多晶锭或单晶棒的开方工具的制作方法

文档序号:1845700阅读:1201来源:国知局
专利名称:多晶锭或单晶棒的开方工具的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种多晶锭或单晶棒的开方工具。
背景技术
在对多晶锭或单晶棒切片之前,首先需要对多晶锭或单晶棒进行开方,目前开方的方法主要有带锯开方、结构钢线开方以及金刚线开方。这几种开方方法各有优缺点,各自优缺点分别为1.带锯开方的优点是产能相对结构钢线开方较大,缺点是成本高,工艺稳定性一般,硅料损失严重,开方以后晶棒表面质量较差;2.结构钢线开方的优点工艺稳定性较好,硅料损失较少,晶棒表面质量较好,成本较少,缺点是产能一般;3.金刚线开方的优点是产能较大,成本较少,硅料损失较少,缺点是工艺稳定性较差,晶棒表面质量一般,开方时易断线导致晶锭报废;在现硅片切片行业,要保证切片的整体效益,开方阶段的重要性也非常突出,保证开方工艺的高产能、高稳定性、高质量、低成本、低硅料损耗、低故障率特点已成为开方工艺的发展方向。目前国内外行业内所有开方方法及工艺均在不断完善中,但就目前的开方工艺, 无论是结构钢线开方、金刚线开方还是带锯开方,均存在较明显的缺点,寻找一种新的能够将目前所有开方工艺的优点结合起来的开方工艺方法已迫在眉睫。本发明通过结合目前各开方方法的优点,创建了一种新的开方工艺,从根本上保证了开方过程中晶棒的质量,提高了开方产能,降低了硅料损耗和成本的同时工艺稳定性好,为提高切片车间的产能及效益提供了充分保障。

实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是为了解决现多晶锭或单晶棒开方时,无论是结构钢线开方、金刚线开方还是带锯开方,均存在较明显的缺点带锯开方成本高,工艺稳定性一般,硅料损失严重,开方以后晶棒表面质量较差;结构钢线开方产能受限制;金刚线开方工艺稳定性较差,晶棒表面质量一般,开方时易断线导致晶锭报废,造成车间产能及原材料辅材的让费,严重影响了切片车间的效益,本实用新型提供一种多晶锭或单晶棒的开方工具。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种多晶锭或单晶棒的开方工具,包括金刚线,金刚线外壁镶嵌有第一金刚砂颗粒,金刚线外包裹有金刚砂浆层,金刚砂浆层中含有第二金刚砂颗粒。开方时根据金刚线上第一金刚砂颗粒的大小调整金刚砂浆层中第二金刚砂颗粒的尺寸。本实用新型的有益效果是,本实用新型多晶锭或单晶棒的开方工具的根本技术革新在于一是把目前的结构钢线开方系统中的结构钢线转换金刚线,二是根据金刚线上金刚砂的大小调整砂浆中金刚砂尺寸,从而形成一种新的开方工具,和以往的开方工具相比, 本实用新型的开方工具切割能力大大增强。本实用新型不仅保留了结构钢线开方的工艺稳定性好、硅料损失较少、晶棒表面质量好以及成本少等优点;而且本实用新型在开方工艺中,金刚砂及金刚线同时对晶锭或晶棒进行切割,切割能力大大增加,切割效率大大改善; 尤其是在对多晶锭开方过程中,以往的开方工艺由于多晶锭顶部杂质层硬度大造成的钢线或金刚线断线、带锯锯条扭曲或变形等引起的晶棒开方尺寸偏差报废、车间产能损失、原材料辅材让费等问题非常严重,本实用新型从根本上解决了该问题。本实用新型在提高切片车间的开方产能及开方质量上产生了质的飞跃,为提高切片车间的产能及效益提供了充分保障。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图。图中1、金刚线,2、第一金刚砂颗粒,3、金刚砂浆层,3-1、第二金刚砂颗粒。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图, 仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。如图1所示的本实用新型的多晶锭或单晶棒的开方工具,包括金刚线1,金刚线1 外壁镶嵌有第一金刚砂颗粒2,金刚线1外包裹有金刚砂浆层3,金刚砂浆层3中含有第二金刚砂颗粒3-1。开方时根据金刚线1上第一金刚砂颗粒2的大小调整金刚砂浆层3中第二金刚砂颗粒3-1的尺寸。本实用新型的使用方法是(一 )、对多晶锭或单晶棒进行电阻率及型号测试,无异常情况下进行开方;(二)、多晶锭开方时,对用于固定多晶锭的晶托进行异物清除及清洗,并在晶托表面喷涂适量晶锭粘合泡沫胶,为粘粘及固定多晶锭作准备;单晶棒开方时,将单晶棒洗干净后用固溶胶固定于晶托上,将晶托固定于工作台上为开方作准备;(三)、将粘有多晶锭或单晶棒的晶托固定于开方机台上,开方工具选用本实用新型的多晶锭或单晶棒的开方工具,开方式根据金刚线1上第一金刚砂颗粒2的大小调整金刚砂浆层3中第二金刚砂颗粒3-1的尺寸,同时截除晶锭四周杂质层。(四)、晶块卸出机台经过清洗检测后便是成品晶棒,经检测后便可用于切片工序。以上述依据本实用新型的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
权利要求1. 一种多晶锭或单晶棒的开方工具,其特征在于包括金刚线(1),金刚线(1)外包裹有金刚砂浆层(3)。
专利摘要本实用新型涉及一种多晶锭或单晶棒的开方工具,包括金刚线,金刚线外壁镶嵌有第一金刚砂颗粒,金刚线外包裹有金刚砂浆层,金刚砂浆层中含有第二金刚砂颗粒。本实用新型不仅保留了结构钢线开方的工艺稳定性好、硅料损失较少、晶棒表面质量好以及成本少等优点;而且本实用新型在开方工艺中,金刚砂及金刚线同时对晶锭或晶棒进行切割,切割能力大大增加,切割效率大大改善;尤其是在对多晶锭开方过程中,以往的开方工艺由于多晶锭顶部杂质层硬度大造成的钢线或金刚线断线、带锯锯条扭曲或变形等引起的晶棒开方尺寸偏差报废、车间产能损失、原材料辅材让费等问题非常严重,本实用新型从根本上解决了该问题。
文档编号B28D5/04GK202071230SQ201020696210
公开日2011年12月14日 申请日期2010年12月31日 优先权日2010年12月31日
发明者贺洁 申请人:常州天合光能有限公司
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