专利名称：石英玻璃沉积载物装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及石英玻璃生产设备，具体涉及一种石英玻璃沉积载物装置。
背景技术：
石英玻璃通常是使用沉积炉在沉积砣面上接受燃烧下料结晶形成。以往石英玻璃 生产采用卧式CVD生产工艺，所使用的沉积炉为卧式炉。目前，由于立式沉积炉具有沉积效 率高、能耗低、适合生产大尺寸规格石英玻璃锭的特点而被推崇，但是目前还没有一种适合 立式沉积炉使用的能够满足运行速度、运行精度要求的石英玻璃沉积载物装置，制约了石 英玻璃生产新工艺的推广应用。
发明内容本实用新型的目的在于针对上述问题，提供一种适合立式沉积炉使用的石英玻璃 沉积载物装置。实现上述目的的技术方案是一种石英玻璃沉积载物装置，它包括有底座，在底座 的上面固定有立柱，在立柱上设有竖置的升降丝杠和置于升降丝杠两侧的升降导轨，与升 降丝杠和升降导轨相配合有升降丝杠螺母和升降导轨滑块，安装在立柱上有由两个交流伺 服电机与一个双输入谐波减速机组成的升降驱动机构，该升降驱动机构经同步带传动机构 连接升降丝杠，与升降丝杠螺母和升降导轨滑块固定连接有一升降座，在升降座的上面设 有横置的平移丝杠和置于平移丝杠两侧的平移导轨滑块，与平移丝杠和平移导轨滑块相配 合有平移丝杠螺母和平移导轨，安装在升降座上并与平移丝杠相连接有由交流伺服电机与 蜗轮蜗杆减速机组成的平移驱动机构，固定连接在平移丝杠螺母和平移导轨上有平移座， 竖置安装在平移座上有一立轴，该立轴的上端设置有托盘，与立轴相配置在平移座上设置 有由交流伺服电机与蜗轮蜗杆减速机组成的旋转驱动机构，该旋转驱动机构通过同步带传 动机构与立轴相连接。本实用新型的技术方案还包括所述升降丝杠与升降丝杠螺母组成的丝杠副和所 述平移丝杠与平移丝杠螺母组成的丝杠副为滚珠丝杠副；在所述立柱的上端安装有定滑 轮，装配在定滑轮上有钢丝绳，该钢丝绳的一端连接升降座，另一端连接配重块。本实用新型采用丝杠副实现沉积载物装置托盘的升降和平移，加上由电机同步带 传动驱动的托盘的旋转，能够满足立式沉积炉生产石英玻璃的工艺要求，并且结构简单，运 动控制方便。本实用新型的升降驱动采用交流伺服电机加双输入精密谐波减速机及同步带传 动，具有能够实现快慢速瞬时转换和高传动精度的特点。本实用新型采用滚珠丝杠副，具有摩擦阻力小、能够有效控制爬行、机械传动效率 高、使用寿命长的特点。本实用新型通过安装配重系统，能够有效降低升降丝杠轴向负载产生的变形，从 而提高传动精度，并且延长设备的使用寿命。
附图是本石英玻璃沉积载物装置结构示意图。
具体实施方式
结合附图对本实用新型的具体实施方式
进行说明。如附图，本石英玻璃沉积载物装置具有由型钢、钢板拼焊组成的底座1和栓接在 底座上的立柱2，底座1和立柱2支撑整个沉积载物装置。在立柱2上通过两端的带座轴承 安装有竖置的升降丝杠3，在升降丝杠3的两侧固定设置在立柱2上有升降导轨4，与升降 丝杠3和升降导轨4相配合有升降丝杠螺母5和升降导轨滑块6，安装在立柱2上有由两个 交流伺服电机与一个双输入谐波减速机组成的升降驱动机构7，该升降驱动机构7的输出 轴经同步带传动机构8连接升降丝杠3，钢结构的升降座9与升降丝杠螺母5和升降导轨 滑块6固定连接。由升降驱动机构7的两个交流伺服电机单独或者一起运行，驱动输出轴 进行慢、快速转动，其输出轴通过带轮以及同步带带动升降丝杠旋转，从而引起升降丝杠螺 母5作升降移动，同时带动升降座升降运动。在升降座9的上面设置有横置的平移丝杠10 和置于平移丝杠两侧的平移导轨滑块11，与平移丝杠10和平移导轨滑块11相配合有平移 丝杠螺母14和平移导轨13，安装在升降座9上并与平移丝杠10相连接有由交流伺服电机 与蜗轮蜗杆减速机组成的平移驱动机构12，固定连接在平移丝杠螺母14和平移导轨13上 有钢结构的平移座15。利用平移驱动机构12的交流伺服电机提供动力，通过平移丝杠10 与平移丝杠螺母14的配合，驱动平移座15水平移动。经两端配置的轴承竖置安装在平移 座15上有一立轴16，在立轴16的上端安装有托盘17，与立轴16相配置在平移座15上设 置有由交流伺服电机与蜗轮蜗杆减速机组成的旋转驱动机构18，该旋转驱动机构通过同步 带传动机构19与立轴16相连接。利用旋转驱动机构18的伺服电机提供动力，可实现托盘 17的旋转。在立柱2的上端安装有两组定滑轮20，装配在定滑轮20上有钢丝绳21，钢丝绳 21的一端连接升降座9，另一端连接配重快22，构成本沉积载物装置的配置系统。本实用新型的升降丝杠副和平移丝杠副可以采用滚珠丝杠副。
权利要求一种石英玻璃沉积载物装置，其特征是它包括有底座(1)，在底座(1)的上面固定有立柱(2)，在立柱(2)上设有竖置的升降丝杠(3)和置于升降丝杠(3)两侧的升降导轨(4)，与升降丝杠(3)和升降导轨(4)相配合有升降丝杠螺母(5)和升降导轨滑块(6)，安装在立柱(2)上有由两个交流伺服电机与一个双输入谐波减速机组成的升降驱动机构(7)，该升降驱动机构(7)经同步带传动机构(8)连接升降丝杠(3)，与升降丝杠螺母(5)和升降导轨滑块(6)固定连接有一升降座(9)，在升降座(9)的上面设有横置的平移丝杠(10)和置于平移丝杠(10)两侧的平移导轨滑块(11)，与平移丝杠(10)和平移导轨滑块(11)相配合有平移丝杠螺母(14)和平移导轨(13)，安装在升降座(9)上并与平移丝杠(10)相连接有由交流伺服电机与蜗轮蜗杆减速机组成的平移驱动机构(12)，固定连接在平移丝杠螺母(14)和平移导轨(13)上有平移座(15)，竖置安装在平移座(15)上有一立轴(16)，该立轴(16)的上端设置有托盘(17)，与立轴(16)相配置在平移座(15)上设置有由交流伺服电机与蜗轮蜗杆减速机组成的旋转驱动机构(18)，该旋转驱动机构(18)通过同步带传动机构(19)与立轴(16)相连接。
2.根据权利要求1所述的石英玻璃沉积载物装置，其特征是所述升降丝杠(3)与升 降丝杠螺母(5)组成的丝杠副和所述平移丝杠(10)与平移丝杠螺母(14)组成的丝杠副为 滚珠丝杠副。
3.根据权利要求1所述的石英玻璃沉积载物装置，其特征是在立柱(2)的上端安装 有定滑轮(20)，装配在定滑轮(20)上有钢丝绳(21)，该钢丝绳的一端连接升降座(9)，另一 端连接配重块(22)。
专利摘要一种石英玻璃沉积载物装置，它具有底座和固定在底座上的立柱，安装在立柱上有升降丝杠副和升降导轨副以及由两个交流伺服电机与一个双输入谐波减速机组成的升降驱动机构，固定连接升降丝杠副的丝杠螺母和升降导轨副的导轨滑块有一升降座，安装在升降座上有平移丝杠副和平移导轨副及由交流伺服电机与蜗轮蜗杆减速机组成的平移驱动机构，固定连接在平移丝杠副的丝杠螺母和平移导轨副的导轨上有一平移座，竖置安装在平移座上有上端设置托盘的立轴，与该立轴相配合有由交流伺服电机与蜗轮蜗杆减速机组成的旋转驱动机构。本实用新型适合于石英玻璃生产的立式沉积炉使用，能够满足工艺要求的运行速度、运行精度。
文档编号C03B20/00GK201729763SQ20102015032
公开日2011年2月2日 申请日期2010年4月1日 优先权日2010年4月1日
发明者何庆, 王长文 申请人:秦皇岛耀华玻璃机械制造有限责任公司