切削装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种切削装置，其能够抑制原点检测机构的电极端子的磨损及电导通不良。切削装置（1）具备卡盘工作台（10）、切削构件（20）和原点检测机构（90）。原点检测机构（90）构成为包括：在主轴外壳（23）的上方贯通形成的引导孔（91）；以能够滑动的方式插入到该引导孔（91）中的电极端子（92）；和按压该电极端子（92）的配重（93）。借助配重（93）以恒定的力将电极端子（92）按压到主轴（22）的外周面（22a）。
【专利说明】切削装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及具备用于对保持于卡盘工作台的半导体晶片等被加工物进行切削的切削刀具的切削装置，更详细地说，涉及具备用于检测切削刀具的原点位置的原点检测机构的切削装置，所述切削刀具的原点位置作为设定切削刀具的切入量的基准。
【背景技术】
[0002]通常，利用被称作切割器(dicer)的切削装置进行半导体晶片或光器件晶片等被加工物的沿着间隔道的切断。这种切削装置具备:卡盘工作台，其具备用于保持被加工物的保持面；切削构件，其具备用于对保持于所述卡盘工作台的被加工物进行切削的切削刀具；切入进给构件，其使所述切削刀具在相对于所述卡盘工作台的保持面垂直的方向即切入进给方向移动；分度进给构件，其使所述切削刀具在所述切削刀具的旋转轴线方向即分度进给方向移动；以及切削进给构件，其使所述卡盘工作台在与所述切入进给方向和所述分度进给方向双方正交的切削进给方向移动。另外，这样的切削装置构成为包括用于检测切削刀具的原点位置的原点检测机构，所述切削刀具的原点位置作为用于设定切削刀具的切入量的基准(例如，参照专利文献I)。
[0003]专利文献I所示的原点检测机构具备:旋转主轴，在其末端安装有切削刀具；以及主轴外壳，其将所述旋转主轴支承成能够旋转，并且，在所述主轴外壳设有朝向所述旋转主轴的后端面贯通的连通孔，在所述连通孔以能够滑动的方式插入有由碳制成的电极端子，通过弹簧对所述电极端子朝向旋转主轴的后端面施力，来将该电极端子按压到所述旋转主轴的后端面，在所述连通孔的端部螺合有已安装了导线的弹簧座，所述导线与原点检测电路连接。
[0004]这样构成的原点检测机构一边使切削刀具旋转一边使切削构件朝向卡盘工作台的保持面下降，当所述切削刀具接触所述卡盘工作台时，在原点检测电路中有电流流动，因此利用电流表检测到该电流的流动，将检测到该电流的时刻的切削刀具的切入位置设定为原点位置。
[0005]专利文献1:日本实用新型登记第2597808号公报
[0006]在这样的原点检测机构中，通过弹簧将电极端子始终按压到旋转主轴的后端面，因此在电极端子未磨损的状态(初始状态)下，弹簧收缩到最短从而按压力上升，电极端子有可能过多地磨损，在电极端子的磨损进行的状态(磨损状态)下，随着电极端子的磨损的进行，弹簧伸长从而按压力降低，有可能产生旋转主轴与电极端子的电导通不良。
【发明内容】
[0007]本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种切削装置，其能够抑制原点检测机构的电极端子的磨损及电导通不良。
[0008]为解决上述课题，达成目的，本发明的切削装置具备:卡盘工作台，其用于保持被加工物；切削构件，其包括旋转轴线大致水平的主轴，在所述主轴的一端安装有用于对保持于所述卡盘工作台的被加工物进行切削的切削刀具；和原点检测机构，其使所述切削刀具和所述卡盘工作台接触，利用所述切削刀具与所述卡盘工作台的电导通来检测出所述切削刀具相对于该卡盘工作台在切入方向的原点位置，所述切削装置的特征在于，所述原点检测机构构成为包括:引导孔，其从主轴外壳的上方的外周面朝向所述主轴贯通形成至该主轴外壳的内周面，所述主轴外壳将所述主轴支承成能够旋转；电极端子，其以能够滑动的方式插入到所述引导孔中，并与所述主轴的外周面接触；和配重，其由导电性材料形成为预定的重量，并将所述电极端子按压到所述主轴的所述外周面，借助所述配重以恒定的力将所述电极端子按压到所述主轴的所述外周面。
[0009]另外，在上述切削装置中，优选的是，在所述原点检测机构中，所述配重经由由导电性材料形成的弹性部件按压所述电极端子，所述弹性部件抑制了由于所述主轴的旋转及振动导致与该主轴的所述外周面接触的所述电极端子弹起从而使电接触断开的情况。
[0010]另外，在上述切削装置中，优选的是，所述原点检测机构具备测知所述电极端子的更换时机的测知构件，所述测知构件能够测知随着所述电极端子由于与旋转的所述主轴接触而磨损，所述配重下降到了预定的位置的情况，从而能够检测出所述电极端子磨损到了预定的长度的情况。
[0011]根据本发明的切削装置，利用配重将电极端子按压到所述主轴的外周面，其中，所述电极端子以能够滑动的方式插入到引导孔中，所述引导孔从主轴外壳的上方的外周面朝向主轴贯通形成至该主轴外壳的内周面，因此，借助配重始终以恒定的力将电极端子按压到主轴的外周面，起到了能够抑制电极端子的多余的消耗及电极端子与主轴的电导通不良的效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1是示出实施方式I涉及的切削装置的结构例的图。
[0013]图2是示出实施方式I涉及的原点检测机构的结构例的图。
[0014]图3是示出实施方式I涉及的原点检测机构的引导孔的结构例的图。
[0015]图4是原点检测时的原点检测机构的说明图。
[0016]图5是示出实施方式2涉及的原点检测机构的引导孔的结构例的图。
[0017]图6是示出实施方式3涉及的原点检测机构的测知构件的结构例的图。
[0018]图7是用于检测电极端子更换时机的测知构件的说明图。
[0019]标号说明
[0020]1:切削装置；
[0021]10:卡盘工作台；
[0022]20:切削构件；
[0023]21:切削刀具；
[0024]22:主轴；
[0025]22a:外周面；
[0026]23:主轴外壳；
[0027]23a:外周面；
[0028]23b:内周面；[0029]90:原点检测机构；
[0030]91:引导孔;
[0031]92:电极端子；
[0032]93:配重；
[0033]94:弹性部件；
[0034]99:测知构件。
【具体实施方式】
[0035]参照附图对用于实施本发明的方式(实施方式)进行详细说明。本发明不受以下的实施方式所记载的内容限定。并且，在以下记载的结构要素中，包括本领域技术人员容易想到的和实质上相同的结构。而且，以下记载的结构能够适当组合。另外，在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行结构的各种省略、置换或变更。
[0036][实施方式I]
[0037]图1是示出实施方式I涉及的切削装置的结构例的图。图2是示出实施方式I涉及的原点检测机构的结构例的图。图3是示出实施方式I涉及的原点检测机构的引导孔的结构例的图。图4是原点检测时的原点检测机构的说明图。
[0038]图1所示的实施方式I涉及的切削装置I是通过使切削构件20和卡盘工作台10相对移动来对被加工物实施切削加工的、被称为切割器的装置，其中，所述切削构件20具备切削刀具21，所述卡盘工作台10保持有未图示的被加工物。切削装置I构成为包括卡盘工作台10、切削构件20、摄像构件30、X轴移动构件40、Y轴移动构件50、Z轴移动构件60、0轴旋转构件70、控制构件80和原点检测机构90 (图2中示出)。
[0039]这里，被加工物是被切削加工的加工对象，不特别限定，例如是以硅、砷化镓(GaAs)等为母材的圆板状的半导体晶片或光器件晶片、陶瓷、玻璃、蓝宝石(Al2O3)类的圆板状的无机材料基板、金属或树脂等的圆板状的延展性材料等各种加工材料。
[0040]卡盘工作台10的构成保持部11的表面12 (相当于保持面)的部分是由多孔性陶瓷等形成的圆盘形状，利用未图示的真空抽吸源来对在表面12载置的被加工物进行抽吸保持。另外，包括与保持部11共面地形成的外周部分的卡盘工作台10由不锈钢等导电性材料构成。
[0041]切削构件20用于基于由摄像构件30摄像得到的被加工物的图像数据，对保持于卡盘工作台10的被加工物一边供给切削液一边在应加工的区域实施切削加工。切削构件20被Y轴移动构件50和Z轴移动构件60支承成能够相对于卡盘工作台10分别沿Y轴方向及Z轴方向相对移动。切削构件20具备切削刀具21、主轴22、主轴外壳23及切削液供给喷嘴24。切削刀具21是由导电性材料形成为极薄的环形形状的切削磨具，通过高速旋转对保持于卡盘工作台10的被加工物进行切削。切削刀具21以装卸自如的方式安装于主轴22的Y轴方向的正方向侧的一端(末端)。主轴22的旋转轴线大致水平。这里所谓的大致水平包括主轴22的旋转轴线为水平的情况，是指在利用切削刀具21进行的被加工物的切削加工中不会出现问题的水平度。主轴22由导电性材料形成，如图2所示，其一体地具有主轴主体部24、转子部25和止推板部26。主轴22由主轴主体部24及止推板部26构成，并被空气轴承机构支承成旋转自如。主轴外壳23形成为筒状，将插入到其内部的主轴22支承成旋转自如。在主轴外壳23形成有供给通道27，从气体供给构件100经由供给配管101对供给通道27供给高压空气。被供给到供给通道27的高压空气在主轴主体部24及止推板部26处，在主轴22和主轴外壳23之间形成空气层，成为空气轴承来支承主轴22。转子部25是电动机29的结构要素，在转子部25的径向外侧配设有定子28。定子28固定于主轴外壳23，利用通电来产生磁场，产生驱动转子部25旋转的旋转力，从而驱动切削刀具21旋转。
[0042]摄像构件30是例如使用CO) (Charge Couple Device:电荷稱合器件)图像传感器的照相机等，其对保持于卡盘工作台10的被加工物进行摄像从而生成图像。
[0043]X轴移动构件40利用由X轴脉冲电动机42产生的旋转力来驱动X轴滚珠丝杠43旋转，由此一边利用一对X轴导轨44引导搭载有卡盘工作台10的X轴移动基座41，一边利用X轴位置检测用标尺45和X轴位置检测用传感器46检测X轴方向的相对位置，从而相对于装置主体2将X轴移动基座41移动至X轴方向的预定位置。X轴方向是与主轴22的轴向(Y轴方向)及竖直方向(Z轴方向)双方正交的方向。
[0044]Y轴移动构件50利用由Y轴脉冲电动机52产生的旋转力来驱动Y轴滚珠丝杠53旋转，由此一边利用一对Y轴导轨54引导Y轴移动基座51，一边利用Y轴位置检测用标尺55和Y轴位置检测用传感器56检测Y轴方向的相对位置，从而相对于装置主体2将Y轴移动基座51移动至Y轴方向的预定的位置。Y轴方向是切削刀具21的旋转轴线的方向，是与竖直方向(Z轴方向)正交的方向。
[0045]Z轴移动构件60利用由Z轴脉冲电动机62产生的旋转力来驱动Z轴滚珠丝杠63旋转，由此一边利用一对Z轴导轨64引导固定有切削构件20的Z轴移动部件61，一边利用未图示的Z轴位置检测用传感器检测Z轴方向的相对位置，从而相对于装置主体2将Z轴移动部件61移动至Z轴方向的预定的位置。Z轴方向在本实施方式中为竖直方向。
[0046]0轴旋转构件70构成为能够利用0轴旋转电动机71相对于切削刀具21使搭载有卡盘工作台10的工作台72旋转任意的角度或连续旋转。工作台72构成为经由0轴旋转电动机71支承于X轴移动基座41，并且能够以卡盘工作台10的中心轴线为中心旋转。
[0047]控制构件80是具有计算机的电子控制装置，其与X轴移动构件40、Y轴移动构件50、Z轴移动构件60、0轴旋转构件70及气体供给构件100 (图2中示出)分别连接，并控制各构件 40、50、60、70、100。
[0048]这里，对实施方式I涉及的原点检测机构90进行说明。原点检测机构90是用于检测切削刀具21的原点位置的机构，所述切削刀具21的原点位置作为用于设定切削刀具21的切入量的基准。如图2所示，原点检测机构90构成为具备引导孔91、电极端子92、配重93和弹性部件94，并包括原点检测电路95和控制构件80。
[0049]如图2及图3所示，引导孔91与主轴外壳23的上方的外周面23a和该主轴外壳23的上方的内周面23b连通并朝向主轴22贯通形成。引导孔91在与主轴22的旋转轴线正交的竖直方向(Z轴方向)上贯通形成，例如形成为圆形形状的贯通孔。在引导孔91的上端形成有与该引导孔91在一条直线上连通的中空圆筒状的筒状部96。电极端子92、配重93和弹性部件94在连结的状态下，以能够滑动的方式插入到引导孔91及筒状部96中。
[0050]电极端子92由摩擦系数低、耐磨性优秀、并具有耐热性的导电性材料形成。在本实施方式中，电极端子92使用碳刷。电极端子92的外形形成为比引导孔91稍小，并且电极端子92以能够滑动的方式插入到引导孔91中。电极端子92在上端侧连结有弹性部件94，并与该弹性部件94电连接。电极端子92的下端侧与主轴22的外周面22a接触并与所述主轴22电连接。
[0051]配重93经由弹性部件94对电极端子92作用有自重，从而始终以恒定的力将电极端子92按压到主轴22的外周面22a。配重93由金属等导电性材料构成。在本实施方式中，配重93具有10克(g)左右的预定的重量。这里所谓的预定的重量是能够抑制电极端子92与主轴22的电导通不良、并且抑制电极端子92的多余的消耗的重量，是相对于电极端子92合适的重量。配重93的外形形成为比引导孔91稍小，并且配重93以能够滑动的方式插入到筒状部96中。配重93在下端侧连结有弹性部件94并且在上端侧连结有原点检测电路95的导线97，并与弹性部件94及导线97电连接。当配重93随着电极端子92的磨损而下降到引导孔91中时，该配重93以能够滑动的方式插入到该引导孔91中。
[0052]弹性部件94抑制了与主轴22的外周面22a接触的电极端子92由于所述主轴22的旋转及振动而弹起的情况，抑制了电极端子92与主轴22之间的电接触断开的情况。在本实施方式中，弹性部件94是将金属线等导电性材料卷绕成螺旋状而形成的压缩螺旋弹簧。弹性部件94在下端侧与电极端子92连结，并在上端侧与配重93连结，并且与电极端子92及配重93电连接。弹性部件94的外形形成为比引导孔91稍小，并且弹性部件94以能够滑动的方式插入到引导孔91中。弹性部件94具有吸收电极端子92的振动并且不随着电极端子92的振动而发生固有振动的倔强系数，所述电极端子92与由于稍稍偏心等而振动的主轴22的外周面22a接触。
[0053]原点检测电路95构成为包括导线97、第一开关98a、电流表98b、第二开关98c和电源98d。导线97将配重93、电流表98b、第二开关98c、电源98d和卡盘工作台10串联地电连接，在所述配重93和所述电流表98b之间配设用于切断和连接接地线的开关即第一开关98a，并将所述配重93、所述第一开关98a和所述接地线串联地电连接。第一开关98a、电流表98b和第二开关98c分别与控制构件80电连接。控制构件80构成为，其控制第一开关98a及第二开关98c，并能够取得示出电流表98b的检测结果的信号。
[0054]这里，对通过切削刀具21与卡盘工作台10接触时的电导通来检测切削刀具21相对于所述卡盘工作台10在切入方向(Z轴方向)的原点位置的设置(set up)进行说明。另夕卜，原点位置是用于设定切削刀具21的切入量的基准。
[0055]如图4所示，在设置时，控制构件80断开第一开关98a，闭合第二开关98c，一边使切削刀具21旋转一边使切削构件20朝向卡盘工作台10的表面12下降。控制构件80将以下位置设定为原点位置:该位置是由于切削刀具21与卡盘工作台10的接触而利用电流表98b检测到了在包括原点检测电路95的闭合电路中流动的电流的时刻的、切削刀具21的切入位置。
[0056]而且，如图2所示，在设置时以外，控制构件80闭合第一开关98a，断开第二开关98c，使主轴22、电极端子92、配重93、弹性部件94、导线97、第一开关98a和接地线电连接，从而将主轴22接地。
[0057]如上所述，根据实施方式I涉及的切削装置1，利用配重93将电极端子92按压到主轴22的外周面22a，其中，所述电极端子92以能够滑动的方式插入到引导孔91中，所述引导孔91从主轴外壳23的上方的外周面23a朝向所述主轴22贯通形成至该主轴外壳23的内周面23b，因此，借助配重93始终以恒定的力将电极端子92按压到主轴22的外周面22a，起到能够抑制电极端子92的多余的消耗及电极端子92与主轴22的电导通不良的效果。
[0058]另外，根据实施方式I涉及的切削装置1，配重93经由弹性部件94将电极端子92按压到主轴22的外周面22a，因此抑制了电极端子92由于主轴22的旋转及振动而弹起，并能够抑制电极端子92和主轴22的电接触的断开。
[0059]另外，根据实施方式I涉及的切削装置1，通过预定重量的配重93将电极端子92以恒定的力按压到主轴22，因此在电极端子92未磨损的状态(初始状态)及电极端子92的磨损进行的状态(磨损状态)下，能够抑制电极端子92的多余的消耗及电极端子92与主轴22的电导通不良。
[0060]另外，根据实施方式I涉及的切削装置1，电极端子92接触主轴22的外周面22a，因此能够使切削构件20的轴向(Y轴方向)的尺寸小型化。从而，能够实现切削装置I的省空间化。
[0061]而且，在上述实施方式I中，切削装置I是具有一个主轴22的切割器，但也可以是具有两个主轴22的切割器，换句话说为双切割器(例如对置双切割器或并列双切割器)。
[0062]另外，在上述实施方式I中，配重93具有10克(g)左右的重量，但只要是能够抑制电极端子92与主轴22的电导通不良、且抑制电极端子92的多余的消耗的重量即可，因此也可以是通过将多个配重93插入到引导孔91 (包括筒状部96)中来形成10克左右的重量。
[0063]另外，在上述实施方式I中，弹性部件94是将金属线等卷绕成螺旋状而形成的压缩螺旋弹簧，但可以使用以下部件:其具有作为能够吸收电极端子92的振动的减震器的功能，且具有导电性。
[0064][实施方式2]
[0065]接着，对实施方式2涉及的切削装置I的原点检测机构90进行说明。实施方式2涉及的切削装置I的原点检测机构90的基本结构与实施方式I涉及的切削装置I的原点检测机构90相同，因此省略了相同部分的结构的说明。实施方式2涉及的切削装置I的原点检测机构90能够在竖直方向(Z轴方向)上实现省空间化。
[0066]图5是示出实施方式2涉及的原点检测机构的引导孔的结构例的图。
[0067]如图5所不,原点检测机构90具有以相对于竖直方向倾斜的方式贯通形成的引导孔91、和与该引导孔91在一条直线上连通的筒状部96，电极端子92、配重93和弹性部件94在倾斜的状态下以能够滑动的方式插入到引导孔91及筒状部96中。
[0068]弓丨导孔91与主轴22的旋转轴线正交，并在相对于竖直方向(Z轴方向)向X轴方向的负方向以倾斜角a倾斜的方向贯通形成。在本实施方式中，倾斜角a设定为向X轴方向的负方向倾斜的-30度。
[0069]筒状部96与引导孔91在一条直线上连通，并且在本实施方式中，其倾斜角a设定为相对于竖直方向(Z轴方向)向X轴方向的负方向倾斜的-30度。
[0070]如上所述，根据实施方式2涉及的切削装置1，使筒状部96相对于竖直方向倾斜，因此能够减少筒状部96在竖直方向的突出量H。从而，实施方式2涉及的切削装置I能够实现竖直方向上的省空间化。[0071]另外，引导孔91的倾斜角a是向X轴方向的负方向倾斜的-30度，因此不会增大配重93与引导孔91 (包括筒状部96)之间的摩擦力，能够将配重93的重量充分地作用于电极端子92，能够抑制电极端子92与主轴22之间的电导通不良。
[0072]另外，在上述实施方式2中，倾斜角a形成为向X轴方向的负方向倾斜的-30度，但只要是在能够忽略配重93与引导孔91 (包含筒状部96)之间的摩擦力的范围、且不需要非常多的个数的配重93的范围内即可，因此倾斜角a能够设定在从向X轴方向的正方向倾斜的+45度至向X轴方向的负方向倾斜的-45度的范围内，优选的是，能够设定在从向X轴方向的正方向倾斜的+30度至向X轴方向的负方向倾斜的-30度的范围内。
[0073]另外，在上述实施方式2中，引导孔91及筒状部96向X轴方向倾斜，但只要能够实现筒状部96的竖直方向的省空间化即可，因此也可以向Y轴方向倾斜，另外也可以向X轴方向及Y轴方向双方倾斜。
[0074][实施方式3]
[0075]接着，对本实施方式3涉及的切削装置I的原点检测机构90进行说明。实施方式3涉及的切削装置I的原点检测机构90的基本的结构与实施方式I涉及的切削装置I的原点检测机构90相同，因此省略了相同部分的结构的说明。实施方式3涉及的切削装置I的原点检测机构90能够检测电极端子92的更换时机。
[0076]图6是示出实施方式3涉及的原点检测机构的测知构件的结构例的图。图7是检测电极端子的更换时机的测知构件的说明图。
[0077]如图6所示，原点检测机构90具备测知构件99，测知构件99用于测知配重93随着电极端子92的磨损而下降到了预定位置的情况。这里所谓的配重93下降到了预定位置是指配重93下降到了当电极端子92的磨损达到未图示的磨损边界线时的位置。测知构件99例如构成为包括:标记部件99a，其比配重93的表面容易反射光；以及传感器99b，其用于向配重93照射光并测知由标记部件99a反射来的光。标记部件99a配设在当所述电极端子92的磨损到达在电极端子92的外表面形成的未图示的磨损边界线时传感器99b能够检测到的位置。在本实施方式中，传感器99b配设于筒状部96，并与控制构件80电连接。控制构件80构成为能够取得表示传感器99b的测知结果的信号。
[0078]这里，对电极端子92的更换时机的检测进行说明。如图7所示，在配重93随着电极端子92的磨损而下降到了预定的位置时，控制构件80基于表示传感器99b检测到了配重93的标记部件99a这一测知结果的信号，检测出电极端子92磨损到了预定的长度。接着，控制构件80在切削装置I的未图示的操作画面等中发出通知电极端子92的更换时机的警报，从而催促操作者等作业员更换电极端子92。
[0079]如上所述，根据实施方式3涉及的切削装置I，利用传感器99b检测到配重93随着电极端子92的磨损而下降到了预定的位置的情况，因此能够利用测知构件99检测出电极端子92磨损至预定的长度而到达该电极端子92的更换时机的情况。从而，实施方式3涉及的切削装置I根据电极端子92的磨损量，能够在适当的时机更换电极端子92。
[0080]另外，在上述实施方式3中，测知构件99构成为包括配重93的标记部件99a和测知从该标记部件99a反射来的光的传感器99b，但也可以构成为，在配重93随着电极端子92的磨损而下降至预定的位置时，设于该配重93的凸部按压开关从而检测出上述电极端子92的更换时机，也可以构成为通过与配重93的电导通来检测出电极端子92的更换时机，只要是能够通过检测配重93的移动量或位置等来检测电极端子92的更换时机的结构即可。
【权利要求】
1.一种切削装置，其具备: 卡盘工作台，其用于保持被加工物； 切削构件，其包括旋转轴线大致水平的主轴，在所述主轴的一端安装有用于对保持于所述卡盘工作台的被加工物进行切削的切削刀具；和 原点检测机构，其使所述切削刀具和所述卡盘工作台接触，利用所述切削刀具与所述卡盘工作台的电导通来检测出所述切削刀具相对于该卡盘工作台在切入方向的原点位置，所述原点检测机构构成为包括: 引导孔，其从主轴外壳的上方的外周面朝向所述主轴贯通形成至该主轴外壳的内周面，所述主轴外壳将所述主轴支承成能够旋转； 电极端子，其以能够滑动的方式插入到所述引导孔中，并与所述主轴的外周面接触；和配重，其由导电性材料形成为预定的重量，并将所述电极端子按压到所述主轴的所述外周面， 借助所述配重以恒定的力将所述电极端子按压到所述主轴的所述外周面。
2.根据权利要求1所述的切削装置，其中， 在所述原点检测机构中， 所述配重经由由导电性材料形成的弹性部件按压所述电极端子， 所述弹性部件抑制了由于所述主轴的旋转及振动导致与该主轴的所述外周面接触的所述电极端子弹起从而使电接触断开的情况。
3.根据权利要求1或2所述的切削装置，其中， 所述原点检测机构具备测知所述电极端子的更换时机的测知构件， 所述测知构件能够测知随着所述电极端子由于与旋转的所述主轴接触而磨损，所述配重下降到了预定的位置的情况，从而能够检测出所述电极端子磨损到了预定的长度的情况。
【文档编号】B28D7/00GK103660049SQ201310449812
【公开日】2014年3月26日 申请日期:2013年9月23日 优先权日:2012年9月24日
【发明者】押田邦雄 申请人:株式会社迪思科