侧上端设有溢流槽(6 )和溢流管 (7),酸浸泡容器(1)的另一侧上端设有排风管(4),下端设有排酸管(3)。
2.根据权利要求1所述的一种硅料的酸浸泡装置,其特征在于在酸浸泡容器(1)上面增加抽风装置。
3.根据权利要求1所述的一种硅料的酸浸泡装置,其特征在于在酸浸泡容器(1)上增加酸液循环设备。
4.根据权利要求1所述的一种硅料的酸浸泡装置,其特征在于该装置由耐酸材料制作而成。
专利摘要本实用新型公开了在光伏生产硅料清洗工序中一种硅料的酸浸泡装置,包括酸浸泡容器和盖子,其中酸浸泡容器的底部设有纯水进水管,酸浸泡容器的一侧上端设有溢流槽和溢流管,浸泡容器的另一侧上端设有排风管,下端设有排酸管,使用该装置制定的浸泡方法可在同一装置中完成酸浸泡、废酸收集、纯水浸泡、排酸雾的功能,具有操作简便,用酸浸泡硅料能有效去除杂质的优点。
文档编号B08B3/08GK202162167SQ20102067962
公开日2012年3月14日 申请日期2010年12月25日 优先权日2010年12月25日
发明者胡江峰 申请人:江西旭阳雷迪高科技股份有限公司
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