一种导电玻璃样片制作装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及导电玻璃【技术领域】，尤其涉及一种导电玻璃样片制作装置，它包括溅射室，溅射室内设置有圆形旋转台，圆形旋转台设置有多边形双层基片架，多边形双层基片架的每条边上放置有玻璃基片，多边形双层基片架的边数大于等于六边；所述圆形旋转台的旁侧设置有一组磁力溅射机构，磁力溅射机构包括极板、磁铁、铜背板和靶材，所述极板通过磁铁连接铜背板，靶材设置于铜背板上，靶材与玻璃基片相对置，可大大提高制作效率，缩短生产周期。
【专利说明】一种导电玻璃样片制作装置
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及导电玻璃【技术领域】，尤其涉及一种导电玻璃样片制作装置。
【背景技术】
[0002]ITO镀膜导电玻璃是生产液晶显示器和触摸屏的关键技术。液晶显示器之所以能显示特定的图形，就是利用导电玻璃上的透明导电膜，经蚀刻制成特定外形的电极，上下导电玻璃制成液晶盒后，在这些电极上加适当电压信号，使具有偶极矩的液晶分子在电场作用下特定的方面排列，仅而显示出与电极波长相对应的图形。
[0003]ITO镀膜导电玻璃需要制作多个样片，并对多个样片进行检测，综合检测结果，再决定是否能同批次批量生产。然而，现有的样片制作效率较低，影响生产周期。
【发明内容】
[0004]本实用新型的目的在于针对现有技术的不足而提供一种导电玻璃样片制作装置，可大大提高制作效率，缩短生产周期。
[0005]为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案来实现。
[0006]一种导电玻璃样片制作装置，它包括溅射室，溅射室内设置有圆形旋转台，圆形旋转台设置有多边形双层基片架，多边形双层基片架的每条边上放置有玻璃基片，多边形双层基片架的边数大于等于六边；所述圆形旋转台的旁侧设置有一组磁力溅射机构，磁力溅射机构包括极板、磁铁、铜背板和靶材，所述极板通过磁铁连接铜背板，靶材设置于铜背板上，靶材与玻璃基片相对置。
[0007]所述溅射室的右侧设置有穿透率检验室。
[0008]所述穿透率检验室的右侧设置有阻抗特性检验室。
[0009]本实用新型的有益效果为:本实用新型所述一种导电玻璃样片制作装置，可大大提高制作效率，缩短生产周期。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。
[0012]如图1所示，一种导电玻璃样片制作装置，它包括溅射室1，溅射室I内设置有圆形旋转台2，圆形旋转台2设置有多边形双层基片架3，多边形双层基片架3的每条边上放置有玻璃基片，多边形双层基片架3的边数大于等于六边；所述圆形旋转台2的旁侧设置有一组磁力溅射机构，磁力溅射机构包括极板9、磁铁8、铜背板7和靶材6，所述极板9通过磁铁8连接铜背板7，靶材6设置于铜背板7上，靶材6与玻璃基片相对置。所述多边形双层基片架3为双层结构，每层均为多边形架体，每层的多边形架体均可放置多个玻璃基片，以六边形双层基片架为例，可以一次性放置十二片玻璃基片，上下层各六片。
[0013]进一步的，所述溅射室I的右侧设置有穿透率检验室4，所述穿透率检验室4的右侧设置有阻抗特性检验室5，可以自动完成样片的穿透率检验和阻抗特性检验，大大提高效率。
[0014]工作时，多边形双层基片架3上放置有多个玻璃基片，圆形旋转台2带动多边形双层基片架3旋转，磁力溅射机构工作，对旋转过程中与靶材6相对置的玻璃基片上进行溅射镀膜，快速完成多片玻璃基片的镀膜工艺，可大大提高制作效率，缩短生产周期。
[0015]当然，本实用新型还可有其他多种制作方式，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本实用新型作出相应的改变和变形。以上所述仅是本实用新型的较佳实施方式，故凡依本实用新型专利申请范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均包括于本实用新型专利保护范围内。
【权利要求】
1.一种导电玻璃样片制作装置，其特征在于:它包括溅射室(1)，溅射室(I)内设置有圆形旋转台(2)，圆形旋转台(2)设置有多边形双层基片架(3)，多边形双层基片架(3)的每条边上放置有玻璃基片，多边形双层基片架(3)的边数大于等于六边；所述圆形旋转台(2)的旁侧设置有一组磁力溅射机构，磁力溅射机构包括极板(9)、磁铁(8)、铜背板(7)和靶材(6),所述极板(9)通过磁铁(8)连接铜背板(7)，靶材(6)设置于铜背板(7)上，靶材(6)与玻璃基片相对置。
2.根据权利要求1所述的一种导电玻璃样片制作装置，其特征在于:所述溅射室(I)的右侧设置有穿透率检验室(4)。
3.根据权利要求2所述的一种导电玻璃样片制作装置，其特征在于:所述穿透率检验室(4)的右侧设置有阻抗特性检验室(5)。
【文档编号】C03C17/00GK203700196SQ201320827007
【公开日】2014年7月9日 申请日期:2013年12月11日 优先权日:2013年12月11日
【发明者】郭卫军 申请人:湖北优泰显示技术有限公司