专利名称：一种多线切割的机的制作方法
技术领域：
—种多线切割的机技术领域[0001]本实用新型涉及半导体生产技术领域的设备，具体地说是涉及一种多线切割机。
技术背景[0002]切割半导体晶块是在多线切割机上进行的，现有技术中的切割机是这样的它具 有机架，机架上具有固定框，固定框用以固定半导体晶棒，机架上具有线轮，线轮缠绕切割 线，现有技术中固定框是不动的，线轮是移动的，这样的切割机具有设备复杂的缺点。发明内容[0003]本实用新型的目的就是针对上述缺点，提供一种使用方便、生产效率高、结构简单 的多线切割机。[0004]本实用新型的技术方案是这样实现的一种多线切割机，包括机架，机架上具有线 轮和固定框，其特征是所述的线轮固定在机架上，机架的一侧还具有横向伺服电机连接的 横向连杆，机架的另一侧还具有纵向伺服电机连接的纵向连杆，横向连杆和纵向连杆连接 固定框。[0005]进一步的讲，所述的纵向伺服电机和横向伺服电机连接着控制装置。[0006]本实用新型的有益效果是这样的多线切割机具有使用方便、生产效率高、结构简 单的的优点。
[0007]图1是本实用新型正面的结构示意图。[0008]其中1、机架 2、线轮 3、固定框 4、横向伺服电机 5、横向连杆。
具体实施方式
[0009]
以下结合附图对本实用新型作进一步的描述。[0010]如图1所示，一种多线切割机，包括机架1，机架I上具有线轮2和固定框3，其特 征是所述的线轮2固定在机架I上，机架的一侧还具有横向伺服电机4连接的横向连杆5， 机架的另一侧还具有纵向伺服电机连接的纵向连杆，横向连杆和纵向连杆连接固定框3。[0011]进一步的讲，所述的纵向伺服电机和横向伺服电机连接着控制装置。[0012]本实用新型是利用固定框相对运动，切割线固定不动，对晶棒进行切割。具有本实 用新型的优点。
权利要求1.一种多线切割机，包括机架，机架上具有线轮和固定框，其特征是所述的线轮固定在机架上，机架的一侧还具有横向伺服电机连接的横向连杆，机架的另一侧还具有纵向伺服电机连接的纵向连杆，横向连杆和纵向连杆连接固定框。
2.根据权利要求1所述的多线切割机，其特征是所述的纵向伺服电机和横向伺服电机连接着控制装置。
专利摘要本实用新型涉及半导体生产技术领域的设备，是一种多线切割机，包括机架，机架上具有线轮和固定框，所述的线轮固定在机架上，机架的一侧还具有横向伺服电机连接的横向连杆，机架的另一侧还具有纵向伺服电机连接的纵向连杆，横向连杆和纵向连杆连接固定框，所述的纵向伺服电机和横向伺服电机连接着控制装置，这样的多线切割机具有使用方便、生产效率高、结构简单的优点。
文档编号B28D5/04GK202826100SQ20122040657
公开日2013年3月27日 申请日期2012年8月16日 优先权日2012年8月16日
发明者刘宝成 申请人:河南恒昌电子有限公司