一种光纤预制棒生产中蚀刻技术的精确控制装置制造方法

文档序号:1909590阅读:283来源:国知局
一种光纤预制棒生产中蚀刻技术的精确控制装置制造方法
【专利摘要】本发明提供了一种光纤预制棒生产中蚀刻技术的精确控制装置,通过本装置可精确控制酸液中各酸的浓度和酸液的温度,确定蚀刻的时间,从而能精确控制蚀刻厚度,确保了石英棒表面的品质,确保光纤预制棒的质量稳定。其包括蚀刻槽,所述蚀刻槽内放置有待蚀刻石英棒,其特征在于:其还包括酸液储罐,所述酸液储罐的出液口连通所述蚀刻槽的酸液进口,所述蚀刻槽的高出设定液面高度的酸液回流进入酸液储罐,所述酸液储罐上布置有排液口、酸液进口,所述排液口外接有排液计量泵,加酸设备内分别盛装有独立布置的高浓度酸液容器,所述高浓度酸液容器分别通过独立管路、对应的高浓度酸液加酸计量泵后连通至对应的酸液进口;所述酸液储罐内布置有加热装置。
【专利说明】一种光纤预制棒生产中蚀刻技术的精确控制装置

【技术领域】
[0001]本发明涉及光纤预制棒制作的【技术领域】,具体为一种光纤预制棒生产中蚀刻技术的精确控制装置。

【背景技术】
[0002]光纤预制棒在拉丝过程中的强度和所拉光纤的衰减,是光纤生产的两个重要指标。强度差导致的断裂,大大增加了光纤的生产成本,衰减不合格直接导致光纤不合格。这两项指标都和生产光纤预制棒过程中的石英棒表面缺陷有直接关系,表面缺陷主要形式为微小的裂纹和微小的杂质。生产光纤预制棒过程中的母棒(芯棒)、套管等石英棒(石英管),在生产中都可能出现表面微小裂纹、微晶和微小缺陷。
[0003]去除生产光纤预制棒过程中的石英棒表面的微小裂纹、微晶和微小缺陷的方法,几乎都采用酸液蚀刻的方法。蚀刻这些石英棒,相当于把石英表面均匀去除掉一层。从而可以去除石英棒表面的微小裂纹,从而减少表面应力;也能去除表面的杂质。但是,过渡的蚀刻,会导致产生新的蚀刻的小坑;弓I起局部折射率变化,造成“微型粗糙”;表面应力增加;甚至导致开裂。可见,控制恰当的蚀刻厚度(蚀刻掉的厚度)是个很关键的技术。
[0004]目前,光纤预制棒生产过程中的蚀刻控制技术的研究很少。
【发明者】任振华, 高安敏, 江平, 肖华, 张献平, 时岩, 潘奋起 申请人:江苏亨通光电股份有限公司
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