玻璃镀膜系统的制作方法
【专利摘要】本发明涉及玻璃镀膜系统，其用于对待镀膜玻璃进行镀膜，该玻璃镀膜系统包括第一镀膜舱、狭缝隔舱、第二镀膜舱及传送单元，该狭缝隔舱位于该第一镀膜舱与该第二镀膜舱之间，该传送单元位于该第一镀膜舱、该狭缝隔舱及该第二镀膜舱的下端，该传送单元用于在该第一镀膜舱、该狭缝隔舱及该第二镀膜舱内传送该待镀膜玻璃，该狭缝隔舱还包括狭缝板及与该狭缝板相连的升降模组，该狭缝板位于该传送单元上方，该升降模组与该狭缝板相连用于调节该狭缝板与该传送单元之间的相对距离。上述玻璃镀膜系统具有保证不同镀膜舱内的阴极气体不互相串通扩散的优点。
【专利说明】玻璃镀膜系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种镀膜装置，尤其是一种玻璃镀膜系统。
【背景技术】
[0002]随着近年来国家节能减排政策的执行以及人们对低碳环保意识的加强，节能玻璃在门窗、玻璃幕墙中的应用越来越广泛。如图1所示，在生产节能玻璃的镀膜生产线中，相邻的两个阴极，在溅射过程中，可能要分别通入不同的反应气体，如通入不同反应气体7a和16a，进行反应镀膜，为了保证反应镀膜的纯净性，要求7a与16a气体不互相串通，不互相扩散。这就需要大大拉长相邻两个阴极之间的距离。一般要拉长到61个阴极隔舱，同时要在每一个隔舱中至少配备一至两台真空泵进行抽气，才能使气体7a与16a不互相串通扩散，这样使得整条生产线的长度大大加长，浪费了大量的空间，增加了生产线的制造成本。
[0003]如图1所示，为常规的节能玻璃镀膜生产线局部图，当真空室2a由真空泵8a抽取到一定的真空度时，隔舱室3a内，由隔舱室3a内的供气管la，通入反应气体7a，置于隔舱室3a上部的阴极5a，开始工作，进行反应溅射。需要被镀膜的玻璃6a，由真空室2a底部的辊道4a传入真空室，当需要被镀膜的玻璃6a通过阴极5a下面时，玻璃表面被镀上一层膜。这就是真空镀膜。同理当玻璃被辊道传送到隔舱室15a区域内时，由隔舱室15a内的供气管13a，通入反应气体16a，置于隔舱室15a上部的阴极14a，开始工作，进行反应溅射，玻璃表面被镀上另外一种膜。为了保证隔舱3a、15a之间的气体不互相串通和扩散，需要有中间隔舱10a，以及配备的真空泵8a，这样气体7a在扩散到中间隔舱IOa中，会被真空泵8a抽走一部分。同理，如果中间隔舱的数量足够多时，如中间隔舱11a，中间隔舱12a等，最终可以保证，隔舱3a、15a之间的气体不互相串通扩散。这样就导致整条生产线的长度要大大增加,配备的真空泵的数量也要大大增加,生产线的造价也大大提高。
[0004]
【发明内容】
[0005]鉴于上述状况，有必要提供一种玻璃镀膜系统，其既可以保证各隔舱区内阴极气体不互相串通扩散，又能使两个阴极之间的距离大大缩短，同时在镀不同的厚度玻璃时，并不需停机、破坏真空、中断生产，只需在真空中进行调整，就可继续生产，并可连续生产不同厚度的玻璃。
[0006]为解决上述问题，提供一种玻璃镀膜系统，其用于对待镀膜玻璃进行镀膜，该玻璃镀膜系统包括第一镀膜舱、狭缝隔舱、第二镀膜舱及传送单元，该狭缝隔舱位于该第一镀膜舱与该第二镀膜舱之间，该传送单元位于该第一镀膜舱、该狭缝隔舱及该第二镀膜舱的下端，该传送单元用于在该第一镀膜舱、该狭缝隔舱及该第二镀膜舱内传送该待镀膜玻璃，该狭缝隔舱还包括狭缝板及与该狭缝板相连的升降模组，该狭缝板位于该传送单元上方，该升降模组与该狭缝板相连用于调节该狭缝板与该传送单元之间的相对距离。
[0007]该升降模组包括伺服电机和偏心轮机构，该伺服电机设于该狭缝隔舱外，该偏心轮机构连接于该狭缝板，该伺服电机的输出轴连接有联轴器。
[0008]该偏心轮机构包括有固定在该狭缝隔舱侧壁上的轴承座，该轴承座上设有转动轴，该转动轴上设有偏心轮，该转动轴通过该联轴器与该伺服电机的输出轴连接。
[0009]该偏心轮与该狭缝板连接接触，该狭缝板通过该伺服电机的输出轴的转动带动该狭缝板的上下移动，从而调节该狭缝板与该传送单元之间的相对距离。
[0010]该伺服电机输出轴与该狭缝隔舱之间设有密封圈；该伺服电机输出轴与该密封圈之间设有真空密封组件。
[0011]该升降模组为两个，分别连接在该狭缝板的两侧。 [0012]该狭缝隔舱中的传送单元包括有两个平行辊道，该狭缝隔舱下端还固定设有底板，该两个平行辊道将该底板分成左底板、中底板和右底板，该底板表面未超出该两个平行棍道的最闻点。
[0013]该第一镀膜舱和该第二镀膜舱的传送单元上方分别设有阴极，并分别设有供气管，该供气管连通有反应气体，该狭缝隔舱的传送单元上方设有真空泵。
[0014]该狭缝板中央设有狭缝抽气口，该狭缝抽气口设于该真空泵的正下方。
[0015]上述玻璃镀膜系统，通过在第一镀膜舱和第二镀膜舱之间安装可调狭缝系统，因此本系统宽度只需广2个镀膜舱，就可不必再增加两个阴极之间的距离，也能保证不同镀膜舱内阴极气体不互相串通扩散。使两个阴极之间的距离大大缩短，同时本发明具有在真空中连续可调的特点，当生产不同厚度的玻璃时，并不需要采取停机、破坏真空、对狭缝进行调整的步骤，而中断生产，只需在真空中对狭缝板进行上下调整，使其适合不同待镀膜玻璃的厚度，使连续生产不同厚度的待镀膜玻璃成为可能。本发明玻璃镀膜系统可广泛应用于连续玻璃镀膜生产线上。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1是现有技术中的玻璃镀膜装置剖面结构示意图。
[0017]图2是本发明玻璃镀膜系统的剖面结构示意图。
[0018]图3是本发明玻璃镀膜系统中升降模组连接结构示意图。
[0019]其中:12、第一镀膜舱；122、阴极；124、供气管；14、第二镀膜舱；142、阴极；144、供气管；16、狭缝隔舱；162、真空泵；163、狭缝板；1632、狭缝抽气口； 1642、左底板；1644、中底板；1646、右底板；166、狭缝；
20、传送单元；22、辊道；
30、待镀膜玻璃；
42、44、反应气体；
50、升降模组；51、伺服电机；52、真空密封组件；53、联轴器；54、转动轴；55、轴承座；56、偏心轮；57、密封圈；58、输出轴。
【具体实施方式】
[0020]下面将结合附图及实施例对本发明的玻璃镀膜系统作进一步的详细说明。
[0021]请参见图2、图3，本发明实施例的一种玻璃镀膜系统，其用于对待镀膜玻璃30进行镀膜，该玻璃镀膜系统包括第一镀膜舱12、狭缝隔舱16、第二镀膜舱14及传送单元20，该狭缝隔舱16位于该第一镀膜舱12与该第二镀膜舱14之间，该传送单兀20位于该第一镀膜舱12、该狭缝隔舱16及该第二镀膜舱14的下端，该传送单元20用于在该第一镀膜舱12、该狭缝隔舱16及该第二镀膜舱14内传送该待镀膜玻璃30，该狭缝隔舱16还包括狭缝板163及与该狭缝板163相连的升降模组50，该狭缝板163位于该传送单元20上方，该升降模组50与该狭缝板163相连用于调节该狭缝板163与该传送单元20之间的相对距离，在镀膜过程中，可以调整该相对距离，该可调整的相对距离我们称作狭缝166，在本可调狭缝系统中，当待镀膜玻璃30的厚度改变时，并不需要停机、充入大气、对狭缝进行调整而中断生产，只需在真空条件下对狭缝进行调整，使其适合不同厚度的玻璃，就可以了。
[0022]该升降模组50包括伺服电机51和偏心轮机构,该伺服电机51设于该狭缝隔舱16外，该偏心轮机构连接于该狭缝板163，该伺服电机51的输出轴58连接有联轴器53 ;该偏心轮机构包括有固定在该狭缝隔舱16侧壁上的轴承座55，该轴承座55上设有转动轴54，该转动轴54上设有偏心轮56，该转动轴54通过该联轴器53与该伺服电机51的输出轴58连接；该偏心轮56与该狭缝板163连接接触，该狭缝板163通过该伺服电机51的输出轴58的转动带动该狭缝板163的上下移动，从而调节该狭缝板163与该传送单元20之间的相对距离，当第一镀膜舱12、狭缝隔舱16、第二镀膜舱14的真空度达到溅射真空度的时候，启动伺服电机51，使伺服电机51旋转一定的角度，带动输出轴58转动，通过联轴器53带动转动轴54转动，转动轴54又带动偏心轮56转动，偏心轮56的高低使狭缝板163距左底板1642、中间底板1644、右底板1646上表面的距离较小，形成了狭缝166。
[0023]该伺服电机51输出轴58与该狭缝隔舱16之间设有密封圈57 ;该伺服电机51输出轴58与该密封圈57之 间设有真空密封组件52，密封圈57和真空密封组件52将伺服电机51输出轴58分成真空室内部分和真空室外部分，保证了第一镀膜舱12、狭缝隔舱16、第二镀膜舱14的真空度。
[0024]该升降模组50为两个，分别连接在该狭缝板163的两侧，该升降模组50分别在该狭缝板163的两侧设置，使该狭缝板163在升降过程中更平稳，调整度更精确。
[0025]该狭缝隔舱16中的传送单元20包括有两个平行辊道22，该狭缝隔舱16下端还固定设有底板，该两个平行辊道22将该底板分成左底板1642、中底板1644和右底板1646，该底板表面未超出该两个平行辊道22的最高点。
[0026]该第一隔舱区12和该第二隔舱区14的传送单元20上方分别设有阴极122、142，并分别设有供气管124、144，该供气管124、144连通有反应气体42、44，该狭缝隔舱16的传送单元20上方设有真空泵162，该真空泵162可以是分子泵，也可以是其它真空泵的抽气□。
[0027]该狭缝板163中央设有狭缝抽气口 1632，该狭缝抽气口 1632设于该真空泵162的正下方，可使得当有少量的反应气体42、44扩散到此处时，被真空泵162抽走，而不能扩散到第二镀膜舱14的范围内。
[0028]如图2、图3所示，该玻璃镀膜装置的镀膜方法，包括如下步骤:
启动狭缝隔舱16的真空泵162，开始抽空空气，该玻璃镀膜系统，包括第一镀膜舱12、狭缝隔舱16、第二镀膜舱14及传送单元20，该狭缝隔舱16位于该第一镀膜舱12与该第二镀膜舱14之间，该传送单元20位于该第一镀膜舱12、该狭缝隔舱16及该第二镀膜舱14的下端，该传送单元20用于在该第一镀膜舱12、该狭缝隔舱16及该第二镀膜舱14内传送该待镀膜玻璃30，该狭缝隔舱16还包括狭缝板163及与该狭缝板163相连的升降模组50，该狭缝板163位于该传送单元20上方，该升降模组50与该狭缝板163相连用于调节该狭缝板163与该传送单元20之间的相对距离 '及 将该待镀膜玻璃30放在该玻璃镀膜系统的传送单元20上，
1)当第一隔舱区12、狭缝隔舱16、第二镀膜舱14内的真空度达到溅射真空度的时候，启动伺服电机51,使伺服电机51旋转一定的角度,通过联轴器53带动偏心轮56转动,从而调节狭缝板163与底板上表面的距离，形成了间隙，该间隙称之为狭缝；
2)将第一隔舱区12的供气管124通入反应气体42，第一隔舱区12的阴极122开始溅射，再将第二隔舱区14的供气管142通入反应气体44，第二隔舱区14的阴极142开始溅射；
3)再将待镀膜玻璃30—片接一片地传入第一隔舱区12、狭缝隔舱16、第二镀膜舱14进行镀膜，当观察到第一片待镀膜玻璃30的前端接近左底板1642时，再启动伺服电机51，调整狭缝板163与待镀膜玻璃30上表面的距离，使其小于Imm ；
4)当本厚度的待镀膜玻璃30镀膜完成后，如需换另外一种厚度的待镀膜玻璃30时，可以重复上述操作，对新厚度的待镀膜玻璃30进行镀膜。
[0029]在镀膜过程中，可以调整狭缝板163到待镀膜玻璃30表面的间距，狭缝板163与待镀膜玻璃30上表面形成的缝隙，我们称作“狭缝”，当间距的数值调整到很小的时候，如小于Imm时，第一镀膜舱12、第二镀膜舱14又都处于溅射镀膜的真空度下，分子自由程数值要比间距的数值大很多，根据真空中分子运动原理，这时气体分子很难通过此“狭缝”扩散，所以第一镀膜舱12、第二镀膜舱4中反应气体42、44被阻隔，很难互相串通扩散。另外在狭缝板163的中间设有狭缝抽气口 1632，在狭缝隔舱16上部有真空泵162，使得当有少量的反应气体42扩散到此处时，被真空泵162抽走，而不能扩散到第二镀膜舱14的范围内。同理，反应气体44也不能扩散到第一镀膜舱12的范围内。这样就实现了:用较短的距离使得相邻阴极122、142的反应气体42、44不相互串通扩散。同理，在没有待镀膜玻璃30的情况下，狭缝板163可向下调整,使狭缝板163距左底板1642，中间底板1644,右底板1646上表面的距离较小，在溅射镀膜的真空度下，气体分子自由程要比它们之间的距离大很多，根据真空中分子运动原理，这时气体很难通过此“狭缝”扩散，所以第一镀膜舱12、第二镀膜舱14的反应气体42、44被阻隔，也很难互相串通扩散。
[0030]在本可调狭缝系统中，当待镀膜玻璃的厚度改变时，并不需要停机、充入大气、对狭缝进行调整，而中断生产，只需在真空条件下对狭缝进行调整，使其适合不同厚度的玻璃，就可以了。使连续生产不同厚度的玻璃成为可能。
[0031]上述玻璃镀膜系统，通过在第一镀膜舱和第二镀膜舱之间安装可调狭缝系统，本系统宽度只需广2个隔舱位，就可不再拉长两个阴极之间的距离，也能保证不同隔舱区内阴极气体不互相串通扩散。使两个阴极之间的距离大大缩短，同时本发明具有在真空中连续可调的特点，当生产不同厚度的玻璃时，并不需要采取停机、破坏真空、对狭缝进行调整的步骤，而中断生产，只需在真空中对狭缝板进行上下调整，使其适合不同待镀膜玻璃的厚度，使连续生产不同厚度的待镀膜玻璃成为可能。本发明玻璃镀膜系统可广泛应用于连续玻璃镀膜生产线上。
[0032]以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修 改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
【权利要求】
1.一种玻璃镀膜系统，其用于对待镀膜玻璃进行镀膜，其特征在于:该玻璃镀膜系统包括第一镀膜舱、狭缝隔舱、第二镀膜舱及传送单元，该狭缝隔舱位于该第一镀膜舱与该第二镀膜舱之间，该传送单元位于该第一镀膜舱、该狭缝隔舱及该第二镀膜舱的下端，该传送单元用于在该第一镀膜舱、该狭缝隔舱及该第二镀膜舱内传送该待镀膜玻璃，该狭缝隔舱还包括狭缝板及与该狭缝板相连的升降模组，该狭缝板位于该传送单元上方，该升降模组与该狭缝板相连用于调节该狭缝板与该传送单元之间的相对距离。
2.如权利要求1所述的玻璃镀膜系统，其特征在于:该升降模组包括伺服电机和偏心轮机构，该伺服电机设于该狭缝隔舱外，该偏心轮机构连接于该狭缝板，该伺服电机的输出轴连接有联轴器。
3.如权利要求2所述的玻璃镀膜系统，其特征在于:该偏心轮机构包括有固定在该狭缝隔舱侧壁上的轴承座，该轴承座上设有转动轴，该转动轴上设有偏心轮，该转动轴通过该联轴器与该伺服电机的输出轴连接。
4.如权利要求3所述的玻璃镀膜系统，其特征在于:该偏心轮与该狭缝板连接接触，该狭缝板通过该伺服电机的输出轴的转动带动该狭缝板上下移动，从而调节该狭缝板与该传送单元之间的相对距离。
5.如权利要求2所述的玻璃镀膜系统,其特征在于:该伺服电机输出轴与该狭缝隔舱之间设有密封圈；该伺服电机输出轴与该密封圈之间设有真空密封组件。
6.如权利要求2所述的玻璃镀膜系统，其特征在于:该升降模组为两个，分别连接在该狭缝板的两侧。
7.如权利要求2所述的玻璃镀膜系统，其特征在于:该狭缝隔舱中的传送单元包括有两个平行辊道，该狭缝隔舱下 端还固定设有底板，该两个平行辊道将该底板分成左底板、中底板和右底板，该底板表面未超出该两个平行辊道的最高点。
8.如权利要求1所述的玻璃镀膜系统，其特征在于:该第一镀膜舱和该第二镀膜舱的传送单元上方分别设有阴极，并分别设有供气管，该供气管连通有反应气体，该狭缝隔舱的传送单元上方设有真空泵。
9.如权利要求8所述的玻璃镀膜系统，其特征在于:该狭缝板中央设有狭缝抽气口，该狭缝抽气口设于该真空泵的正下方。
【文档编号】C03C17/00GK103663996SQ201310588999
【公开日】2014年3月26日 申请日期:2013年11月20日 优先权日:2013年11月20日
【发明者】陈海峰, 谢仕武, 白振中, 曾小绵 申请人:中国南玻集团股份有限公司